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一種硅片切割機(jī)用噴水器的制造方法

文檔序號(hào):9481601閱讀:586來源:國(guó)知局
一種硅片切割機(jī)用噴水器的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及硅片切割機(jī)配件,尤其涉及一種硅片切割機(jī)用噴水器。
【背景技術(shù)】
[0002]硅片的生產(chǎn)之前采用的是鋼線載砂漿切割,而如今直接用一種特制的金鋼線帶水切割,此技術(shù)不僅大大縮短了生產(chǎn)加工時(shí)間,并且使產(chǎn)品的整體質(zhì)量上了一個(gè)臺(tái)階,生產(chǎn)成本同時(shí)大幅度下降。而金剛線切割技術(shù)對(duì)于水質(zhì)的要求也很高,不僅要求用純水和添加劑,而且要求水中無任何的固體小顆粒。如果水中固體雜物多,在切割時(shí)線網(wǎng)容易將雜物帶到主輥上,從而引起跳線導(dǎo)致斷線概率高,并且固體雜物粘附在硅棒的線縫里使水不能到達(dá)切割區(qū)域,容易產(chǎn)生斷線和大量不良片。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中用于硅片切割機(jī)的噴水裝置包括引流架,引流架上固定有具有通孔的噴水管,使用過程中液體進(jìn)入噴水管以后由通孔排出,然后由引流架將液體引至切割現(xiàn)場(chǎng);為了避免通孔堵塞,現(xiàn)有技術(shù)中將通孔的形狀設(shè)置為長(zhǎng)條形,提高了噴水管噴水時(shí)的穩(wěn)定性;但是現(xiàn)有技術(shù)中的噴水管無過濾作用,并且,現(xiàn)有技術(shù)中噴水管的噴水方向不能隨意變動(dòng),因此,噴水管與引流架裝配時(shí)需考慮通孔的噴水方向,裝配不方便。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明提供的一種硅片切割機(jī)用噴水器,旨在克服現(xiàn)有技術(shù)中硅片切割機(jī)用噴水裝置中的噴水管沒有過濾性能,并且噴水管與引流架裝配操作不方便的不足。
[0005]為了解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明采用如下技術(shù)方案:一種硅片切割機(jī)用噴水器,包括橫截面呈L形的導(dǎo)流架,所述導(dǎo)流架上固定有噴水管,所述導(dǎo)流架兩端分別設(shè)有固定噴水管的支撐板,所述導(dǎo)流架上還設(shè)有罩體,所述罩體與導(dǎo)流架之間開設(shè)有使水流可以通過的排水口,所述支撐板上端設(shè)有支撐罩體的支撐塊,所述支撐塊與支撐板為一體式結(jié)構(gòu),所述罩體通過合頁固定在導(dǎo)流架上;所述噴水管一端設(shè)有進(jìn)水接口,所述噴水管的另一端通過塞子封閉,所述噴水管上開設(shè)有若干條噴水槽,所述噴水槽為條形槽,所述噴水槽的長(zhǎng)度方向與噴水管的軸線平行,所述噴水管內(nèi)填充有過濾體,所述噴水管外還罩設(shè)有過濾罩,所述噴水管兩端分別套設(shè)有固定過濾罩的擋塊,所述擋塊通過螺紋連接固定在噴水管上,所述擋塊上設(shè)有支撐過濾罩的凸臺(tái),所述過濾罩插接在凸臺(tái)上。
[0006]上述構(gòu)成中,通過設(shè)置罩體,罩體設(shè)置在導(dǎo)流架上以后,罩體與導(dǎo)流架配合將噴水管包圍在罩體與導(dǎo)流架組成的腔體內(nèi),此時(shí),罩體也起到對(duì)水流進(jìn)行導(dǎo)向的作用,因此,通過設(shè)置導(dǎo)流架和罩體,開設(shè)于噴水管上的噴水槽可以均布在噴水管的圓周上,噴水槽的噴水方向沿噴水管的徑向噴出,而并不需要噴水槽的噴水方向一定要朝向?qū)Я骷?,從而使得噴水管與導(dǎo)流架裝配時(shí)操作方便;另外,通過設(shè)置過濾體和過濾罩,噴水管內(nèi)的水會(huì)經(jīng)過兩次過濾后引至切削現(xiàn)場(chǎng),噴水管具有過濾作用,大大提高了硅片切割機(jī)工作時(shí)的穩(wěn)定性能。
