一種氣動(dòng)閥的限流裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種氣動(dòng)閥的限流裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在太陽(yáng)能電池片生產(chǎn)工藝中，涉及到補(bǔ)充液態(tài)化學(xué)品工序，在進(jìn)行輸送液態(tài)化學(xué)品時(shí)需要精準(zhǔn)控制液態(tài)化學(xué)品的濃度，而控制氣動(dòng)閥的開(kāi)口尺寸是控制化學(xué)品濃度的主要手段。目前太陽(yáng)能電池片生產(chǎn)工藝中涉及到化學(xué)品濃度控制的機(jī)臺(tái)主要有濕法刻蝕機(jī)、濕法制絨機(jī)、清洗機(jī)等，在日常工作運(yùn)行過(guò)程中部分機(jī)臺(tái)按照時(shí)間比例進(jìn)行補(bǔ)充液態(tài)化學(xué)品，部分機(jī)臺(tái)按照硅片運(yùn)行的工藝數(shù)量進(jìn)行補(bǔ)充液態(tài)化學(xué)品。補(bǔ)充液態(tài)化學(xué)品的多少是通過(guò)控制氣動(dòng)閥的開(kāi)度時(shí)間來(lái)達(dá)到的，所以氣動(dòng)閥的開(kāi)口大小是直接影響液態(tài)化學(xué)品補(bǔ)充量多少的關(guān)鍵因素?，F(xiàn)有技術(shù)在補(bǔ)充液態(tài)化學(xué)品過(guò)程中一般都會(huì)在氣動(dòng)閥的出口處加載有一限流片，通過(guò)限流片的孔徑大小來(lái)控制氣動(dòng)閥開(kāi)口大小，從而達(dá)到控制液態(tài)化學(xué)品補(bǔ)充量。
[0003]但由于太陽(yáng)能電池片對(duì)液態(tài)化學(xué)品的濃度十分敏感，液態(tài)化學(xué)品濃度過(guò)大或者過(guò)小都會(huì)對(duì)太陽(yáng)能電池片的質(zhì)量產(chǎn)生影響，而在補(bǔ)充液態(tài)化學(xué)品實(shí)際過(guò)程中，液態(tài)化學(xué)品的濃度因數(shù)不同會(huì)導(dǎo)致需要補(bǔ)充的液態(tài)化學(xué)品的量也不同，在這種情況下限流片的孔徑大小則會(huì)影響到液態(tài)化學(xué)品補(bǔ)充量的精度，濃度因數(shù)不同的液態(tài)化學(xué)品相應(yīng)地選擇不同孔徑大小的限流片則會(huì)提高液態(tài)化學(xué)品補(bǔ)充量的精度。現(xiàn)有技術(shù)的限流片只有一個(gè)孔徑可選擇，而實(shí)際上補(bǔ)充的液態(tài)化學(xué)品具有多種濃度，因此，在實(shí)際工作中往往由于限流片的孔徑過(guò)大或過(guò)小而導(dǎo)致液態(tài)化學(xué)品補(bǔ)充量的精度無(wú)法如期控制，從而會(huì)出現(xiàn)實(shí)際液態(tài)化學(xué)品補(bǔ)充量與所需液態(tài)化學(xué)品量之間差別較大的現(xiàn)象。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型的目的在于提供一種氣動(dòng)閥的限流裝置，能夠適用于對(duì)不同濃度的液態(tài)化學(xué)品進(jìn)行限流，并有效提高液態(tài)化學(xué)品的補(bǔ)充精度。
[0005]解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型采取以下技術(shù)方案予以實(shí)現(xiàn):
[0006]—種氣動(dòng)閥的限流裝置，包括中部開(kāi)有通孔的限流片，其特征是:所述的中部開(kāi)有通孔的限流片至少具有兩個(gè)，包括第一限流片和第二限流片，其中第二限流片的第二通孔孔徑比第一限流片的第一通孔孔徑大，第二限流片的第二通孔軸線與第一限流片的第一通孔軸線同軸并套在第一限流片外。
[0007]作為本實(shí)用新型的一種實(shí)施例，所述的限流裝置還包括中部開(kāi)有第三通孔的第三限流片，第三限流片的第三通孔孔徑比第二限流片的第二通孔孔徑大，第三限流片的第三通孔軸線與第二限流片的第二通孔軸線同軸并套在第二限流片外。
[0008]進(jìn)一步地，所述的第一限流片呈圓板狀，第二限流片和第三限流片分別呈圓板狀且圓周具有凸起的邊沿，所述的第一限流片、第二限流片、第三限流片的外徑依次增大，第一限流片套裝在第二限流片內(nèi)，第二限流片套裝在第三限流片內(nèi)。
[0009]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型有以下有益效果:
[0010]本實(shí)用新型能夠適用于對(duì)不同濃度的液態(tài)化學(xué)品進(jìn)行限流，并有效提高液態(tài)化學(xué)品的補(bǔ)充精度，保證補(bǔ)充液態(tài)化學(xué)品的濃度能滿足太陽(yáng)能電池片的生產(chǎn)要求。
【附圖說(shuō)明】
[0011]圖1是現(xiàn)有技術(shù)限流片的剖視圖；
[0012]圖2是本實(shí)用新型的示意圖；
[0013]圖3是圖2的A-A剖視圖。
