專利名稱：：一種用于線切割預(yù)備工作減少粘膠氣泡的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種用于線切割預(yù)備工作減少粘膠氣泡的方法，該方法主要應(yīng)用于對待切物進(jìn)行線切割前的預(yù)備階段。該方法特別是應(yīng)用于多晶硅、單晶硅、半導(dǎo)體生產(chǎn)領(lǐng)域中對待切物進(jìn)行線切割前的預(yù)備階段。
背景技術(shù)：
：在線切割之前有一個預(yù)備工作涉及待切物和安裝部件的粘膠以及膠的固化。安裝部件用于將粘合在其上的待切物固定在線切割設(shè)備的掛件上，也就是說粘合與固化結(jié)束后，待切物是通過安裝部件固定在線切割設(shè)備的掛件上，再通過線切割設(shè)備將待切物切割成薄片。目前常用的安裝部件由底襯和托盤組成，而底襯又通常是毛玻璃，具體如下現(xiàn)有的待切物、毛玻璃、托盤的刷膠以及膠的固化具體過程如下在托盤的一面刷膠，將毛玻璃與托盤粘合在一起，然后在毛玻璃的另一面刷膠，最后將待切物與毛玻璃粘合在一起，此時通過粘膠劑形成一個上層是待切物、中層是毛玻璃、底層是托盤的粘合組件。然后在常溫常壓狀態(tài)下等待數(shù)小時甚至更長的時間才能完成粘膠劑的固化，當(dāng)粘膠劑完全固化后，才能將由待切物、毛玻璃、托盤組成的粘結(jié)組件固定放置在線切割機中準(zhǔn)備切割。粘膠好壞會直接影響到切片過程中是否掉片的問題。這是由于在待切物、毛玻璃、托盤粘膠的過程中容易在粘膠劑中產(chǎn)生氣泡，而由待切物切割而成的片很薄，帶有氣泡的粘膠劑與不帶氣泡的粘膠劑在同樣的切割條件下與待切物的粘接力是有差異的。有粘膠劑氣泡的地方與待切物粘接效果差，導(dǎo)致待切物在切割的過程中掉片。更嚴(yán)重的是，如果粘膠不均勻，還會引起在待切物被切割的過程中，毛玻璃與托盤或托盤與待切物整體脫離，嚴(yán)重影響整個批次的切割質(zhì)量，造成經(jīng)濟(jì)損失。粘膠時產(chǎn)生的氣泡還會影響薄片切割的尺寸和角度，從而也影響薄片切割的質(zhì)量。所以刷膠均勻并減少氣泡很重要?，F(xiàn)有的待切物、毛玻璃、托盤的粘膠過程中減少氣泡的方法是依靠人工擠壓或重物靜壓方式驅(qū)趕刷膠不均勻而產(chǎn)生的氣泡，不僅費力，而且不能確保在粘膠過程中產(chǎn)生的氣泡被完全排出，因而對于實現(xiàn)減低切片的掉片率是十分不利的。而且在常溫常壓狀態(tài)下進(jìn)行膠的固化，所需時間太長，工作效率低。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于提供一種用于線切割預(yù)備工作減少粘膠氣泡的方法。該方法降低了線切割工藝中的掉片率，提高線切割的切割質(zhì)量，改善線切割工藝，同時還大大地縮短了粘膠的固化時間，降低線切割切片的生產(chǎn)周期。本發(fā)明的技術(shù)方案為一種用于線切割預(yù)備工作減少粘膠氣泡的方法，其中步驟如下(1)將互相粘合在一起的安裝部件和待切物置于具有抽負(fù)壓功能的裝置中；(2)在負(fù)壓環(huán)境下減少安裝部件和待切物之間粘膠劑的氣泡。一種用于線切割預(yù)備工作減少粘膠氣泡的方法，其中在將互相粘合在一起的安裝部件和待切物安裝在線切割設(shè)備上之前進(jìn)行預(yù)先處理，預(yù)先處理的步驟如下(1)將互相粘合在一起的安裝部件和待切物置于具有抽負(fù)壓功能的裝置中；(2)調(diào)節(jié)負(fù)壓技術(shù)參數(shù)抽真空；(3)在負(fù)壓環(huán)境下減少安裝部件和待切物之間粘膠劑的氣泡。