專利名稱:一種硅片切割機(jī)砂漿噴嘴裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型涉及硅片切割技術(shù),具體涉及ー種硅片切割機(jī)的放線軸承箱。
背景技術(shù):
在硅片切割中,一般都是通過鋼絲把硅錠切成硅片;在加工過程中,由于是用鋼絲做切割工具,所以鋼絲要把硅錠切成硅片一定要有某種介質(zhì)做切割液,實(shí)踐證明碳化硅微粉和聚こニ醇的混合物(砂漿液)是最好的選擇,但是怎么樣把混合物均勻地覆蓋在由一千余根鋼絲組成并高速旋轉(zhuǎn)的網(wǎng)上是一個(gè)難題,它直接影響硅片的成品率,如果不均勻,鋼絲所帯的砂漿量就有多有少,這樣就容易產(chǎn)生厚薄片和線痕甚至斷線,現(xiàn)有的技術(shù)一直咱對(duì)此加以改進(jìn),從專利文獻(xiàn)檢索發(fā)現(xiàn)有ー些與此有關(guān)的專利報(bào)道。主要與本實(shí)用新型有關(guān)的是I、專利號(hào)為CN201020548069. 5,發(fā)明名稱為“ー種多線切割機(jī)砂漿噴流裝置”的中國(guó)實(shí)用新型專利,該專利公開了ー種多線切割機(jī)砂漿噴流裝置,用于多線切割機(jī)批量切割半導(dǎo)體硅片或太陽(yáng)能硅電池片;它的外套管(I)中固定安裝有一端為砂漿入口而另一端封閉的內(nèi)管(2),內(nèi)管(2)外壁與外套管⑴內(nèi)壁之間有環(huán)隙(6),內(nèi)管⑵上部開有沿內(nèi)管軸線均布的多個(gè)小圓孔(7),所述小圓孔(7)連通內(nèi)管管腔與所述環(huán)隙;外套管(I)的下側(cè)沿軸線開有狹縫開ロ槽(8)。該裝置的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)和砂漿在裝置內(nèi)流向經(jīng)多次改變,可提高砂漿流量、密度分布的均勻性,提高了設(shè)備的切割生產(chǎn)效率和改善切割硅片的表面質(zhì)量。、專利號(hào)為CN201010296722.8,發(fā)明名稱為“ー種多線切割機(jī)砂漿噴流裝置”的中國(guó)發(fā)明專利,該專利公開了ー種多線切割機(jī)砂漿噴流裝置,用于多線切割機(jī)批量切割半導(dǎo)體硅片或太陽(yáng)能硅電池片;它的外套管(I)中固定安裝有一端為砂漿入口而另一端封閉的內(nèi)管(2),內(nèi)管(2)外壁與外套管⑴內(nèi)壁之間有環(huán)隙(6),內(nèi)管⑵上部開有沿內(nèi)管軸線均布的多個(gè)小圓孔(7),所述小圓孔(7)連通內(nèi)管管腔與所述環(huán)隙;外套管(I)的下側(cè)沿軸線開有狹縫開ロ槽(8)。該裝置的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)和砂漿在裝置內(nèi)流向經(jīng)多次改變,可提高砂漿流量、密度分布的均勻性,提高了設(shè)備的切割生產(chǎn)效率和改善切割硅片的表面質(zhì)量。上述兩個(gè)專利公開了ー種切割機(jī)砂漿噴流方法及裝置,但是該專利速采用的內(nèi)管安裝方式不簡(jiǎn)便,所以更換十分麻煩,有必要進(jìn)ー步加以改迸。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是針對(duì)現(xiàn)有切割機(jī)砂漿噴流裝置所存在的不足,提供一種新的硅片切割機(jī)砂漿噴嘴裝置,該種硅片切割機(jī)砂漿噴嘴裝置的內(nèi)管安裝更為簡(jiǎn)單,因此更換十分方便。實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型目的所采取的技術(shù)實(shí)施方案是一種硅片切割機(jī)砂漿噴嘴裝置,包括一個(gè)砂漿固定座,砂漿固定座上設(shè)有砂漿注入孔,緊貼砂漿固定座的一面安裝有砂漿噴嘴外管,砂漿噴嘴外管內(nèi)安裝有砂漿噴嘴內(nèi)管,其特征在于,砂漿噴嘴內(nèi)管是通過兩個(gè)限位套安裝在砂漿噴嘴外管內(nèi)的;兩個(gè)限位套ー個(gè)為前限位套,一個(gè)為后限位套,兩個(gè)限位套分別安裝在砂漿噴嘴內(nèi)管的兩端。作為本實(shí)用新型的進(jìn)ー步技術(shù)實(shí)施方案,所述的前限位套的一面安裝有堵頭。[0009]作為本實(shí)用新型的進(jìn)ー步技術(shù)實(shí)施方案,所述的砂漿噴嘴內(nèi)管的表面開有多個(gè)小圓孔,在砂漿噴嘴外管上縱向開有一條開ロ槽,且砂漿噴嘴外管上的開ロ槽的位置與砂漿噴嘴內(nèi)管的多個(gè)小圓孔是相反布置的。砂漿由砂漿噴嘴內(nèi)管并通過多個(gè)向上的小孔流出,并沿砂漿噴嘴外管內(nèi)壁經(jīng)過開ロ槽流出并噴砂在鋼絲上。本實(shí)用新型的有益效果在于采用了帶有限位套的內(nèi)管安裝方式,結(jié)構(gòu)更為簡(jiǎn)単,且更換十分方便,避免溢流方式所產(chǎn)生的砂漿流量不均,對(duì)砂漿噴嘴裝置安裝要求高所帶來(lái)的麻煩。