[0007]—種可選的方案,所述擋塊與凸臺(tái)為一體式結(jié)構(gòu),所述噴水管上設(shè)置有外螺紋,所述凸臺(tái)和擋塊上均設(shè)有與噴水管上外螺紋配合的內(nèi)螺紋,位于凸臺(tái)上的內(nèi)螺紋與位于擋塊上的內(nèi)螺紋同軸。凸臺(tái)與擋塊為一體式結(jié)構(gòu),并且凸臺(tái)、擋塊上均設(shè)有內(nèi)螺紋,擋塊、凸臺(tái)更容易固定在噴水管上,過濾罩固定可靠,簡(jiǎn)化了噴水管的結(jié)構(gòu)。
[0008]—種選的方案,所述塞子上設(shè)有外螺紋,所述噴水管內(nèi)設(shè)有與塞子上外螺紋相配合的內(nèi)螺紋,所述塞子上還開設(shè)有便于旋出塞子的裝配槽;所述進(jìn)水接口通過螺紋連接固定在噴水管上。塞子通過螺紋連接固定在噴水管上、進(jìn)水接口通過螺紋連接固定在噴水管上,塞子和進(jìn)水接口可以方便地從噴水管上拆除,從而可以方便地對(duì)填充在噴水管內(nèi)的過濾體進(jìn)行更換,操作方便。
[0009]—種可選的方案,所述支撐板上均開設(shè)有支撐噴水管的U形槽,所述噴水管上固定有限位部,所述限位部上開設(shè)有與支撐板配合的限位槽,所述限位部通過螺紋連接固定在噴水管上,所述限位部與噴水管同軸設(shè)置。噴水管上固定有限位部,噴水管放置在U形槽內(nèi)以后,限位部與支撐板卡接在一起,噴水管與支撐板連接可靠。
[0010]所述支撐板上設(shè)有避免在打開罩體時(shí)罩體與支撐板產(chǎn)生干涉的倒角。簡(jiǎn)化了罩體和支撐板的結(jié)構(gòu),降低了罩體和支撐板的制造成本。
[0011]與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明提供的一種硅片切割機(jī)用噴水器,具有如下優(yōu)點(diǎn):噴水管固定在支撐板上,噴水管內(nèi)設(shè)有過濾體,噴水管上還設(shè)置有過濾罩,由導(dǎo)流架進(jìn)入切削現(xiàn)場(chǎng)的水都會(huì)經(jīng)過兩次過濾,優(yōu)化了水的水質(zhì);
[0012]另外,支撐板上設(shè)置有罩體,罩體配合導(dǎo)流架包圍噴水管,噴水管在噴水過程中導(dǎo)流架、罩體均起到導(dǎo)向作用,以將噴水槽內(nèi)噴出的水流引至切削現(xiàn)場(chǎng),由于罩體的存在,噴水槽的噴水方向既可以朝向?qū)Я骷?,也可以朝向罩體,因此,噴水管與支撐板裝配時(shí)不需要考慮噴水槽的噴水方向,噴水管與支撐板裝配操作方便。
【附圖說明】
[0013]附圖1是本發(fā)明一種硅片切割機(jī)用噴水器的主視圖;
[0014]附圖2是本發(fā)明一種硅片切割機(jī)用噴水器打開罩體后的示意圖;
[0015]附圖3是附圖1中A-A處部視圖;
[0016]附圖4是附圖1的右視圖;
[0017]附圖5是本發(fā)明一種硅片切割機(jī)用噴水器中限位部的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0018]下面結(jié)合附圖,對(duì)本發(fā)明的一種硅片切割機(jī)用噴水器作進(jìn)一步說明。如圖1、圖2、圖3、圖4、圖5所示,一種硅片切割機(jī)用噴水器,包括橫截面呈L形的導(dǎo)流架1,所述導(dǎo)流架1上固定有噴水管2,所述導(dǎo)流架1兩端分別設(shè)有固定噴水管2的支撐板3,所述支撐板3與導(dǎo)流架1為一體式結(jié)構(gòu),所述導(dǎo)流架1上還設(shè)有罩體4,罩體4通過合頁7固定在導(dǎo)流架1上,罩體4固定在導(dǎo)流架1上以后,參見圖3,罩體4與導(dǎo)流架1形成一個(gè)腔體,所述噴水管2位于腔體內(nèi),罩體4與導(dǎo)流架1之間開設(shè)有使水流可以通過的排水口 5,由噴水槽10噴出的水流經(jīng)排水口 5排出并被導(dǎo)流架1引至切削現(xiàn)場(chǎng),由于導(dǎo)流架1與罩體4配合形成腔體,導(dǎo)流架1和罩體4均起到導(dǎo)流作用,噴水管2與支撐板3裝配時(shí),無需考慮噴水槽10的噴水方向,噴水管2與支撐板3裝配方便,另外,由于罩體4的存在,噴水管2上可以設(shè)置多條噴水槽10,所有噴水槽10可以均布在噴水管2的圓周上;為了節(jié)約支撐板3的制造材料,可以在支撐板3上端設(shè)置支撐罩體4的支撐塊6,所述支撐塊6與支撐
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