專利名稱：自動(dòng)感知止動(dòng)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種自動(dòng)感知止動(dòng)裝置，特別是涉及一種可應(yīng)用于如晶圓劈裂機(jī)...等自動(dòng)化機(jī)械中，提供自動(dòng)化機(jī)械的驅(qū)動(dòng)組件自動(dòng)感知停止功能的自動(dòng)感知止動(dòng)裝置。
背景技術(shù)：
近年來(lái)，由于科技快速發(fā)展，許多加工制造產(chǎn)業(yè)以驅(qū)于自動(dòng)化。以半導(dǎo)體元件的制 造過(guò)程為例，其主要是將晶圓以切割或裂片的手段分割成多數(shù)晶粒，再將晶粒固定在載體 上進(jìn)行電路布設(shè)，最后用封膠體包覆晶粒封裝成形，而制成一具有特定功能的半導(dǎo)體元件， 于此過(guò)程中，晶圓的裂片制程，主要是將待分割的晶圓先進(jìn)行預(yù)切割，使晶圓表面形成多數(shù) 縱橫交錯(cuò)的淺溝，并放置于晶圓劈裂機(jī)的載臺(tái)上，再經(jīng)過(guò)對(duì)正定位后，由驅(qū)動(dòng)組件中的馬達(dá) 驅(qū)動(dòng)帶動(dòng)劈刀向下移動(dòng)抵觸晶圓，并藉由沖擊裝置沖擊劈刀，進(jìn)而給予晶圓一個(gè)沖擊力量， 使晶圓自其預(yù)切割的淺溝位置劈裂。而在晶圓劈裂過(guò)程中，現(xiàn)今的做法概是利用控制組件控制馬達(dá)旋轉(zhuǎn)的角度，并于 馬達(dá)旋轉(zhuǎn)至設(shè)定的角度后使其停止作動(dòng)，進(jìn)而控制劈刀的下降行程，但晶圓于制造上并非 完全平整，以固定的劈刀行程進(jìn)行劈裂，往往會(huì)造成劈刀尚未接觸晶圓便停止，使劈刀產(chǎn)生 的沖擊力道未能有效地傳到晶圓上，或者是劈刀接觸晶圓后尚持續(xù)下移，使晶圓受到壓迫 而損壞，這兩種情況皆對(duì)晶圓劈裂有負(fù)面的影響，使晶圓劈裂面產(chǎn)生不平整的問(wèn)題，降低晶 粒的良率。除上述晶圓劈裂機(jī)，在許多其他領(lǐng)域所使用的自動(dòng)化設(shè)備亦有缺乏自動(dòng)感知停止 功能的缺點(diǎn)，在現(xiàn)今加工、制造精度日益提升的高度工業(yè)化社會(huì)，僅以固定行程控制機(jī)具的 移動(dòng)恐無(wú)法因應(yīng)需求。由此可見(jiàn)，上述現(xiàn)有的止動(dòng)裝置在結(jié)構(gòu)與使用上，顯然仍存在有不便與缺陷，而亟 待加以進(jìn)一步改進(jìn)。為了解決上述存在的問(wèn)題，相關(guān)廠商莫不費(fèi)盡心思來(lái)謀求解決之道， 但長(zhǎng)久以來(lái)一直未見(jiàn)適用的設(shè)計(jì)被發(fā)展完成，而一般產(chǎn)品又沒(méi)有適切結(jié)構(gòu)能夠解決上述問(wèn) 題，此顯然是相關(guān)業(yè)者急欲解決的問(wèn)題。因此如何能創(chuàng)設(shè)一種新型的自動(dòng)感知止動(dòng)裝置，實(shí) 屬當(dāng)前重要研發(fā)課題之一，亦成為當(dāng)前業(yè)界極需改進(jìn)的目標(biāo)。有鑒于上述現(xiàn)有的止動(dòng)裝置存在的缺陷，本發(fā)明人基于從事此類(lèi)產(chǎn)品設(shè)計(jì)制造多 年豐富的實(shí)務(wù)經(jīng)驗(yàn)及專業(yè)知識(shí)，并配合學(xué)理的運(yùn)用，積極加以研究創(chuàng)新，以期創(chuàng)設(shè)一種新型 的自動(dòng)感知止動(dòng)裝置，能夠改進(jìn)一般現(xiàn)有的止動(dòng)裝置，使其更具有實(shí)用性。經(jīng)過(guò)不斷的研 究、設(shè)計(jì)，并經(jīng)過(guò)反復(fù)試作樣品及改進(jìn)后，終于創(chuàng)設(shè)出確具實(shí)用價(jià)值的本發(fā)明。