圖I為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖;圖2是本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)的爆炸結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
下面將結(jié)合附圖和實(shí)施例度本實(shí)用新型做進(jìn)ー步的描述。附圖I和2給出了本實(shí)用新型的ー個(gè)具體實(shí)施例,通過附圖可以看出,本實(shí)用新型涉及ー種硅片切割機(jī)砂漿噴嘴裝置,包括一個(gè)砂漿固定座1,砂漿固定座I上設(shè)有砂漿注入孔9,緊貼砂漿固定座I的一面安裝有砂漿噴嘴外管6,砂漿噴嘴外管6內(nèi)安裝有砂漿噴嘴內(nèi)管5,其特征在于,砂漿噴嘴內(nèi)管5是通過兩個(gè)限位套安裝在砂漿噴嘴外管6內(nèi)的;兩個(gè)限位套ー個(gè)為前限位套7,一個(gè)為后限位套2,兩個(gè)限位套分別安裝在砂漿噴嘴內(nèi)管6的兩端。作為本實(shí)用新型的進(jìn)ー步技術(shù)實(shí)施方案,所述的前限位套7的一面安裝有堵頭8。作為本實(shí)用新型的進(jìn)ー步技術(shù)實(shí)施方案,所述的砂漿噴嘴內(nèi)管5的表面開有48個(gè)向上的直徑3. 5的小孔3,在砂漿噴嘴外管6上縱向開有一條長(zhǎng)約500MM寬2MM的長(zhǎng)方形開ロ槽4,且砂漿噴嘴外管6上的開ロ槽的位置與砂漿噴嘴內(nèi)管5的多個(gè)小圓孔是相反布置的。砂漿由內(nèi)管并通過48個(gè)向上的直徑3.5的小孔流出,并沿外管內(nèi)壁經(jīng)過長(zhǎng)約500MM寬2MM的長(zhǎng)方形孔流出并噴砂在鋼絲上,此設(shè)計(jì)的特點(diǎn)在于我們避免溢流方式所產(chǎn)生的砂漿流量不均,對(duì)砂漿噴嘴裝置安裝要求高所帶來(lái)的麻煩。
權(quán)利要求1.一種硅片切割機(jī)砂漿噴嘴裝置,包括一個(gè)砂漿固定座,砂漿固定座上設(shè)有砂漿注入孔,緊貼砂漿固定座的一面安裝有砂漿噴嘴外管,砂漿噴嘴外管內(nèi)安裝有砂漿噴嘴內(nèi)管,其特征在于,砂漿噴嘴內(nèi)管是通過兩個(gè)限位套安裝在砂漿噴嘴外管內(nèi)的;兩個(gè)限位套ー個(gè)為前限位套,一個(gè)為后限位套,兩個(gè)限位套分別安裝在砂漿噴嘴內(nèi)管的兩端。
2.如權(quán)利要求I所述的硅片切割機(jī)砂漿噴嘴裝置,其特征在于,所述的前限位套的ー面安裝有堵頭。
3.如權(quán)利要求2所述的硅片切割機(jī)砂漿噴嘴裝置,其特征在于,所述的砂漿噴嘴內(nèi)管的表面開有多個(gè)小圓孔,在砂漿噴嘴外管上縱向開有一條開ロ槽,且砂漿噴嘴外管上的開ロ槽的位置與砂漿噴嘴內(nèi)管的多個(gè)小圓孔是相反布置的。
專利摘要一種硅片切割機(jī)砂漿噴嘴裝置,包括一個(gè)砂漿固定座,砂漿固定座上設(shè)有砂漿注入孔,緊貼砂漿固定座的一面安裝有砂漿噴嘴外管,砂漿噴嘴外管內(nèi)安裝有砂漿噴嘴內(nèi)管,其特征在于,砂漿噴嘴內(nèi)管是通過兩個(gè)限位套安裝在砂漿噴嘴外管內(nèi)的;兩個(gè)限位套一個(gè)為前限位套,一個(gè)為后限位套,兩個(gè)限位套分別安裝在砂漿噴嘴內(nèi)管的兩端。本實(shí)用新型的有益效果在于采用了帶有限位套的內(nèi)管安裝方式,結(jié)構(gòu)更為簡(jiǎn)單,且更換十分方便,避免溢流方式所產(chǎn)生的砂漿流量不均,對(duì)砂漿噴嘴裝置安裝要求高所帶來(lái)的麻煩。
文檔編號(hào)B28D7/00GK202399421SQ20122000003
公開日2012年8月29日 申請(qǐng)日期2012年1月1日 優(yōu)先權(quán)日2012年1月1日
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