一種掃描電鏡用限高裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開一種掃描電鏡用限高裝置，所述裝置包括水平底座、與底座垂直連接的垂直壁、設(shè)置在所述垂直壁上用于標(biāo)示樣品限高的水平擋板，所述垂直壁上設(shè)置有用于水平擋板整體穿過的槽孔，所述水平擋板通過該槽孔嵌設(shè)在垂直壁上。本實(shí)用新型的掃描電鏡用限高裝置通過在垂直壁上設(shè)置用于標(biāo)示樣品限高的水平擋板，使得限高裝置能更明顯的顯示高度限制，在擋板上貼覆標(biāo)簽使其清楚的顯示出擋板的細(xì)微移動，還通過設(shè)置水平儀保證限高裝置的水平狀態(tài)，最終使掃描電鏡用高度規(guī)能夠簡便快捷，準(zhǔn)確的測量樣品高度數(shù)據(jù)。
【專利說明】—種掃描電鏡用限高裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本實(shí)用新型涉及檢測設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種掃描電鏡用限高裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]在材料檢測領(lǐng)域，掃描電鏡是常用的檢測分析設(shè)備，在使用掃描電鏡前，需要將樣品固定到在載物臺上，并嚴(yán)格限定樣品的高度，目前主要使用掃描電鏡廠商配備的如圖1所示的高度規(guī)測量載物臺與樣品的高度。該高度規(guī)的垂直壁尺100正面設(shè)置有刻度110，該高度規(guī)測量樣品高度時，視線必須要與刻度線110平行，這一技術(shù)操作動作在測量大量樣品時會降低測量效率。而且由于掃描電鏡對樣品高度要求較為苛刻，若檢測人員在檢測高度時對齊刻度線的檢視動作不標(biāo)準(zhǔn)，就會造成所確定的樣品高度有偏差，就可能會影響后續(xù)的樣品檢測。
[0003]因此，現(xiàn)有技術(shù)還有待于改進(jìn)和發(fā)展。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0004]鑒于上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型的目的在于提供一種掃描電鏡用限高裝置，旨在解決使用目前掃描電鏡用高度規(guī)確定樣品高度時不夠簡便快捷，測量高度數(shù)據(jù)易出錯的問題。
[0005]本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下:
[0006]一種掃描電鏡用限高裝置，其中，所述裝置包括水平底座、與底座垂直連接的垂直壁、設(shè)置在所述垂直壁上用于標(biāo)示樣品限高的水平擋板，所述垂直壁上設(shè)置有用于水平擋板整體穿過的槽孔，所述水平擋板通過該槽孔嵌設(shè)在垂直壁上。
[0007]所述的掃描電鏡用限高裝置，其中，所述水平擋板與所述槽孔接觸的兩側(cè)邊上設(shè)置有滑軌，所述槽孔的對應(yīng)槽壁設(shè)置有與所述滑軌配合使用的滑塊，通過所述滑軌與滑塊的配合實(shí)現(xiàn)水平擋板沿所述槽孔的水平滑動。
[0008]所述的掃描電鏡用限高裝置，其中，所述水平滑軌的兩端分別設(shè)置有限位塊，通過所述垂直壁對限位塊的阻擋作用對所述水平擋板沿槽孔的水平滑動進(jìn)行限制。
[0009]所述的掃描電鏡用限高裝置，其中，所述水平擋板通過固定銷固定與垂直壁的連接，所述垂直壁對應(yīng)槽孔位置的的兩側(cè)邊上分別設(shè)置有用于固定銷插入的插孔，所述水平擋板的兩側(cè)邊上分別設(shè)置有用于固定銷插入的孔槽，通過對位所述插孔與孔槽并插入固定銷實(shí)現(xiàn)所述水平擋板與垂直壁的固定連接。
[0010]所述的掃描電鏡用限高裝置，其中，所述水平擋板上還設(shè)置有用于標(biāo)示水平擋板移動位置的標(biāo)簽，當(dāng)所述水平擋板通過固定銷與垂直壁固定連接時，所述標(biāo)簽邊沿與槽孔邊沿對齊。
[0011]所述的掃描電鏡用限高裝置，其中，所述標(biāo)簽為長條狀標(biāo)簽，該長條狀標(biāo)簽一部分貼覆在水平擋板的頂面，另一部分貼覆在相鄰側(cè)邊上。
[0012]所述的掃描電鏡用限高裝置，其中，所述底座上設(shè)置有氣泡式水平儀。
[0013]所述的掃描電鏡用限高裝置，其中，所述水平擋板設(shè)置在距離所述底座底面45mm的高度位置。