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的主要目的在于，克服現(xiàn)有的止動(dòng)裝置存在的缺陷，而提供一種新型 的自動(dòng)感知止動(dòng)裝置，所要解決的技術(shù)問(wèn)題是使其改善現(xiàn)有習(xí)知自動(dòng)化機(jī)械無(wú)法因應(yīng)需求 而自動(dòng)停止作動(dòng)的情形，非常適于實(shí)用。[0008]本實(shí)用新型的另一目的在于，提供一種新型的自動(dòng)感知止動(dòng)裝置，所要解決的技 術(shù)問(wèn)題是使其藉由搖臂將觸接部與感知部間的相對(duì)位移的放大，使觸接部與感知部的斷路 效果更加明顯，進(jìn)而提升止動(dòng)效果，非常適于實(shí)用。 本實(shí)用新型的再一目的在于，提供一種新型的自動(dòng)感知止動(dòng)裝置，所要解決的技 術(shù)問(wèn)題是使其使設(shè)于該基座底端的作動(dòng)件不會(huì)因?yàn)榛闹亓窟^(guò)重而壓損外部的抵靠物， 非常適于實(shí)用。本實(shí)用新型的目的及解決其技術(shù)問(wèn)題是采用以下的技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)的。依據(jù)本 實(shí)用新型提出的一種自動(dòng)感知止動(dòng)裝置，用以裝設(shè)于自動(dòng)化機(jī)械中具有一作動(dòng)件的驅(qū)動(dòng)組 件上，其特征在于該自動(dòng)感知止動(dòng)裝置包含一活動(dòng)座，用以裝設(shè)于該驅(qū)動(dòng)組件的升降作動(dòng) 端，而可被驅(qū)動(dòng)上下移動(dòng)；一基座，其可活動(dòng)地壓抵于該活動(dòng)座上，并可隨該活動(dòng)座上下移 動(dòng)，該基座下端用以提供該作動(dòng)件組設(shè)其上；以及一感知裝置感知組件，其設(shè)于該活動(dòng)座與 基座之間，用以感知該基座與活動(dòng)座間的相對(duì)移動(dòng)，且當(dāng)該基座與活動(dòng)座產(chǎn)生相對(duì)移動(dòng)時(shí) 則回授一信號(hào)以停止該驅(qū)動(dòng)組件作動(dòng)。本實(shí)用新型的目的以及解決其技術(shù)問(wèn)題還可以采用以下的技術(shù)措施來(lái)進(jìn)一步實(shí) 現(xiàn)。前述的自動(dòng)感知止動(dòng)裝置，其中所述的基座包含一座體以及設(shè)于該座體一側(cè)的觸 接部，該感知組件包含一可隨該活動(dòng)座移動(dòng)的感知部，該觸接部與感知部電連接該驅(qū)動(dòng)組 件的作動(dòng)開(kāi)關(guān)，且該感知部接抵且電性連通該觸接部，此為驅(qū)動(dòng)組件的作動(dòng)狀態(tài)，該感知部 可隨該基座與活動(dòng)座產(chǎn)生相對(duì)位移時(shí)脫離觸接部，使該感知部與觸接部間形成斷路，使該 驅(qū)動(dòng)組件停止作動(dòng)。前述的自動(dòng)感知止動(dòng)裝置，其中所述的感知組件包含一搖臂，該搖臂一端樞設(shè)于 該基座，該搖臂另一端設(shè)有該感知部，該搖臂近其樞設(shè)于基座處向下抵靠于該活動(dòng)座的一 抵靠部，當(dāng)該基座與活動(dòng)座產(chǎn)生相對(duì)位移時(shí)，該搖臂隨該抵靠部移動(dòng)而旋擺，使該感知部脫 離該觸接部。前述的自動(dòng)感知止動(dòng)裝置，其中所述的活動(dòng)座尚包含一彈性體以及一容置槽，該 彈性體設(shè)于該容置槽內(nèi)；該基座尚包含一調(diào)整部，該調(diào)整部可相對(duì)該座體上下活動(dòng)，該基座 藉由該調(diào)整部壓抵該彈性體向下抵靠于該活動(dòng)座。本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有明顯的優(yōu)點(diǎn)和有益效果。