一種用于線切割預(yù)備工作減少粘膠氣泡的方法，其中在將互相粘合在一起的安裝部件和待切物安裝在線切割設(shè)備上之前進(jìn)行預(yù)先處理，預(yù)先處理的步驟如下(1)在待切物與安裝部件之間的接觸面處刷膠；(2)將互相粘合在一起的安裝部件和待切物置于具有抽負(fù)壓功能的裝置中；(3)調(diào)節(jié)負(fù)壓技術(shù)參數(shù)抽真空；(4)在負(fù)壓環(huán)境下減少安裝部件和待切物之間粘膠劑的氣泡。一種用于線切割預(yù)備工作減少粘膠氣泡的方法，其中負(fù)壓技術(shù)參數(shù)的絕對壓力控制在0-1.0X105Pa。一種用于線切割預(yù)備工作減少粘膠氣泡的方法，其中負(fù)壓技術(shù)參數(shù)的時間控制為0.1分鐘-1小時。有利于減少線切割過程中氣泡對線切割工藝負(fù)面影響的方法，其特征在于待切物是應(yīng)用于多晶硅、單晶硅、半導(dǎo)體生產(chǎn)領(lǐng)域中的硅塊。一種用于線切割預(yù)備工作減少粘膠氣泡的方法，其中待切物的材料可以是硅、鍺、砷化鎵、磷化銦、m-v族化合物、藍(lán)寶石、碳化硅、玻璃、陶瓷、石英玻璃中的任意一種。一種用于線切割預(yù)備工作減少粘膠氣泡的方法，其中安裝部件是由底襯和托盤組成的。一種用于線切割預(yù)備工作減少粘膠氣泡的方法，其中在待切物與安裝部件之間的接觸面處刷膠的步驟如下在托盤的一面刷膠，將托盤與底襯粘合在一起，然后在底襯的另一面刷膠，最后將待切物與底襯粘合在一起，此時通過粘膠劑形成一個上層是待切物、中層是底襯、底層是托盤的粘合組件。一種用于線切割預(yù)備工作減少粘膠氣泡的方法,其中底襯是毛玻璃、塑料中的任意一種。一種用于線切割預(yù)備工作減少粘膠氣泡的方法，其中安裝部件是由一次性的托盤組成的。采用本發(fā)明的負(fù)壓技術(shù)方案和不釆用負(fù)壓技術(shù)方案相比，可以觀察到的實驗效果如下<table>tableseeoriginaldocumentpage6</column></row><table>本發(fā)明的優(yōu)點在于采用負(fù)壓技術(shù)可以減少氣泡的存在帶來的線切割中出現(xiàn)的掉片現(xiàn)象，也可以減少氣泡對線切割中切片質(zhì)量帶來的負(fù)面影響。采用負(fù)壓技術(shù)還可以給予待切物施加比較大的壓力，因而還可以縮短粘結(jié)劑干燥的時間，提高工作效率。附圖1是本發(fā)明實施例27使用狀態(tài)的剖視結(jié)構(gòu)示意圖。附圖標(biāo)記待切物l、粘膠劑2、托盤3、抽氣口4、毛玻璃5、吸盤6、裝置7。具體實施例方式實施例l、一種用于線切割預(yù)備工作減少粘膠氣泡的方法，其中步驟如下(1)將互相粘合在一起的安裝部件和待切物置于具有抽負(fù)壓功能的裝置中。(2)在負(fù)壓環(huán)境下減少安裝部件和待切物之間粘膠劑的氣泡。實施例2、一種用于線切割預(yù)備工作減少粘膠氣泡的方法，其中在將互相粘合在一起的安裝部件和待切物安裝在線切割設(shè)備上之前進(jìn)行預(yù)先處理，預(yù)先處理的步驟如下(1)將互相粘合在一起的安裝部件和待切物置于具有抽負(fù)壓功能的裝置中；(2)調(diào)節(jié)負(fù)壓技術(shù)參數(shù)抽真空；(3)在負(fù)壓環(huán)境下減少安裝部件和待切物之間粘膠劑的氣泡。實施例3、一種用于線切割預(yù)備工作減少粘膠氣泡的方法，其中在將互相粘合在一起的安裝部件和待切物安裝在線切割設(shè)備上之前進(jìn)行預(yù)先處理，預(yù)先處理的步驟如下(1)在待切物與安裝部件之間的接觸面處刷膠；(2)將互相粘合在一起的安裝部件和待切物置于具有抽負(fù)壓功能的裝置中；(3)調(diào)節(jié)負(fù)壓技術(shù)參數(shù)的絕對壓力控制在0X105pa，負(fù)壓技術(shù)參數(shù)的時間控制為0.1分鐘。(4)在負(fù)壓環(huán)境下減少安裝部件和待切物之間粘膠劑的氣泡。