[0014]有益效果:本實(shí)用新型提供一種掃描電鏡用限高裝置，通過在垂直壁上設(shè)置用于標(biāo)示樣品限高的水平擋板，使得限高裝置能更明顯的顯示高度限制，在擋板上貼覆標(biāo)簽使其清楚的顯示出擋板的細(xì)微移動，還通過設(shè)置水平儀保證限高裝置的水平狀態(tài)，最終使掃描電鏡用高度規(guī)能夠簡便快捷，準(zhǔn)確的測量樣品高度數(shù)據(jù)。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0015]圖1為現(xiàn)有的掃描電鏡用高度規(guī)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]圖2為本實(shí)用新型具體實(shí)施例中掃描電鏡用限高裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0017]圖3為圖2中字母A的放大結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0018]本實(shí)用新型提供一種掃描電鏡用限高裝置，為使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及效果更加清楚、明確，以下對本實(shí)用新型進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型。
[0019]如圖2所示一種掃描電鏡用限高裝置的具體實(shí)施例，其中，所述裝置包括水平底座220、與底座垂直連接的垂直壁210、設(shè)置在所述垂直壁上用于標(biāo)示樣品限高的水平擋板230，所述垂直壁上設(shè)置有用于水平擋板整體穿過的槽孔，所述水平擋板通過該槽孔嵌設(shè)在垂直壁上。所述水平擋板與所述槽孔接觸的兩側(cè)邊上設(shè)置有滑軌231，所述槽孔的對應(yīng)槽壁設(shè)置有與所述滑軌配合使用的滑塊(圖中未給出)，通過所述滑軌與滑塊的配合實(shí)現(xiàn)水平擋板沿所述槽孔的水平滑動。
[0020]掃描電鏡對于樣品高度的要求非常嚴(yán)格，使用上述水平擋板來標(biāo)示樣品的限高，樣品可以直接本發(fā)明的限高裝置的水平擋板進(jìn)行比較而不必采用水平目視方法來確定樣品高度是否滿足要求，使得高度測量和判斷更加便捷。
[0021]如圖3所示，所述水平滑軌的兩端還分別設(shè)置有限位塊234，通過所述垂直壁210對限位塊234的阻擋作用對所述水平擋板沿槽孔的水平滑動進(jìn)行限制。這樣可以避免水平擋板移動幅度過大而脫出滑軌。
[0022]如圖2所示，所述水平擋板還可以通過固定銷232固定與垂直壁的連接，其中，所述垂直壁210對應(yīng)槽孔位置的的兩側(cè)邊上分別設(shè)置有用于固定銷232插入的插孔，所述水平擋板的兩側(cè)邊上分別設(shè)置有用于固定銷插入的孔槽，通過對位所述插孔與孔槽并插入固定銷實(shí)現(xiàn)所述水平擋板與垂直壁的固定連接。更具體的，可以在垂直壁插孔上方設(shè)置一凸起，例如螺栓，固定銷通過細(xì)線233與該凸起連接。由此可以使固定銷與高度規(guī)連接在一起，不容易丟失，而且方便固定銷的使用。較佳實(shí)施例中，在所述水平擋板通過固定銷固定的情況下，露出垂直壁的水平擋板的部分的長度最佳為5_。
[0023]如圖3所示，所述水平擋板上還設(shè)置有用于標(biāo)示水平擋板移動位置的標(biāo)簽235，當(dāng)所述水平擋板通過固定銷與垂直壁固定連接時，所述標(biāo)簽邊沿與槽孔邊沿對齊。這樣標(biāo)簽就能起到標(biāo)示水平擋板位置的作用，當(dāng)水平擋板從當(dāng)前位置水平滑動后，標(biāo)簽位置必然變化，其邊沿就無法與槽孔邊沿對齊，這樣的位置變換就能直觀地通知操作員，水平擋板已經(jīng)發(fā)生了移動。
[0024]該標(biāo)簽主要配合水平擋板在可滑動狀態(tài)的使用，具體為，當(dāng)掃描電鏡樣品觀測表面具有一定的彈性且樣品高度與水平擋板高度及其近似或略高，加入擋板為固定不動的，在使用本發(fā)明的限高裝置測量樣品高度時，樣品表面就可能通過一定形變(人可能察覺不到該樣品表面形變)被擠壓進(jìn)入水平擋板下，這樣就會造成高度判斷錯誤的情況。上述的樣品若進(jìn)入掃面電鏡就可能接觸到物鏡，污染鏡頭。而本發(fā)明的限高裝置中，水平擋板由于是高度靈活的(可滑動的)，一旦有樣品接觸水平擋板底部，水平擋板就會在接觸摩擦力的作用下移動，而操作人員可通過標(biāo)簽直觀地判斷該樣品高度略高于限制高度，因此需要對樣品高度進(jìn)行微調(diào)。所述標(biāo)簽通過與槽孔邊沿的相對位置顯示水平擋板的細(xì)微位移，從而避免上述情況的發(fā)生，使得本發(fā)明限高裝置對樣品高度的測量更加準(zhǔn)確、快捷。另外，該標(biāo)簽可以選擇不同種類的物料制作，例如使用熒光貼紙，使得提示效果更好。所述標(biāo)簽為長條狀標(biāo)簽，該長條狀標(biāo)簽一部分貼覆在水平擋板的頂面，另一部分貼覆在相鄰側(cè)邊上。這樣操作人員不管從限高裝置的側(cè)面還是正面都能清楚地看到標(biāo)簽位置。