經(jīng)由以上可知，為了達(dá) 到上述目的，本實(shí)用新型提供了一種自動(dòng)感知止動(dòng)裝置用以裝設(shè)于自動(dòng)化機(jī)械中具有一作 動(dòng)件的驅(qū)動(dòng)組件上，該自動(dòng)感知止動(dòng)裝置包含一活動(dòng)座，用以裝設(shè)于該驅(qū)動(dòng)組件的升降作動(dòng)端，而可被驅(qū)動(dòng)上下移動(dòng)；一基座，其可活動(dòng)地壓抵于該活動(dòng)座上，并可隨該活動(dòng)座上下移動(dòng)，該基座下端用 以提供該作動(dòng)件組設(shè)其上；以及一感知組件，其設(shè)于該活動(dòng)座與基座之間，用以感知該基座與活動(dòng)座間的相對(duì)移 動(dòng)，且當(dāng)該基座與活動(dòng)座產(chǎn)生相對(duì)移動(dòng)時(shí)則回授一信號(hào)以停止該驅(qū)動(dòng)組件作動(dòng)。本實(shí)用新型藉由該基座抵靠于活動(dòng)座，并利用該基座可相對(duì)于該活動(dòng)座移動(dòng)的特 點(diǎn)，當(dāng)作動(dòng)件接觸至外部抵靠物時(shí)，該活動(dòng)座與基座產(chǎn)生相對(duì)移動(dòng)，并藉由該感知組件感知 其相對(duì)移動(dòng)，進(jìn)而回授一信號(hào)致使驅(qū)動(dòng)組件停止，使作動(dòng)件可以在接觸到外部抵靠物時(shí)便 停止下移，提供一可因應(yīng)外部抵靠物狀態(tài)而自動(dòng)調(diào)整作動(dòng)件下降行程的裝置。[0020]本實(shí)用新型令該基座包含一座體以及設(shè)于該座體一側(cè)的觸接部，該感知組件包含 一可隨該活動(dòng)座移動(dòng)的感知部，該觸接部與感知部電連接該驅(qū)動(dòng)組件的作動(dòng)開(kāi)關(guān)，且該感 知部接抵且電性連通該觸接部，此為驅(qū)動(dòng)組件的作動(dòng)狀態(tài)，該感知部可隨該基座與活動(dòng)座 產(chǎn)生相對(duì)位移時(shí)脫離觸接部，使該感知部與觸接部間形成斷路，使該驅(qū)動(dòng)組件停止作動(dòng)；該 感知組件包含一搖臂，該搖臂一端樞設(shè)于該基座，該搖臂另一端設(shè)有該感知部，該搖臂近其 樞設(shè)于基座處向下抵靠于該活動(dòng)座的一抵靠部，當(dāng)該基座與活動(dòng)座產(chǎn)生相對(duì)位移時(shí)，該搖 臂隨該抵靠部移動(dòng)而旋擺，使該感知部脫離該觸接部。藉此，利用該基座與活動(dòng)座相對(duì)位移時(shí)，該觸接部與感知部間形成斷路的特點(diǎn)，控 制驅(qū)動(dòng)組件停止作動(dòng)，效果直接而有效，并藉由搖臂將觸接部與感知部間的相對(duì)位移的放 大，使觸接部與感知部的斷路效果更加明顯，進(jìn)而提升止動(dòng)效果。本實(shí)用新型還令該活動(dòng)座尚包含一彈性體以及一容置槽，該彈性體設(shè)于該容置槽 內(nèi)；該基座尚包含一調(diào)整部，該調(diào)整部可相對(duì)該座體上下活動(dòng)，該基座藉由該調(diào)整部壓抵該 彈性體向下抵靠于該活動(dòng)座。藉由壓抵于該基座與活動(dòng)座之間的彈性體，使該基座相對(duì)于該活動(dòng)座位移時(shí)，該 彈性體仍可提供一彈性力支撐該基座，使設(shè)于該基座底端的作動(dòng)件不會(huì)因?yàn)榛闹亓窟^(guò) 重而壓損外部的抵靠物。借由上述技術(shù)方案，本實(shí)用新型自動(dòng)感知止動(dòng)裝置至少具有下列優(yōu)點(diǎn)及有益效 果1、本實(shí)用新型改善現(xiàn)有習(xí)知自動(dòng)化機(jī)械無(wú)法因應(yīng)需求而自動(dòng)停止作動(dòng)的情形，非 常適于實(shí)用。2、本實(shí)用新型藉由搖臂將觸接部與感知部間的相對(duì)位移的放大，使觸接部與感知 部的斷路效果更加明顯，進(jìn)而提升止動(dòng)效果。