專利名稱：一種晶棒在多線切割機(jī)中的安裝方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種晶棒在多線切割機(jī)中的安裝方法。
背景技術(shù)：
目前，在多線切割晶棒生產(chǎn)硅片的過程中，兩晶棒在多線切割機(jī)中的安裝方法是 只要線網(wǎng)的寬度大于晶棒的長度，晶棒及其兩端完全置于線網(wǎng)的線切割范圍內(nèi)即可；這種 方法我們無法確保晶棒的截面百分之百的垂直于水平面，以及一刀晶棒(兩根)的長度絕 對相等，當(dāng)晶棒在線網(wǎng)的中間部分切割，晶棒的兩端就會(huì)有碎片、厚薄片、線痕片的產(chǎn)生，對 鋼線造成擠壓產(chǎn)生跳線，鋼線在跳線時(shí)，一旦產(chǎn)生碰撞或多根線擠壓在同一條槽內(nèi)時(shí)就會(huì) 造成斷線，特別是新線的進(jìn)線端的斷線，將導(dǎo)致一刀晶棒報(bào)廢，并影響晶片的質(zhì)量；同時(shí)，由 于晶棒的長短不一，頭尾切出的硅片往往是次品，既浪費(fèi)了材料，又增加了成本。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供能避免跳線、斷線現(xiàn)象，提高成品率的一種晶棒在多線切割 機(jī)中的安裝方法。本發(fā)明采取的技術(shù)方案是一種晶棒在多線切割機(jī)中的安裝方法，其特征在于在 安裝晶棒時(shí)，先使兩根晶棒的一端對齊，之后，將位于進(jìn)刀線一側(cè)的兩根晶棒的另一端略微 超出線網(wǎng)即可。采用本發(fā)明方法，在安裝兩根晶棒時(shí)，先將晶棒截面超出新線進(jìn)線側(cè)的線網(wǎng)，由于 是超出線網(wǎng)，在新線進(jìn)線側(cè)有一片厚片擋著，鋼線沒有受到擠壓，因此就不會(huì)產(chǎn)生上述的問 題，而在鋼線的收線端，讓一根晶棒的端面與另一根晶棒的端面對齊垂直，這樣可以盡量減 少跳線、厚薄片、線痕片、斷線情況的產(chǎn)生，提高成品率，又可以降低硅料的損失。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合具體的實(shí)施例對本發(fā)明作進(jìn)一步說明。1、取兩根晶棒。2、將兩根晶棒的一端對齊，將兩根晶棒的另一端安裝在位于進(jìn)刀線一側(cè)，并略微 超出線網(wǎng)即可即可。上述對齊的一端可以在線網(wǎng)內(nèi)，也可在線網(wǎng)外。
權(quán)利要求
一種晶棒在多線切割機(jī)中的安裝方法，其特征在于在安裝晶棒時(shí)，先使兩根晶棒的一端對齊，之后，將位于進(jìn)刀線一側(cè)的兩根晶棒的另一端略微超出線網(wǎng)即可。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種晶棒在多線切割機(jī)中的安裝方法，該方法在安裝晶棒時(shí)，先使兩根晶棒的一端對齊，之后，將位于進(jìn)刀線一側(cè)的兩根晶棒的另一端略微超出線網(wǎng)即可。采用本發(fā)明方法，可以減少因跳線甚至斷線而產(chǎn)生的次品，且在一端對齊的情況下，可以降低硅料的損失。
文檔編號B28D5/04GK101879757SQ201010139870
公開日2010年11月10日 申請日期2010年4月1日 優(yōu)先權(quán)日2010年4月1日
發(fā)明者周景文, 徐增宏 申請人:浙江硅宏電子科技有限公司