技術(shù)編號：1947169
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及，該方法主 要應(yīng)用于對待切物進行線切割前的預(yù)備階段。該方法特別是應(yīng)用于多晶 硅、單晶硅、半導(dǎo)體生產(chǎn)領(lǐng)域中對待切物進行線切割前的預(yù)備階段。背景技術(shù)在線切割之前有一個預(yù)備工作涉及待切物和安裝部件的粘膠以及膠 的固化。安裝部件用于將粘合在其上的待切物固定在線切割設(shè)備的掛件上，也 就是說粘合與固化結(jié)束后，待切物是通過安裝部件固定在線切割設(shè)備的掛 件上，再通過線切割設(shè)備將待切物切割成薄片。目前常用的安裝部件由底襯和托盤組成，而底襯又通常是毛玻璃，具 體如下...
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