3、本實(shí)用新型使設(shè)于該基座底端的作動(dòng)件不會(huì)因?yàn)榛闹亓窟^(guò)重而壓損外部 的抵靠物綜上所述，本實(shí)用新型是有關(guān)于一種自動(dòng)感知止動(dòng)裝置，用以裝設(shè)于自動(dòng)化機(jī)械 的驅(qū)動(dòng)組件上，本實(shí)用新型主要以一基座向下抵靠一設(shè)于該驅(qū)動(dòng)組件的活動(dòng)座上，并于活 動(dòng)座與基座間設(shè)有一感知組件，當(dāng)驅(qū)動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)作動(dòng)件的作動(dòng)過(guò)程中，該活動(dòng)座帶動(dòng)基座 向下移動(dòng)至設(shè)于基座底端的作動(dòng)件接觸外部抵靠物時(shí)，該基座停止移動(dòng)并與該活動(dòng)座產(chǎn)生 相對(duì)位移，藉由該感知組件感知其相對(duì)移動(dòng)進(jìn)而控制驅(qū)動(dòng)組件停止作動(dòng)，提供一可因應(yīng)外 部抵靠物平坦?fàn)顟B(tài)，而可自動(dòng)調(diào)整作動(dòng)件下降行程的自動(dòng)感知止動(dòng)裝置。本實(shí)用新型在技 術(shù)上有顯著的進(jìn)步，并具有明顯的積極效果，誠(chéng)為一新穎、進(jìn)步、實(shí)用的新設(shè)計(jì)。上述說(shuō)明僅是本實(shí)用新型技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本實(shí)用新型的技 術(shù)手段，而可依照說(shuō)明書(shū)的內(nèi)容予以實(shí)施，并且為了讓本實(shí)用新型的上述和其他目的、特征 和優(yōu)點(diǎn)能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實(shí)施例，并配合附圖，詳細(xì)說(shuō)明如下。

圖1為本實(shí)用新型自動(dòng)感知止動(dòng)裝置的一較佳實(shí)施例應(yīng)用于晶圓劈裂機(jī)中的外觀立體圖。圖2為本實(shí)用新型自動(dòng)感知止動(dòng)裝置較佳實(shí)施例應(yīng)用于晶圓劈裂機(jī)中的剖視立體圖。圖3為本實(shí)用新型自動(dòng)感知止動(dòng)裝置較佳實(shí)施例應(yīng)用于晶圓劈裂機(jī)中的主視圖。圖4為本實(shí)用新型自動(dòng)感知止動(dòng)裝置較佳實(shí)施例應(yīng)用于晶圓劈裂機(jī)中的側(cè)視局部剖視圖。圖5為本實(shí)用新型自動(dòng)感知止動(dòng)裝置較佳實(shí)施例應(yīng)用于晶圓劈裂機(jī)中被驅(qū)動(dòng)狀態(tài)的局部放大圖(一)。圖6為本實(shí)用新型自動(dòng)感知止動(dòng)裝置較佳實(shí)施例應(yīng)用于晶圓劈裂機(jī)中被驅(qū)動(dòng)狀 態(tài)的局部放大圖(二)。圖7為本實(shí)用新型自動(dòng)感知止動(dòng)裝置較佳實(shí)施例應(yīng)用于晶圓劈裂機(jī)中被驅(qū)動(dòng)狀 態(tài)的局部放大圖(三)。圖8為本實(shí)用新型自動(dòng)感知止動(dòng)裝置較佳實(shí)例應(yīng)用于晶圓劈裂機(jī)中停止?fàn)顟B(tài)的 局部放大圖(一)。圖9為本實(shí)用新型自動(dòng)感知止動(dòng)裝置較佳實(shí)施例應(yīng)用于晶圓劈裂機(jī)中停止?fàn)顟B(tài) 的局部放大圖(二)。圖10為本實(shí)用新型自動(dòng)感知止動(dòng)裝置較佳實(shí)施例應(yīng)用于晶圓劈裂機(jī)中停止?fàn)顟B(tài) 的局部放大圖(三)。1 活動(dòng)座11 抵靠部12:容置槽13:彈性體2 基座20 座體21 觸接部22 調(diào)整部3 感知組件31 感知部32 搖臂4 驅(qū)動(dòng)組件41 馬達(dá)42 螺桿43 連結(jié)塊5:劈刀6:晶圓
