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硅片裝夾結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號:1853218閱讀:243來源:國知局
專利名稱:硅片裝夾結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領域
本發(fā)明涉及硅片清洗工裝領域,具體為硅片裝夾結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)
硅棒膠粘于連接件,通過連接件固定于切割機,然后進行硅片的切割,切割完成后需要將硅片進行清洗,此時已切割好的硅片仍膠粘于連接件上,以往是將切割好的硅片與連接件一起人工搬運至清洗工位,工作效率低,且在搬運過程中的碰撞會導致硅片的損壞。 現(xiàn)在業(yè)內(nèi)用的硅片夾具結(jié)構(gòu)如圖1所示,其包括加強板6,加強板6橫向兩端分別對稱安裝有彎板3,彎板3的縱向兩端分別焊接有圓桿1,圓桿1兩端套裝有限位環(huán)7 ;加強板6中心部位開有螺孔,螺孔內(nèi)設置有螺釘5,螺釘5上部設置有銷4 ;螺釘5通過螺母8固定。2為把手,9為連接件,10為硅片。在此結(jié)構(gòu)中,螺母8鎖緊螺釘5頂緊連接件9來固定連接件和硅片,但是一般情況下硅片的重量是很大的,在整個機構(gòu)行進中使螺釘5不足以固定住連接件9,造成連接件9和硅片10的晃動,可能會導致安全事故發(fā)生。

發(fā)明內(nèi)容
針對上述現(xiàn)有硅片夾具的缺點,本發(fā)明提供了硅片裝夾結(jié)構(gòu),其能夠有效固定住連接件和硅片,在機構(gòu)行進中不會發(fā)生連接件和硅片晃動情況,從而有效避免安全事故發(fā)生。其具體技術(shù)方案是這樣的硅片裝夾結(jié)構(gòu),其包括加強板,所述的加強板兩端對稱安裝有彎板,所述的彎板縱向兩端分別安裝有圓桿,所述的圓桿兩端套裝有限位環(huán);所述的加強板中心處開有螺孔,所述的螺孔內(nèi)設置有螺釘,所述的螺釘上部設置有銷,所述的螺釘通過螺母固定,其特征在于與硅片膠粘的連接件設置有螺孔,所述的螺釘與所述的連接件通過所述的螺孔連接。本發(fā)明采用上述結(jié)構(gòu),當工作時,由于螺釘旋入連接體,這樣可以有效固定住連接體和硅片,在機構(gòu)行進中不會發(fā)生連接件和硅片晃動情況,從而有效避免安全事故發(fā)生。


圖1為原有硅片夾具結(jié)構(gòu)使用示意圖; 圖2為本發(fā)明結(jié)構(gòu)使用示意圖。
具體實施例方式如圖2所示,本發(fā)明包括加強板6,加強板6兩端對稱安裝有彎板3,彎板3縱向兩端安裝有圓桿1,圓桿1兩端套裝有限位環(huán)7 ;加強板6中心處開有螺孔,螺孔內(nèi)設置有螺釘 5,螺釘5上部設置有銷4,螺釘5通過螺母8固定,彎板3壁內(nèi)與圓桿1相接處設置有軸承 11。圖1為原有硅片夾具結(jié)構(gòu)使用示意圖,圖中2為把手,9為連接件,10為硅片。連接件 9設置有螺孔,螺釘5與連接件9通過螺孔連接。
硅棒切割成硅片后,連接件9仍與硅片10上部固定,將連接件9卡接入加強板6 與其兩端彎板3形成的空腔內(nèi),旋轉(zhuǎn)銷4帶動螺釘5旋進連接件9的螺孔中,鎖緊螺母8,將連接件9和硅片10固定住,在輸送過程中,結(jié)構(gòu)兩端的圓桿1擱置于行進機構(gòu)上,由行進機構(gòu)將已切割好的硅片送到清洗工位,圓桿1上的限位環(huán)7控制結(jié)構(gòu)不易走偏。
權(quán)利要求
1.硅片裝夾結(jié)構(gòu),其包括加強板,所述的加強板兩端對稱安裝有彎板,所述的彎板縱向兩端分別安裝有圓桿,所述的圓桿兩端套裝有限位環(huán);所述的加強板中心處開有螺孔,所述的螺孔內(nèi)設置有螺釘,所述的螺釘上部設置有銷,所述的螺釘通過螺母固定,其特征在于 與硅片膠粘的連接件設置有螺孔,所述的螺釘與所述的連接件通過所述的螺孔連接。
全文摘要
本發(fā)明為硅片裝夾結(jié)構(gòu),其能夠有效固定住連接件和硅片,在機構(gòu)行進中不會發(fā)生連接件和硅片晃動情況,從而有效避免安全事故發(fā)生。其包括加強板,所述的加強板兩端對稱安裝有彎板,所述的彎板縱向兩端分別安裝有圓桿,所述的圓桿兩端套裝有限位環(huán);所述的加強板中心處開有螺孔,所述的螺孔內(nèi)設置有螺釘,所述的螺釘上部設置有銷,所述的螺釘通過螺母固定,與硅片膠粘的連接件設置有螺孔,所述的螺釘與所述的連接件通過所述的螺孔連接。
文檔編號B28D7/04GK102501326SQ20111033945
公開日2012年6月20日 申請日期2011年11月1日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月1日
發(fā)明者吳堅 申請人:無錫泰立特科技有限公司
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