專利名稱：一種用于晶棒的切割機(jī)斷線后的處理方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于晶棒的切割機(jī)斷線后的處理方法。
背景技術(shù)：
目前，在晶棒切割成片的生產(chǎn)過程中，當(dāng)切割機(jī)出現(xiàn)斷線問題時，通常采用卸棒后 清水超聲的處理方法，即停機(jī)后將切割中的晶棒抬離線網(wǎng)，并從工件夾上取下，置于超聲池 中用純水洗凈晶棒表面及線縫中砂漿，然后用壓縮空氣吹干晶棒表面及線縫中水分，再重 新將晶棒裝上工件夾，將線網(wǎng)對入晶棒線縫，之后繼續(xù)切割；在上述方法中，完全洗凈晶棒 需要一般需要幾個甚至十多個小時，不僅費(fèi)時、費(fèi)力、費(fèi)水，而且重裝時需要精確掌握原來 的晶棒位置，如果位置偏移，會使硅片彎曲，造成報廢，并產(chǎn)生再次斷線，導(dǎo)致救棒的成功率 不高。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供能提高救棒的成功率的一種用于晶棒的切割機(jī)斷線后的處 理方法。 本發(fā)明采取的技術(shù)方案是一種用于晶棒的切割機(jī)斷線后的處理方法，其特征在
于先將切割機(jī)上的晶棒抬離線網(wǎng)，剪掉線網(wǎng)，并將一定大小的容器放置于主輥之間以及晶
棒的下部，下降工件臺將晶棒放入容器內(nèi)；之后，在容器內(nèi)倒入無水乙醇直至沒過晶棒切割
位置，導(dǎo)入輕微的壓縮空氣，促使無水乙醇循環(huán)流動的清洗晶棒，少許時間后重新更換容器
中的無水乙醇，再次重復(fù)上述操作一次或一次以上，然后用壓縮空氣吹干晶棒表面及線縫
中無水乙醇；最后，上升工件臺并重鋪線網(wǎng)，將線網(wǎng)對入晶棒線縫，繼續(xù)切割。 采用本發(fā)明方法，因無需將晶棒從工件夾上取下，切割時的原點(diǎn)位置容易尋找，重
裝對刀時降低了誤差，可提高救棒的成功率，且由于無水乙醇能更有效的除去晶棒表面及
線縫中的砂漿懸浮液，降低了操作時間，提高了生產(chǎn)效率。
具體實施例方式
下面結(jié)合具體的實施例對本發(fā)明作進(jìn)一步說明。
1、將切割機(jī)上的晶棒抬離線網(wǎng)，剪掉線網(wǎng)； 2、將一只塑料容器放置于主輥之間以及晶棒的下部，下降工件臺，將晶棒放入容 器內(nèi)； 3、在塑料容器中倒入無水乙醇直至沒過晶棒切割位置，導(dǎo)入輕微的壓縮空氣，促 使無水乙醇循環(huán)流動的清洗晶棒，少許時間后重新更換塑料容器中的無水乙醇，重復(fù)上述 操作一次或一次以上； 4、用壓縮空氣吹干晶棒表面及線縫中無水乙醇； 5、上升工件臺并重鋪線網(wǎng)，將線網(wǎng)對入晶棒線縫，繼續(xù)切割。
權(quán)利要求
一種用于晶棒的切割機(jī)斷線后的處理方法，其特征在于先將切割機(jī)上的晶棒抬離線網(wǎng)，剪掉線網(wǎng)，并將一定大小的容器放置于主輥之間以及晶棒的下部，下降工件臺將晶棒放入容器內(nèi)；之后，在容器內(nèi)倒入無水乙醇直至沒過晶棒切割位置，導(dǎo)入輕微的壓縮空氣，促使無水乙醇循環(huán)流動的清洗晶棒，少許時間后重新更換容器中的無水乙醇，再次重復(fù)上述操作一次或一次以上，然后用壓縮空氣吹干晶棒表面及線縫中無水乙醇；最后，上升工件臺并重鋪線網(wǎng)，將線網(wǎng)對入晶棒線縫，繼續(xù)切割。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于晶棒的切割機(jī)斷線后的處理方法，其特征在于先將切割機(jī)上的晶棒抬離線網(wǎng)，剪掉線網(wǎng)，并將一定大小的容器放置于主輥之間以及晶棒的下部，下降工件臺將晶棒放入容器內(nèi)；之后，在容器內(nèi)倒入無水乙醇直至沒過晶棒切割位置，導(dǎo)入輕微的壓縮空氣，促使無水乙醇循環(huán)流動的清洗晶棒，少許時間后重新更換容器中的無水乙醇，再次重復(fù)上述操作一次或一次以上，然后用壓縮空氣吹干晶棒表面及線縫中無水乙醇；最后，上升工件臺并重鋪線網(wǎng)，將線網(wǎng)對入晶棒線縫，繼續(xù)切割。采用本發(fā)明方法，因無需將晶棒從工件夾上取下，切割時的原點(diǎn)位置容易尋找，重裝對刀時降低了誤差，可提高救棒的成功率，且由于無水乙醇能更有效的除去晶棒表面及線縫中的砂漿懸浮液，降低了操作時間，提高了生產(chǎn)效率。
文檔編號B28D5/04GK101791829SQ201010129798
公開日2010年8月4日 申請日期2010年3月22日 優(yōu)先權(quán)日2010年3月22日
發(fā)明者方建和, 柴宏峰, 郜勇軍 申請人:浙江矽盛電子有限公司