具體實(shí)施方式
為更進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型為達(dá)成預(yù)定發(fā)明目的所采取的技術(shù)手段及功效，以下 結(jié)合附圖及較佳實(shí)施例，對(duì)依據(jù)本實(shí)用新型提出的自動(dòng)感知止動(dòng)裝置其具體實(shí)施方式
、結(jié) 構(gòu)、特征及其功效，詳細(xì)說(shuō)明如后。有關(guān)本實(shí)用新型的前述及其他技術(shù)內(nèi)容、特點(diǎn)及功效，在以下配合參考圖式的較 佳實(shí)施例的詳細(xì)說(shuō)明中將可清楚的呈現(xiàn)。為了方便說(shuō)明，在以下的實(shí)施例中，相同的元件以 相同的編號(hào)表示。本實(shí)用新型自動(dòng)感知止動(dòng)裝置用以裝設(shè)于自動(dòng)化機(jī)械中具有一作動(dòng)件的驅(qū)動(dòng)組 件上，用以自動(dòng)控制該驅(qū)動(dòng)組件停止作動(dòng)，請(qǐng)參閱圖1至圖4所示，為本實(shí)用新型自動(dòng)感知 止動(dòng)裝置應(yīng)用于晶圓劈裂機(jī)的一較佳實(shí)施例，其裝設(shè)于晶圓劈裂機(jī)中的驅(qū)動(dòng)組件4上，并 提供晶圓劈刀5裝設(shè)其上，以晶圓劈刀5作為作動(dòng)件，該驅(qū)動(dòng)組件4包含一馬達(dá)41、一連結(jié) 于該馬達(dá)41輸出軸的螺桿42，以及一具有內(nèi)螺紋并嚙合套設(shè)于該螺桿42的連結(jié)塊43，該 自動(dòng)感知止動(dòng)裝置包含一活動(dòng)座1、一基座2以及一感知組件3。[0052]該活動(dòng)座1是連接設(shè)于該晶圓劈裂機(jī)的驅(qū)動(dòng)組件4的升降作動(dòng)端，而可被驅(qū)動(dòng)上 下移動(dòng)，在本實(shí)施例中，該活動(dòng)座1連結(jié)于該驅(qū)動(dòng)組件4的連結(jié)塊43上并可隨其上下運(yùn)動(dòng)， 該活動(dòng)座1可包含一抵靠部U、一容置槽12以及一設(shè)于該容置槽12內(nèi)的彈性體13。該基座2可活動(dòng)地壓抵于該活動(dòng)座1上，并可隨該活動(dòng)座1上下移動(dòng)，該基座2下 端用以提供該晶圓劈刀5組設(shè)其上，該基座2包含一座體20以及一設(shè)于該座體20 —側(cè)的 觸接部21，或更進(jìn)一步包含一調(diào)整部22，該調(diào)整部22可相對(duì)于該座體20上下移動(dòng)，該基座 2的調(diào)整部22壓抵該容置槽12內(nèi)的彈性體13藉以向下抵靠于該活動(dòng)座1上。 該感知組件3設(shè)于該活動(dòng)座1與基座2之間，用以感知該基座2與活動(dòng)座1間的相 對(duì)移動(dòng)，且當(dāng)其間產(chǎn)生相對(duì)移動(dòng)時(shí)則送出一信號(hào)以停止該驅(qū)動(dòng)組件4作動(dòng)，在本實(shí)施例中， 該感知組件3包含一感知部31，或更進(jìn)一步包含一搖臂32，該搖臂32 —端樞設(shè)于該基座2， 且該搖臂32近該樞設(shè)基座2處向下抵靠于該活動(dòng)座1的抵靠部11，該搖臂32另一端設(shè)有 該感知部31，且該感知部31接抵且電性連通該觸接部21，在本實(shí)施例中，該觸接部21與感 知部31電連接該驅(qū)動(dòng)組件4的作動(dòng)開(kāi)關(guān)，以接觸感知的方式控制驅(qū)動(dòng)組件4作動(dòng)與否，該 觸接部21與該感知部31接觸導(dǎo)通時(shí)為驅(qū)動(dòng)組件4的作動(dòng)狀態(tài)；反之則為停止?fàn)顟B(tài)。