專利名稱:一種切割定角度光學(xué)水晶片的晶棒粘接臺的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型涉及切割定角度光學(xué)水晶片用的晶棒粘接臺。
背景技術(shù):
光學(xué)水晶片Z向角度按規(guī)定值±25'設(shè)計,而晶棒在出廠時存在一定角度偏差,切割前需要通過粘接晶棒來調(diào)整角度,使切后晶片角度偏離在要求范圍內(nèi)。通常粘接晶棒方式是在高精度X光對角定向儀上操作,X光對角定向儀不僅價格貴(每臺10萬元左右),而且操作復(fù)雜,長時間微量X射線也可能對人體造成損害,主要適用於角度偏離精度要求在±30"和±15"的壓電水晶片粘接切割上。針對光學(xué)水晶片角度的偏離不高的要求,使用價格低廉、沒有X射線的裝置替代X光定向儀,粘接光學(xué)晶棒,切割角度指標(biāo)達(dá)到規(guī)定的精度要求。因此,設(shè)計一種價格低、使用方便、無X光幅射的切割定角度光學(xué)水晶片的晶棒粘接臺來代替高精度X光對角定向儀具有較大的經(jīng)濟(jì)意義。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的就是提供一種代替高精度X光對角定向儀的一種切割定角度光學(xué)水晶片的晶棒粘接臺。本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是一種切割定角度光學(xué)水晶片的晶棒粘接臺,其特征是它包括底板、垂直固連在底板一側(cè)的基準(zhǔn)板和夾角調(diào)節(jié)裝置,所述的底板正面和基準(zhǔn)板的內(nèi)側(cè)面為作為基準(zhǔn)面的平面,所述的夾角調(diào)節(jié)裝置包括支架、千分卡和滑軌,滑軌固定在底板另一側(cè)并與基準(zhǔn)板基準(zhǔn)面相平行,所述的支架聯(lián)接在滑軌上并能夠沿滑軌前后直線滑動,支架的前端面為斜面,且斜面與基準(zhǔn)板的基準(zhǔn)面所成的夾角小于晶棒粘接設(shè)計角,支架斜面的前方設(shè)有條形定位塊,定位塊的一端鉸接在與支架斜面固連的支撐桿上,千分卡聯(lián)接在千分卡固定座上,定位塊的另一端與千分卡固定座端部連接,千分卡固定座鉸接在支架上。采用上述技術(shù)方案,使用時底板上平放粘料板,滑動支架沿滑軌平移到適當(dāng)位置,千分卡調(diào)整定位塊與支架斜面作為基準(zhǔn)面之間夾角,此夾角加上支架上斜面為基準(zhǔn)面與基準(zhǔn)板的基準(zhǔn)面成固定角為設(shè)定的切割角度,將光學(xué)水晶棒的X面朝上或朝下,棒的側(cè)面緊靠定位塊,用特種膠粘牢晶棒即可。為實(shí)現(xiàn)多根晶棒的粘接,所述支架與底板正面間距大于晶棒的高度,使得支架懸空在晶棒上方。、為保證良好的滑動,所述的支架通過軸承與滑軌滑動聯(lián)接。為增加支架的滑動可靠性,所述的基準(zhǔn)板的上方設(shè)有滑動軸承與支架聯(lián)接。本實(shí)用新型有益效果是本實(shí)用新型能夠保證粘料板上粘接的晶棒在Z方向偏角達(dá)到規(guī)定要求,本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單,造價低廉,每臺僅在3000元左右,操作方便,無X射線輻射,既能實(shí)現(xiàn)切割角度指標(biāo)達(dá)到規(guī)定的精度要求,又沒有X光線對操作人員產(chǎn)生危害。
圖I為本實(shí)用新型示意圖。圖2為圖I的俯視圖。圖中,I、支撐桿,2、底板,3、基準(zhǔn)板,4、支架,5、滑軌,6、固定座,7、軸承,8、千分卡,9、千分卡固定座,10、定位塊,11、粘料板,12、光學(xué)水晶棒。
具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型一種切割定角度光學(xué)水晶片的晶棒粘接臺,如圖I、圖2所示,它 包括底板2、垂直固連在底板2 —側(cè)的基準(zhǔn)板3和夾角調(diào)節(jié)裝置,底板2為鋼制精磨平臺,基準(zhǔn)板3為精麻條形鋼板。底板2正面和基準(zhǔn)板3的內(nèi)側(cè)面為作為基準(zhǔn)面的平面。夾角調(diào)節(jié)裝置如圖2所示,它包括支架4、千分卡8和滑軌5,滑軌5固定在底板2的另一側(cè)并與基準(zhǔn)板3基準(zhǔn)面相平行,支架4聯(lián)接在滑軌5上并能夠沿滑軌5前后直線滑動,支架5固接在固定座6上,固定座6與滑軌5通過軸承7實(shí)現(xiàn)前后滑動,支架4的前端面為斜面,且斜面與基準(zhǔn)板的基準(zhǔn)面所成的夾角小于晶棒粘接設(shè)計角,支架4斜面的前方設(shè)有條形定位塊10,定位塊10為鋼制條形塊,定位塊10的一端鉸接在與支架斜面固連的支撐桿I上,千分卡8聯(lián)接在千分卡固定座9上,定位塊10的另一端與千分卡固定座9端部連接,千分卡固定座9鉸接在支架4上。