[0014]圖中:1-第一限流片，11-第一通孔，2-第二限流片，21-第二通孔，3-第三限流片，31-第三通孔。
【具體實(shí)施方式】
[0015]下面結(jié)合附圖用實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明。
[0016]如圖2所示，一種氣動(dòng)閥的限流裝置，包括三個(gè)中部開(kāi)有通孔的限流片，第一限流片1呈圓板狀，第二限流片2和第三限流片3分別呈圓板狀且圓周具有凸起的邊沿，第一限流片1、第二限流片2、第三限流片3的外徑依次增大，第二限流片2的第二通孔21孔徑比第一限流片1的第一通孔11孔徑大，第三限流片3的第三通孔31孔徑比第二限流片2的第二通孔21孔徑大；第一限流片1套裝在第二限流片2內(nèi)且兩者的孔軸線同軸，第二限流片2套裝在第三限流片3內(nèi)且兩者的孔軸線同軸。
[0017]本實(shí)用新型的限流裝置具有三種不同孔徑的限流片可選擇，以適應(yīng)對(duì)不同濃度液態(tài)化學(xué)品的補(bǔ)充量進(jìn)行精準(zhǔn)控制，在實(shí)際過(guò)程中，液態(tài)化學(xué)品的補(bǔ)充量為:單位時(shí)間X限流孔截面積X流速=補(bǔ)充量，由上公式可知，補(bǔ)充量總和與時(shí)間成正比關(guān)系，通過(guò)改變限流孔截面積的大小，可以增大或減小完成一定體積液態(tài)化學(xué)品補(bǔ)充量的時(shí)間。而在生產(chǎn)過(guò)程中一定的生產(chǎn)工藝所需的液態(tài)化學(xué)品濃度是一定的，則在這種情況下液態(tài)化學(xué)品補(bǔ)充量的大小是由補(bǔ)充的液態(tài)化學(xué)品濃度所決定的，當(dāng)液態(tài)化學(xué)品的濃度較大時(shí)需要補(bǔ)充的液態(tài)化學(xué)品量小，這時(shí)適宜使用孔徑較小的限流片進(jìn)行限流，才能有效控制液態(tài)化學(xué)品補(bǔ)充量的精度，也即是采用本實(shí)用新型的第一限流片1進(jìn)行限流；當(dāng)液態(tài)化學(xué)品的濃度較小時(shí)需要補(bǔ)充的液態(tài)化學(xué)品量大，可以采用孔徑較大的限流片進(jìn)行限流，這樣既能保證在限定時(shí)間內(nèi)完成液態(tài)化學(xué)品的補(bǔ)充又能滿足對(duì)液態(tài)化學(xué)品補(bǔ)充量精度的控制，這種情況下可以采用本實(shí)用新型的第二限流片2或第三限流片3進(jìn)行限流。
[0018]以上所述實(shí)施例僅表達(dá)了本實(shí)用新型的部分實(shí)施方式，其描述較為具體和詳細(xì)，但并不能因此而理解為對(duì)本實(shí)用新型專(zhuān)利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種氣動(dòng)閥的限流裝置，包括中部開(kāi)有通孔的限流片，其特征是:所述的中部開(kāi)有通孔的限流片至少具有兩個(gè)，包括第一限流片和第二限流片，其中第二限流片的第二通孔孔徑比第一限流片的第一通孔孔徑大，第二限流片的第二通孔軸線與第一限流片的第一通孔軸線同軸并套在第一限流片外。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣動(dòng)閥的限流裝置，其特征是:所述的限流裝置還包括中部開(kāi)有第三通孔的第三限流片，第三限流片的第三通孔孔徑比第二限流片的第二通孔孔徑大，第三限流片的第三通孔軸線與第二限流片的第二通孔軸線同軸并套在第二限流片外。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的氣動(dòng)閥的限流裝置，其特征是:所述的第一限流片呈圓板狀，第二限流片和第三限流片分別呈圓板狀且圓周具有凸起的邊沿，所述的第一限流片、第二限流片、第三限流片的外徑依次增大，第一限流片套裝在第二限流片內(nèi)，第二限流片套裝在第三限流片內(nèi)。
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種氣動(dòng)閥的限流裝置，包括中部開(kāi)有通孔的限流片，其特征是：所述的中部開(kāi)有通孔的限流片至少具有兩個(gè)，包括第一限流片和第二限流片，其中第二限流片的第二通孔孔徑比第一限流片的第一通孔孔徑大，第二限流片的第二通孔軸線與第一限流片的第一通孔軸線同軸并套在第一限流片外。本實(shí)用新型能夠適用于對(duì)不同濃度的液態(tài)化學(xué)品進(jìn)行限流，并有效提高液態(tài)化學(xué)品的補(bǔ)充精度，保證補(bǔ)充液態(tài)化學(xué)品的濃度能滿足太陽(yáng)能電池片的生產(chǎn)要求。
【IPC分類(lèi)】H01L31/18, F16K51/00
【公開(kāi)號(hào)】CN205065029
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520734887
【發(fā)明人】徐建衛(wèi), 褚俊華, 倪發(fā)松, 鮑洪亮, 陸振中
【申請(qǐng)人】晶澳（揚(yáng)州）太陽(yáng)能科技有限公司
【公開(kāi)日】2016年3月2日
【申請(qǐng)日】2015年9月21日