請(qǐng)參照?qǐng)D4所示，本實(shí)用新型自動(dòng)感知止動(dòng)裝置于使用時(shí)，以應(yīng)用于晶圓劈裂機(jī) 為例，經(jīng)由馬達(dá)41帶動(dòng)該螺桿42旋轉(zhuǎn)，使嚙合于該螺桿42上的連結(jié)塊43帶動(dòng)該活動(dòng)座1 與基座2向下移動(dòng)，請(qǐng)配合圖5至圖7所示，當(dāng)基座2向下移動(dòng)至設(shè)于基座2下方的晶圓劈 刀5抵靠于晶圓6時(shí)，該基座2停止移動(dòng)；請(qǐng)配合參閱圖8至圖10，此時(shí)，該驅(qū)動(dòng)組件4尚 持續(xù)帶動(dòng)該活動(dòng)座1向下移動(dòng)，使活動(dòng)座1與基座2產(chǎn)生相對(duì)位移，該活動(dòng)座1的抵靠部11 相對(duì)于該基座2向下移動(dòng)，抵靠于該抵靠部11的搖臂32隨之向下旋擺，使該感知部31脫 離該觸接部21形成斷路，使驅(qū)動(dòng)組件4停止作動(dòng)。此外，該感知組件3可為一壓力感測(cè)器，以壓力量測(cè)取代接觸感知來(lái)感測(cè)該基座2 與活動(dòng)座1是否相對(duì)位移，該壓力感測(cè)器可裝設(shè)于該觸接部21與感知部31間，利用該觸接 部21與感知部31相對(duì)位移時(shí)會(huì)造成壓力驟降的特點(diǎn)，設(shè)定該觸接部21施與該感知部31 的壓力小于某一個(gè)設(shè)定值時(shí)，回授一信號(hào)以切斷馬達(dá)41電源使驅(qū)動(dòng)組件4停止作動(dòng)。該感知組件3可為一光學(xué)尺，以位置量測(cè)取代接觸感知來(lái)判斷基座2與活動(dòng)座1 間是否相對(duì)移動(dòng)，該光學(xué)尺可裝設(shè)于該觸接部21或感知部31中任一處，以裝設(shè)于該觸接部 21為例，藉此量測(cè)該感知部31相對(duì)于觸接部21的位移量，并設(shè)定當(dāng)該感知部31相對(duì)于觸 接部21位移時(shí)，回授一信號(hào)以切斷馬達(dá)41電源使驅(qū)動(dòng)組件停止作動(dòng)。本實(shí)用新型自動(dòng)感知止動(dòng)裝置的基座2抵靠于該活動(dòng)座1，且該基座2可相對(duì)于 該活動(dòng)座1移動(dòng)，當(dāng)基座2與其底端的劈刀5抵靠于晶圓6而停止移動(dòng)時(shí)，藉由該感知組件 3感測(cè)該基座2與活動(dòng)座1的相對(duì)移動(dòng)，進(jìn)而致使驅(qū)動(dòng)組件4停止作動(dòng)，避免因劈刀在未接 觸或過(guò)度壓迫晶圓6的狀態(tài)下停止，以致于晶圓6的劈裂面產(chǎn)生不平整的情形，提升晶圓6 劈裂的平整度，進(jìn)而提高晶粒的良率，且藉由搖臂32的設(shè)置，放大觸接部21與感知部31間 的相對(duì)位移，使觸接部21與感知部31的斷路效果更加明顯，進(jìn)而提升自動(dòng)感知的效果；其 次，藉由設(shè)置于該活動(dòng)座1與基座2間的彈性體13，使該活動(dòng)座1與該基座2產(chǎn)生相對(duì)位移 時(shí)，該彈性體13尚可提供一彈性力支撐該基座2，避免因基座重量過(guò)重壓迫損壞晶圓6，且 該調(diào)整部22可以調(diào)整彈性體13的壓縮量，進(jìn)而依需求調(diào)整適當(dāng)?shù)膹椥粤ΑＲ陨纤?，僅是本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并非對(duì)本實(shí)用新型作任何形式上的限制，雖然本實(shí)用新型已以較佳實(shí)施例揭露如上，然而并非用以限定本實(shí)用新型，任何熟悉本專業(yè)的技術(shù)人員在不脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案范圍內(nèi)，當(dāng)可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容 作出些許更動(dòng)或修飾為等同變化的等效實(shí)施例，但凡是未脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案的內(nèi) 