[0025]較佳實(shí)施例中。本發(fā)明的掃描電鏡用限高裝置的底座上設(shè)置有氣泡式水平儀。這樣可以保證高度規(guī)水平放置，使其測量結(jié)果更加準(zhǔn)確。
[0026]具體實(shí)施例中，所述水平擋板設(shè)置在距離所述底座底面45mm的高度位置，即水平擋板底面到限高裝置的擺放的平面為45mm。這樣就滿足日立3400N型號的掃面電鏡的使用。
[0027]本實(shí)用新型提供一種掃描電鏡用限高裝置，通過在垂直壁上設(shè)置用于標(biāo)示樣品限高的水平擋板，使得限高裝置能更明顯的顯示高度限制，在擋板上貼覆標(biāo)簽使其清楚的顯示出擋板的細(xì)微移動，還通過設(shè)置水平儀保證限高裝置的水平狀態(tài)，最終使掃描電鏡用高度規(guī)能夠簡便快捷，準(zhǔn)確的測量樣品高度數(shù)據(jù)。
[0028]應(yīng)當(dāng)理解的是，本實(shí)用新型的應(yīng)用不限于上述的舉例，對本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來說，可以根據(jù)上述說明加以改進(jìn)或變換，所有這些改進(jìn)和變換都應(yīng)屬于本實(shí)用新型所附權(quán)利要求的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種掃描電鏡用限高裝置，其特征在于，所述裝置包括水平底座、與底座垂直連接的垂直壁、設(shè)置在所述垂直壁上用于標(biāo)示樣品限高的水平擋板，所述垂直壁上設(shè)置有用于水平擋板整體穿過的槽孔，所述水平擋板通過該槽孔嵌設(shè)在垂直壁上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電鏡用限高裝置，其特征在于，所述水平擋板與所述槽孔接觸的兩側(cè)邊上設(shè)置有滑軌，所述槽孔的對應(yīng)槽壁設(shè)置有與所述滑軌配合使用的滑塊，通過所述滑軌與滑塊的配合實(shí)現(xiàn)水平擋板沿所述槽孔的水平滑動。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掃描電鏡用限高裝置，其特征在于，所述水平滑軌的兩端分別設(shè)置有限位塊，通過所述垂直壁對限位塊的阻擋作用對所述水平擋板沿槽孔的水平滑動進(jìn)行限制。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的掃描電鏡用限高裝置，其特征在于，所述水平擋板通過固定銷固定與垂直壁的連接，所述垂直壁對應(yīng)槽孔位置的的兩側(cè)邊上分別設(shè)置有用于固定銷插入的插孔，所述水平擋板的兩側(cè)邊上分別設(shè)置有用于固定銷插入的孔槽，通過對位所述插孔與孔槽并插入固定銷實(shí)現(xiàn)所述水平擋板與垂直壁的固定連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的掃描電鏡用限高裝置，其特征在于，所述水平擋板上還設(shè)置有用于標(biāo)示水平擋板移動位置的標(biāo)簽，當(dāng)所述水平擋板通過固定銷與垂直壁固定連接時，所述標(biāo)簽邊沿與槽孔邊沿對齊。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的掃描電鏡用限高裝置，其特征在于，所述標(biāo)簽為長條狀標(biāo)簽，該長條狀標(biāo)簽一部分貼覆在水平擋板的頂面，另一部分貼覆在相鄰側(cè)邊上。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的掃描電鏡用限高裝置，其特征在于，所述底座上設(shè)置有氣泡式水平儀。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的掃描電鏡用限高裝置，其特征在于，所述水平擋板設(shè)置在距離所述底座底面45mm的高度位置。
【文檔編號】G01N23/22GK203949888SQ201420383171
【公開日】2014年11月19日 申請日期:2014年7月11日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月11日
【發(fā)明者】金鈺 申請人:深圳市美信檢測技術(shù)有限公司