待切物是應(yīng)用于多晶硅、單晶硅、半導(dǎo)體生產(chǎn)領(lǐng)域中的硅塊。實施例4、一種用于線切割預(yù)備工作減少粘膠氣泡的方法，其中在將互相粘合在一起的安裝部件和待切物安裝在線切割設(shè)備上之前進(jìn)行預(yù)先處理，預(yù)先處理的步驟如下(1)在待切物與安裝部件之間的接觸面處刷膠；(2)將互相粘合在一起的安裝部件和待切物置于具有抽負(fù)壓功能的裝置中；(3)調(diào)節(jié)負(fù)壓技術(shù)參數(shù)的絕對壓力控制在0.1X105pa，負(fù)壓技術(shù)參數(shù)的時間控制為0.5分鐘。(4)在負(fù)壓環(huán)境下減少安裝部件和待切物之間粘膠劑的氣泡。待切物是應(yīng)用于多晶硅、單晶硅、半導(dǎo)體生產(chǎn)領(lǐng)域中的硅塊。實施例5、一種用于線切割預(yù)備工作減少粘膠氣泡的方法，其中在將互相粘合在一起的安裝部件和待切物安裝在線切割設(shè)備上之前進(jìn)行預(yù)先處理，預(yù)先處理的步驟如下(1)在待切物與安裝部件之間的接觸面處刷膠；(2)將互相粘合在一起的安裝部件和待切物置于具有抽負(fù)壓功能的裝置中；(3)調(diào)節(jié)負(fù)壓技術(shù)參數(shù)的絕對壓力控制在0.2X105pa，負(fù)壓技術(shù)參數(shù)的時間控制為1分鐘。(4)在負(fù)壓環(huán)境下減少安裝部件和待切物之間粘膠劑的氣泡。待切物是應(yīng)用于多晶硅生產(chǎn)領(lǐng)域中的硅塊。實施例6、一種用于線切割預(yù)備工作減少粘膠氣泡的方法，其中在將互相粘合在一起的安裝部件和待切物安裝在線切割設(shè)備上之前進(jìn)行預(yù)先處理，預(yù)先處理的步驟如下(1)在待切物與安裝部件之間的接觸面處刷膠；(2)將互相粘合在一起的安裝部件和待切物置于具有抽負(fù)壓功能的裝置中；(3)調(diào)節(jié)負(fù)壓技術(shù)參數(shù)的絕對壓力控制在0.3X105pa，負(fù)壓技術(shù)參數(shù)的時間控制為5分鐘。(4)在負(fù)壓環(huán)境下減少安裝部件和待切物之間粘膠劑的氣泡。待切物是應(yīng)用于單晶硅生產(chǎn)領(lǐng)域中的硅塊。實施例7、一種用于線切割預(yù)備工作減少粘膠氣泡的方法，其中在將互相粘合在一起的安裝部件和待切物安裝在線切割設(shè)備上之前進(jìn)行預(yù)先處理，預(yù)先處理的步驟如下(1)在待切物與安裝部件之間的接觸面處刷膠；(2)將互相粘合在一起的安裝部件和待切物置于具有抽負(fù)壓功能的裝置中；(3)調(diào)節(jié)負(fù)壓技術(shù)參數(shù)的絕對壓力控制在0.4X105pa，負(fù)壓技術(shù)參數(shù)的時間控制為10分鐘。(4)在負(fù)壓環(huán)境下減少安裝部件和待切物之間粘膠劑的氣泡。待切物是應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)領(lǐng)域中的硅塊。實施例8、一種用于線切割預(yù)備工作減少粘膠氣泡的方法，其中在將互相粘合在一起的安裝部件和待切物安裝在線切割設(shè)備上之前進(jìn)行預(yù)先處理，預(yù)先處理的步驟如下(1)在待切物與安裝部件之間的接觸面處刷膠；(2)將互相粘合在一起的安裝部件和待切物置于具有抽負(fù)壓功能的裝置中；(3)調(diào)節(jié)負(fù)壓技術(shù)參數(shù)的絕對壓力控制在0.5X105Pa，負(fù)壓技術(shù)參數(shù)的時間控制為20分鐘。(4)在負(fù)壓環(huán)境下減少安裝部件和待切物之間粘膠劑的氣泡。