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硅片夾具結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號(hào):1853217閱讀:211來源:國知局
專利名稱:硅片夾具結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及硅片清洗工裝領(lǐng)域,具體為硅片夾具結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)
硅棒膠粘于連接件,通過連接件固定于切割機(jī),然后進(jìn)行硅片的切割,切割完成后需要將硅片進(jìn)行清洗,此時(shí)已切割好的硅片仍膠粘于連接件上,以往是將切割好的硅片與連接件一起人工搬運(yùn)至清洗工位,工作效率低,且在搬運(yùn)過程中的碰撞會(huì)導(dǎo)致硅片的損壞。 現(xiàn)在業(yè)內(nèi)用的硅片夾具結(jié)構(gòu)如圖1所示,其包括加強(qiáng)板6,加強(qiáng)板6橫向兩端分別對(duì)稱安裝有彎板3,彎板3的縱向兩端分別焊接有圓桿1,圓桿1兩端套裝有限位環(huán)7 ;加強(qiáng)板6中心部位開有螺孔,螺孔內(nèi)設(shè)置有螺釘5,螺釘5上部設(shè)置有銷4 ;螺釘5通過螺母8固定。2為把手,9為連接件,10為硅片。但是圓桿1直接焊接在彎板3上,一旦工作時(shí),整個(gè)機(jī)構(gòu)的重量就直接作用在圓桿和彎板的焊點(diǎn)上,一般來說硅片柱的重量很大,這樣焊接處容易松動(dòng)剝落,導(dǎo)致發(fā)生安全事故。

發(fā)明內(nèi)容
針對(duì)上述現(xiàn)有硅片夾具的缺點(diǎn),本發(fā)明提供了硅片夾具結(jié)構(gòu),其能夠有效解決夾具結(jié)構(gòu)由于承重過大而出現(xiàn)焊點(diǎn)松動(dòng)剝落問題,從而避免安全事故發(fā)生。其具體技術(shù)方案是這樣的硅片夾具結(jié)構(gòu),其包括加強(qiáng)板,所述的加強(qiáng)板兩端對(duì)稱安裝有彎板,所述的彎板縱向兩端分別安裝有圓桿,所述的圓桿兩端套裝有限位環(huán);所述的加強(qiáng)板中心處開有螺孔,所述的螺孔內(nèi)設(shè)置有螺釘,所述的螺釘上部設(shè)置有銷,所述的螺釘通過螺母固定,其特征在于所述的彎板壁內(nèi)與所述的圓桿相接處設(shè)置有軸承,所述的圓桿通過所述的軸承貫穿安裝在所述的彎板上。本發(fā)明采用上述結(jié)構(gòu),圓桿通過軸承安裝于彎板,這樣在機(jī)構(gòu)行進(jìn)中,整個(gè)機(jī)構(gòu)的重量壓在軸承上,而軸承安裝于彎板壁體內(nèi),這樣就不會(huì)出現(xiàn)原有夾具焊點(diǎn)剝落情況,有效杜絕安全事故發(fā)生。


圖1為原有硅片夾具結(jié)構(gòu)使用示意圖; 圖2為本發(fā)明結(jié)構(gòu)使用主視示意圖3為本發(fā)明結(jié)構(gòu)使用俯視示意圖。
具體實(shí)施例方式如圖2,圖3所示,本發(fā)明包括加強(qiáng)板6,加強(qiáng)板6兩端對(duì)稱安裝有彎板3,彎板3縱向兩端安裝有圓桿1,圓桿1兩端套裝有限位環(huán)7 ;加強(qiáng)板6中心處開有螺孔,螺孔內(nèi)設(shè)置有螺釘5,螺釘5上部設(shè)置有銷4,螺釘5通過螺母8固定,彎板3壁內(nèi)與圓桿1相接處設(shè)置有軸承11,圓桿1通過軸承11貫穿安裝在彎板3上。圖1為原有硅片夾具結(jié)構(gòu)使用示意圖,圖中2為把手,9為連接件,10為硅片。 硅棒切割成硅片后,連接件9仍與硅片10上部固定,將連接件9卡接入加強(qiáng)板6 與其兩端彎板3形成的空腔內(nèi),旋轉(zhuǎn)銷4帶動(dòng)螺釘5頂緊連接件9,鎖緊螺母8,在輸送過程中,結(jié)構(gòu)兩端的圓桿1擱置于行進(jìn)機(jī)構(gòu)上,由行進(jìn)機(jī)構(gòu)將已切割好的硅片送到清洗工位,圓桿1上的限位環(huán)7控制結(jié)構(gòu)不易走偏。
權(quán)利要求
1.硅片夾具結(jié)構(gòu),其包括加強(qiáng)板,所述的加強(qiáng)板兩端對(duì)稱安裝有彎板,所述的彎板縱向兩端分別安裝有圓桿,所述的圓桿兩端套裝有限位環(huán);所述的加強(qiáng)板中心處開有螺孔,所述的螺孔內(nèi)設(shè)置有螺釘,所述的螺釘上部設(shè)置有銷,所述的螺釘通過螺母固定,其特征在于 所述的彎板壁內(nèi)與所述的圓桿相接處設(shè)置有軸承,所述的圓桿通過所述的軸承貫穿安裝在所述的彎板上。
全文摘要
本發(fā)明為硅片夾具結(jié)構(gòu),其能夠有效解決夾具結(jié)構(gòu)由于承重過大而出現(xiàn)焊點(diǎn)松動(dòng)剝落問題,從而避免安全事故發(fā)生。其包括加強(qiáng)板,所述的加強(qiáng)板兩端對(duì)稱安裝有彎板,所述的彎板縱向兩端分別安裝有圓桿,所述的圓桿兩端套裝有限位環(huán);所述的加強(qiáng)板中心處開有螺孔,所述的螺孔內(nèi)設(shè)置有螺釘,所述的螺釘上部設(shè)置有銷,所述的螺釘通過螺母固定,所述的彎板壁內(nèi)與所述的圓桿相接處設(shè)置有軸承,所述的圓桿通過所述的軸承貫穿安裝在所述的彎板上。
文檔編號(hào)B28D7/04GK102407573SQ20111033945
公開日2012年4月11日 申請(qǐng)日期2011年11月1日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月1日
發(fā)明者吳堅(jiān) 申請(qǐng)人:無錫泰立特科技有限公司
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