技術總結
本實用新型提供一種硅片快速冷卻裝置，包括輸送帶以及設于輸送帶上用于承載硅片的鋁制承載盒和用于冷卻硅片的冷卻機構，輸送帶沿長度方向上均勻設有多個承載盒，承載盒底部與輸送帶外表面固定連接，承載盒內(nèi)設有空腔，承載盒遠離輸送帶的一端設有開口，開口與空腔連通，承載盒內(nèi)壁上鋪設有一層薄膜，薄膜與承載盒內(nèi)壁之間填充有冷卻劑，冷卻機構包括保溫腔以及設于保溫腔內(nèi)的冷卻管，保溫腔沿輸送帶長度方向套設于輸送帶外側，冷卻管呈螺旋狀繞設于輸送帶外側，冷卻管內(nèi)設有冷卻劑，冷卻管兩端與換熱器連接。本實用新型提供的一種硅片快速冷卻裝置，采用承載盒以及冷卻機構，提高硅片散熱效率，方便硅片的后續(xù)生產(chǎn)，提高生產(chǎn)效率。

技術研發(fā)人員：孫鐵囤;湯平;姚偉忠
受保護的技術使用者：常州億晶光電科技有限公司
文檔號碼：201720397305
技術研發(fā)日：2017.04.14
技術公布日：2017.10.31