實施例9、一種用于線切割預(yù)備工作減少粘膠氣泡的方法，其中在將互相粘合在一起的安裝部件和待切物安裝在線切割設(shè)備上之前進(jìn)行預(yù)先處理，預(yù)先處理的步驟如下(1)在待切物與安裝部件之間的接觸面處刷膠；(2)將互相粘合在一起的安裝部件和待切物置于具有抽負(fù)壓功能的裝置中；(3)調(diào)節(jié)負(fù)壓技術(shù)參數(shù)的絕對壓力控制在0.6X105pa，負(fù)壓技術(shù)參數(shù)的時間控制為30分鐘。(4)在負(fù)壓環(huán)境下減少安裝部件和待切物之間粘膠劑的氣泡。實施例10、一種用于線切割預(yù)備工作減少粘膠氣泡的方法，其中在將互相粘合在一起的安裝部件和待切物安裝在線切割設(shè)備上之前進(jìn)行預(yù)先處理，預(yù)先處理的步驟如下(1)在待切物與安裝部件之間的接觸面處刷膠；(2)將互相粘合在一起的安裝部件和待切物置于具有抽負(fù)壓功能的裝置中；(3)調(diào)節(jié)負(fù)壓技術(shù)參數(shù)的絕對壓力控制在0.8X105pa，負(fù)壓技術(shù)參數(shù)的時間控制為40分鐘。(4)在負(fù)壓環(huán)境下減少安裝部件和待切物之間粘膠劑的氣泡。實施例11、一種用于線切割預(yù)備工作減少粘膠氣泡的方法，其中在將互相粘合在一起的安裝部件和待切物安裝在線切割設(shè)備上之前進(jìn)行預(yù)先處理，預(yù)先處理的步驟如下-(1)在待切物與安裝部件之間的接觸面處刷膠；(2)將互相粘合在一起的安裝部件和待切物置于具有抽負(fù)壓功能的裝置中；(3)調(diào)節(jié)負(fù)壓技術(shù)參數(shù)的絕對壓力控制在0.9X105pa，負(fù)壓技術(shù)參數(shù)的時間控制為50分鐘。(4)在負(fù)壓環(huán)境下減少安裝部件和待切物之間粘膠劑的氣泡。實施例12、一種用于線切割預(yù)備工作減少粘膠氣泡的方法，其中在將互相粘合在一起的安裝部件和待切物安裝在線切割設(shè)備上之前進(jìn)行預(yù)先處理，預(yù)先處理的步驟如下(1)在待切物與安裝部件之間的接觸面處刷膠；(2)將互相粘合在一起的安裝部件和待切物置于具有抽負(fù)壓功能的裝置中；(3)調(diào)節(jié)負(fù)壓技術(shù)參數(shù)的絕對壓力控制在1.0X105pa，負(fù)壓技術(shù)參數(shù)的時間控制為60分鐘。(4)在負(fù)壓環(huán)境下減少安裝部件和待切物之間粘膠劑的氣泡。實施例13、一種用于線切割預(yù)備工作減少粘膠氣泡的方法，其中待切物的材料是硅。其余同實施例1-實施例12中的任意實施例。實施例14、一種用于線切割預(yù)備工作減少粘膠氣泡的方法，其中待切物的材料是鍺。其余同實施例卜實施例12中的任意實施例。實施例15、一種用于線切割預(yù)備工作減少粘膠氣泡的方法，其中待切物的材料是砷化鎵。其余同實施例1-實施例12中的任意實施例。實施例16、一種用于線切割預(yù)備工作減少粘膠氣泡的方法，其中待切物的材料是磷化銦。其余同實施例1-實施例12中的任意實施例。實施例17、一種用于線切割預(yù)備工作減少粘膠氣泡的方法，其中待切物的材料是III-V族化合物。其余同實施例1-實施例12中的任意實施例。實施例18、一種用于線切割預(yù)備工作減少粘膠氣泡的方法，其中待切物的材料是藍(lán)寶石。其余同實施例1-實施例12中的任意實施例。實施例19、一種用于線切割預(yù)備工作減少粘膠氣泡的方法，其中待切物的材料是碳化硅。其余同實施例1-實施例12中的任意實施例。實施例20、一種用于線切割預(yù)備工作減少粘膠氣泡的方法，其中待切物的材料是玻璃。其余同實施例1-實施例12中的任意實施例。實施例21、一種用于線切割預(yù)備工作減少粘膠氣泡的方法，其中待切物的材料是陶瓷。其余同實施例1-實施例12中的任意實施例。實施例22、一種用于線切割預(yù)備工作減少粘膠氣泡的方法，其中待切物的材料是石英玻璃。