技術編號:1853218
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及硅片清洗工裝領域,具體為硅片裝夾結構。 背景技術硅棒膠粘于連接件,通過連接件固定于切割機,然后進行硅片的切割,切割完成后需要將硅片進行清洗,此時已切割好的硅片仍膠粘于連接件上,以往是將切割好的硅片與連接件一起人工搬運至清洗工位,工作效率低,且在搬運過程中的碰撞會導致硅片的損壞。 現在業(yè)內用的硅片夾具結構如圖1所示,其包括加強板6,加強板6橫向兩端分別對稱安裝有彎板3,彎板3的縱向兩端分別焊接有圓桿1,圓桿1兩端套裝有限位環(huán)7 ;加強板6中心部位開...
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