容，依據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何簡(jiǎn)單修改、等同變化與修飾，均仍 屬于本實(shí)用新型技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求一種自動(dòng)感知止動(dòng)裝置，用以裝設(shè)于自動(dòng)化機(jī)械中具有一動(dòng)作件的驅(qū)動(dòng)組件上，其特征在于該自動(dòng)感知止動(dòng)裝置包含一活動(dòng)座，用以裝設(shè)于該驅(qū)動(dòng)組件的升降動(dòng)作端，而可被驅(qū)動(dòng)上下移動(dòng)；一基座，其可活動(dòng)地壓抵于該活動(dòng)座上，并可隨該活動(dòng)座上下移動(dòng)，該基座下端用以提供該動(dòng)作件組設(shè)其上；以及一感知裝置感知組件，其設(shè)于該活動(dòng)座與基座之間，用以感知該基座與活動(dòng)座間的相對(duì)移動(dòng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動(dòng)感知止動(dòng)裝置，其特征在于其中所述的基座包含一座體 以及設(shè)于該座體一側(cè)的觸接部，該感知組件包含一可隨該活動(dòng)座移動(dòng)的感知部，該觸接部 與感知部電連接該驅(qū)動(dòng)組件的動(dòng)作開(kāi)關(guān)，且該感知部接抵且電性連通該觸接部。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的自動(dòng)感知止動(dòng)裝置，其特征在于其中所述的感知組件包含一 搖臂，該搖臂一端樞設(shè)于該基座，該搖臂另一端設(shè)有該感知部，該搖臂近其樞設(shè)于基座處向 下抵靠于該活動(dòng)座的一抵靠部。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的自動(dòng)感知止動(dòng)裝置，其特征在于其中所述的活動(dòng)座尚包含一 彈性體以及一容置槽，該彈性體設(shè)于該容置槽內(nèi)；該基座尚包含一調(diào)整部，該調(diào)整部相對(duì)該 座體上下活動(dòng)，該基座藉由該調(diào)整部壓抵該彈性體向下抵靠于該活動(dòng)座。
專利摘要本實(shí)用新型是有關(guān)于一種自動(dòng)感知止動(dòng)裝置，用以裝設(shè)于自動(dòng)化機(jī)械的驅(qū)動(dòng)組件上，本實(shí)用新型主要以一基座向下抵靠一設(shè)于該驅(qū)動(dòng)組件的活動(dòng)座上，并于活動(dòng)座與基座間設(shè)有一感知組件，當(dāng)驅(qū)動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)作動(dòng)件的作動(dòng)過(guò)程中，該活動(dòng)座帶動(dòng)基座向下移動(dòng)至設(shè)于基座底端的作動(dòng)件接觸外部抵靠物時(shí)，該基座停止移動(dòng)并與該活動(dòng)座產(chǎn)生相對(duì)位移，藉由該感知組件感知其相對(duì)移動(dòng)進(jìn)而控制驅(qū)動(dòng)組件停止作動(dòng)，提供一可因應(yīng)外部抵靠物平坦?fàn)顟B(tài)，而可自動(dòng)調(diào)整作動(dòng)件下降行程的自動(dòng)感知止動(dòng)裝置。本實(shí)用新型改善現(xiàn)有已知自動(dòng)化機(jī)械無(wú)法因應(yīng)需求而自動(dòng)停止作動(dòng)的情形，非常適于實(shí)用。
文檔編號(hào)B28D5/04GK201566056SQ20092026942
公開(kāi)日2010年9月1日 申請(qǐng)日期2009年10月29日 優(yōu)先權(quán)日2009年10月29日
發(fā)明者王裕賢 申請(qǐng)人:竑騰科技股份有限公司