其余同實施例1-實施例12中的任意實施例。實施例23、一種用于線切割預(yù)備工作減少粘膠氣泡的方法，其中安裝部件是由底襯和托盤組成的。其余同實施例1-實施例22中的任意實施例。實施例24、一種用于線切割預(yù)備工作減少粘膠氣泡的方法，其中在待切物與安裝部件之間的接觸面處刷膠的步驟如下在托盤的一面刷膠，將托盤與底襯粘合在一起，然后在底襯的另一面刷膠，最后將待切物與底襯粘合在一起，此時通過粘膠劑形成一個上層是待切物、中層是底襯、底層是托盤的粘合組件。其余同實施例1-實施例23中的任意實施例。實施例25、一種用于線切割預(yù)備工作減少粘膠氣泡的方法，其中底襯是毛玻璃、塑料中的任意一種。其余同實施例23、實施例24。實施例26、一種用于線切割預(yù)備工作減少粘膠氣泡的方法，其中在將互相粘合在一起的安裝部件和待切物安裝在線切割設(shè)備上之前進(jìn)行預(yù)先處理，預(yù)先處理步驟如下(1)在托盤的一面刷膠，將托盤與毛玻璃粘合在一起，然后在毛玻璃的另一面刷膠。(2)將待切物與毛玻璃粘合在一起，此時通過粘膠劑形成一個上層是待切物、中層是毛玻璃、底層是托盤的粘合組件。(3)待膠固化前，打開負(fù)壓裝置，將粘合組件送入具有抽負(fù)壓功能的裝置中，密封負(fù)壓裝置，開啟抽真空部件，該負(fù)壓裝置的形成一定的負(fù)壓，負(fù)壓裝置中的壓力低于負(fù)壓裝置外的壓力，可以將粘結(jié)劑中由于刷膠不均勻形成的氣泡驅(qū)除。(4)調(diào)節(jié)負(fù)壓技術(shù)參數(shù)的壓力控制在0.4X105pa，負(fù)壓技術(shù)參數(shù)的時間控制為10分鐘。(5)將互相粘結(jié)在一起的托盤、毛玻璃和待切物從負(fù)壓環(huán)境中取出。其余同實施例13-實施例22中的任意實施例。實施例27、一種用于線切割預(yù)備工作減少粘膠氣泡的方法，其中安裝部件是由一次性的托盤組成的。其余同實施例1-實施例22中的任意實施例。實施例28、一種用于線切割預(yù)備工作減少粘膠氣泡的方法，其中在將互相粘合在一起的安裝部件和待切物安裝在線切割設(shè)備上之前進(jìn)行預(yù)先處理，預(yù)先處理步驟如下(1)在托盤3的一面刷膠，將托盤3與毛玻璃5粘合在一起，然后在毛玻璃5的另一面刷粘膠劑2。(2)將待切物1與毛玻璃5粘合在一起，此時通過粘膠劑2形成一個上層是待切物l、中層是毛玻璃5、底層是托盤3的粘合組件。(3)打開吸盤6，將初步粘結(jié)好的待切物l、中層是毛玻璃5、底層是托盤3的粘合組件放入裝置7中，蓋上吸盤6，關(guān)閉其他入口，從抽氣口4抽去裝置7中的空氣，形成裝置7的負(fù)壓環(huán)境。(4)調(diào)節(jié)負(fù)壓技術(shù)參數(shù)的絕對壓力控制在0X105pa，負(fù)壓技術(shù)參數(shù)的時間控制為0.1分鐘，裝置7中的壓力低于空腔外的壓力，可以將粘結(jié)劑層4中由于刷膠不均勻形成的氣泡驅(qū)除。吸盤6通常由富有彈性的橡膠材料制，該裝置7的空腔中形成一定的負(fù)壓，空腔中的壓力低于空腔外的壓力，吸盤6向下接觸待切物1的頂面，可以將粘結(jié)劑層2中由于刷膠不均勻形成的氣泡驅(qū)除。(5)將互相粘結(jié)在一起的托盤3、毛玻璃5和待切物1從裝置7中取出。實施例29、一種用于線切割預(yù)備工作減少粘膠氣泡的方法，其中待切物是應(yīng)用于多晶硅、單晶硅、半導(dǎo)體生產(chǎn)領(lǐng)域中的硅塊。其余同實施例28。權(quán)利要求1、一種用于線切割預(yù)備工作減少粘膠氣泡的方法，其特征在于步驟如下(1)將互相粘合在一起的安裝部件和待切物置于具有抽負(fù)壓功能的裝置中；(2)在負(fù)壓環(huán)境下減少安裝部件和待切物之間粘膠劑的氣泡。