技術(shù)編號(hào):1853217
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及硅片清洗工裝領(lǐng)域,具體為硅片夾具結(jié)構(gòu)。 背景技術(shù)硅棒膠粘于連接件,通過連接件固定于切割機(jī),然后進(jìn)行硅片的切割,切割完成后需要將硅片進(jìn)行清洗,此時(shí)已切割好的硅片仍膠粘于連接件上,以往是將切割好的硅片與連接件一起人工搬運(yùn)至清洗工位,工作效率低,且在搬運(yùn)過程中的碰撞會(huì)導(dǎo)致硅片的損壞。 現(xiàn)在業(yè)內(nèi)用的硅片夾具結(jié)構(gòu)如圖1所示,其包括加強(qiáng)板6,加強(qiáng)板6橫向兩端分別對(duì)稱安裝有彎板3,彎板3的縱向兩端分別焊接有圓桿1,圓桿1兩端套裝有限位環(huán)7 ;加強(qiáng)板6中心部位開...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。