支架4與底板2正面間距大于晶棒的高度,使得支架4懸空在晶棒上方?;鶞?zhǔn)板3的上方設(shè)有滑動軸承與支架4聯(lián)接。本實(shí)用新型使用時,把粘料板11置于底板2上,并擠壓在基準(zhǔn)板3的基準(zhǔn)面上,滑動支架到適當(dāng)位置,千分卡調(diào)整定位塊與支架斜面的夾角,光學(xué)水晶X面朝上或朝下,棒的側(cè)面緊靠定位塊,用特種膠粘牢晶棒即可。粘接第二根晶棒時,將滑動支架再平移到另一適當(dāng)位置,重復(fù)以上操作,以此類推,可在一塊粘料板上粘N根晶棒。操作要點(diǎn)①粘料板底部的兩條基準(zhǔn)面緊壓在底板上,粘料板的兩條側(cè)邊基準(zhǔn)面緊靠基準(zhǔn)面I ;②所調(diào)整夾角量應(yīng)正好抵消晶棒本身的角度偏差;③與角度測量儀配合計算出角度每調(diào)整I分千分卡轉(zhuǎn)動的距離,根據(jù)此數(shù)據(jù)方便地左右旋轉(zhuǎn)千分卡(千分卡前進(jìn)或后退)調(diào)整粘棒角度;④支架懸空的高度滿足粘料板在調(diào)整墊塊時,保證料板上晶棒能與支架的定位塊面緊接觸。
權(quán)利要求1.ー種切割定角度光學(xué)水晶片的晶棒粘接臺,其特征是它包括底板(2)、垂直固連在底板(2) —側(cè)的基準(zhǔn)板(3)和夾角調(diào)節(jié)裝置,所述的底板(2)正面和基準(zhǔn)板(3)的內(nèi)側(cè)面為作為基準(zhǔn)面的平面,所述的夾角調(diào)節(jié)裝置包括支架(4)、千分卡(8)和滑軌(5),滑軌(5)固定在底板(2)另ー側(cè)并與基準(zhǔn)板(3)基準(zhǔn)面相平行,所述的支架(4)聯(lián)接在滑軌(5)上井能夠沿滑軌(5)前后直線滑動,支架(4)的前端面為斜面,且斜面與基準(zhǔn)板的基準(zhǔn)面所成的夾角小于晶棒粘接設(shè)計角,支架(4)斜面的前方設(shè)有條形定位塊(10),定位塊(10)的一端鉸接在與支架斜面固連的支撐桿(I)上,千分卡(8)聯(lián)接在千分卡固定座(9)上,定位塊(10)的另一端與千分卡固定座(9)端部連接,千分卡固定座(9)鉸接在支架(4)上。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的切割定角度光學(xué)水晶片的晶棒粘接臺,其特征是所述支架(4)與底板(2)正面間距大于晶棒的高度,使得支架(4)懸空在晶棒上方。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的切割定角度光學(xué)水晶片的晶棒粘接臺,其特征是所述的支架(4)通過軸承(7)與滑軌(5)滑動聯(lián)接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的切割定角度光學(xué)水晶片的晶棒粘接臺,其特征是所述的基準(zhǔn)板(3)的上方設(shè)有滑動軸承與支架(4)聯(lián)接。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種切割定角度光學(xué)水晶片的晶棒粘接臺,它包括底板、基準(zhǔn)板和夾角調(diào)節(jié)裝置,底板正面和基準(zhǔn)板的內(nèi)側(cè)面為作為基準(zhǔn)面的平面,夾角調(diào)節(jié)裝置包括支架、千分卡和滑軌,滑軌固定在底板另一側(cè),支架聯(lián)接在滑軌上并能夠沿滑軌前后直線滑動,支架前端的斜面與基準(zhǔn)板的基準(zhǔn)面所成的夾角小于晶棒粘接設(shè)計角,支架斜面的前方設(shè)有條形定位塊,定位塊的一端鉸接在與支架斜面固連的支撐桿上,定位塊的另一端與千分卡固定座端部連接,千分卡鉸接在支架上。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單,造價低廉,每臺僅在3000元左右,操作方便,無X射線輻射,既能實(shí)現(xiàn)切割角度指標(biāo)達(dá)到規(guī)定的精度要求,又沒有X光線對操作人員產(chǎn)生危害。
文檔編號B28D7/00GK202439141SQ20112054172
公開日2012年9月19日 申請日期2011年12月22日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月22日
發(fā)明者張學(xué)炎 申請人:銅陵市琨鵬光電科技有限公司