2、一種用于線切割預(yù)備工作減少粘膠氣泡的方法，其特征在于在將互相粘合在一起的安裝部件和待切物安裝在線切割設(shè)備上之前進(jìn)行預(yù)先處理，預(yù)先處理的步驟如下(1)將互相粘合在一起的安裝部件和待切物置于具有抽負(fù)壓功能的裝置中；(2)調(diào)節(jié)負(fù)壓技術(shù)參數(shù)抽真空；(3)在負(fù)壓環(huán)境下減少安裝部件和待切物之間粘膠劑的氣泡。3、一種用于線切割預(yù)備工作減少粘膠氣泡的方法，其特征在于在將互相粘合在一起的安裝部件和待切物安裝在線切割設(shè)備上之前進(jìn)行預(yù)先處理，預(yù)先處理的步驟如下(1)在待切物與安裝部件之間的接觸面處刷膠；(2)將互相粘合在一起的安裝部件和待切物置于具有抽負(fù)壓功能的裝置中；(3)調(diào)節(jié)負(fù)壓技術(shù)參數(shù)抽真空；(4)在負(fù)壓環(huán)境下減少安裝部件和待切物之間粘膠劑的氣泡。4、根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的一種用于線切割預(yù)備工作減少粘膠氣泡的方法，其特征在于負(fù)壓技術(shù)參數(shù)的絕對壓力控制在0-1.0X105Pa;負(fù)壓技術(shù)參數(shù)的時間控制為0.1分鐘-l小時。5、根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的一種用于線切割預(yù)備工作減少粘膠氣泡的方法，其特征在于待切物是應(yīng)用于多晶硅、單晶硅、半導(dǎo)體生產(chǎn)領(lǐng)域中的硅塊。6、根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的一種用于線切割預(yù)備工作減少粘膠氣泡的方法，其特征在于待切物的材料可以是硅、鍺、砷化鎵、磷化銦、m-v族化合物、藍(lán)寶石、碳化硅、玻璃、陶瓷、石英玻璃中的任意一種。7、根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種用于線切割預(yù)備工作減少粘膠氣泡的方法，其特征在于安裝部件是由底襯和托盤組成的。8、根據(jù)權(quán)利要求3或7所述的一種用于線切割預(yù)備工作減少粘膠氣泡的方法，其特征在于在待切物與安裝部件之間的接觸面處刷膠的步驟如下在托盤的一面刷膠，將托盤與底襯粘合在一起，然后在底襯的另一面刷膠，最后將待切物與底襯粘合在一起，此時通過粘膠劑形成一個上層是待切物、中層是底襯、底層是托盤的粘合組件。9、根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的一種用于線切割預(yù)備工作減少粘膠氣泡的方法，其特征在于底襯是毛玻璃、塑料中的任意一種。10、根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于線切割預(yù)備工作減少粘膠氣泡的方法，其特征在于安裝部件是由一次性的托盤組成的。全文摘要本發(fā)明涉及一種用于線切割預(yù)備工作減少粘膠氣泡的方法，該方法是在負(fù)壓環(huán)境下減少安裝部件和待切物之間粘膠劑的氣泡的。該方法主要應(yīng)用于多晶硅、單晶硅、半導(dǎo)體生產(chǎn)領(lǐng)域中對待切物進(jìn)行線切割前的預(yù)備階段。該方法降低了線切割工藝中的掉片率，提高線切割的切割質(zhì)量，改善線切割工藝，同時還大大地縮短了粘膠的固化時間，降低線切割切片的生產(chǎn)周期。文檔編號B28D7/04GK101391466SQ200810107299公開日2009年3月25日申請日期2008年10月27日優(yōu)先權(quán)日2008年10月27日發(fā)明者中野研吾,張存新申請人:江西賽維Ldk太陽能高科技有限公司