加熱固化反應時(下述PEB工序 時）的加熱溫度的選擇范圍。由此，樹脂組合物的操作性、處理性提高。還可W抑制未曝光部 變成耐堿性、所謂的霧化產(chǎn)生。
[0048] 對于作為(A)成分的聚酷亞胺樹脂的合成，可W使用公知慣用的方法。例如，可舉 出使簇酸酢成分、與胺成分和/或異氯酸醋成分反應而得到的樹脂?？醽啺坊蒞通過熱酷 亞胺化來進行，也可W通過化學酷亞胺化來進行，另外也可W組合使用運些方法來制造。
[0049] 作為簇酸酢成分，可舉出四簇酸酢、=簇酸酢等，但并不限定于運些酸酢，只要是 具有與氨基、異氯酸醋基反應的酸酢基和簇基的化合物，則包括其衍生物在內(nèi)均可W使用。 另外，運些簇酸酢成分可W單獨使用1種，也可W組合巧巾W上進行使用。
[0050] 作為四簇酸酢，例如可舉出：均苯四甲酸二酢、3-氣均苯四甲酸二酢、3,6-二氣均 苯四甲酸二酢、3,6-雙(S氣甲基）均苯四甲酸二酢、3,3'，4,4'-二苯甲酬四簇酸二酢、3， 3'，4,4'-聯(lián)苯四簇酸二酢、4,4'-氧雙鄰苯二甲酸二酢、2,2'-二氣-3,3'，4,4'-聯(lián)苯四簇酸 二酢、5,5'-二氣-3,3'，4,4'-聯(lián)苯四簇酸二酢、6,6'-二氣-3,3'，4,4'-聯(lián)苯四簇酸二酢、2， 2'，5,5'，6,6'-六氣-3,3'，4,4'-聯(lián)苯四簇酸二酢、2,2'-雙(S氣甲基)-3,3'，4,4'-聯(lián)苯四 簇酸二酢、5,5'-雙(S氣甲基)-3,3'，4,4'-聯(lián)苯四簇酸二酢、6,6'-雙(S氣甲基)-3,3'，4， 4'-聯(lián)苯四簇酸二酢、2,2'，5,5'-四氣甲基)-3,3'，4,4'-聯(lián)苯四簇酸二酢、2,2'，6,6'-四氣甲基)-3,3'，4,4'-聯(lián)苯四簇酸二酢、5,5'，6,6'-四氣甲基)-3,3'，4,4'-聯(lián)苯四 簇酸二酢、和2,2'，5,5'，6,6'-六(^氣甲基)-3,3'，4,4'-聯(lián)苯四簇酸二酢、1，2,3,4-苯四 簇酸二酢、3,3"，4,4"-S聯(lián)苯四簇酸二酢、3,3" '，4,4"四聯(lián)苯四簇酸二酢、3,3""，4,4""-五聯(lián)苯四簇酸二酢、亞甲基-4，4 雙鄰苯二甲酸二酢、1，1-亞乙基-4，4 雙鄰苯二甲酸二 酢、2，2-亞丙基-4，4 雙鄰苯二甲酸二酢、1，2-亞乙基-4，4 雙鄰苯二甲酸二酢、1，3-S亞 甲基-4，4 雙鄰苯二甲酸二酢、1，4-四亞甲基-4，4 雙鄰苯二甲酸二酢、1，5-五亞甲基-4， 4 ' -雙鄰苯二甲酸二酢、2，2-雙(3，4-二簇基苯基)-1，1，1，3，3，3-六氣丙烷二酢、二氣亞甲 基-4,4'-雙鄰苯二甲酸二酢、1，1，2,2-四氣-1,2-亞乙基-4,4'-雙鄰苯二甲酸二酢、1，1，2， 2,3,3-六氣-1，3-S亞甲基-4,4'-雙鄰苯二甲酸二酢、1，1，2,2,3,3,4,4-八氣-1，4-四亞甲 基-4,4'-雙鄰苯二甲酸二酢、1，1，2,2,3,3,4,4,5,5-十氣-1,5-五亞甲基-4,4'-雙鄰苯二 甲酸二酢、硫基-4，4 雙鄰苯二甲酸二酢、橫酷基-4，4 雙鄰苯二甲酸二酢、1，3-雙(3，4-二簇基苯基)-1，1，3，3-四甲基硅氧烷二酢、1，3-雙(3，4-二簇基苯基)苯二酢、1，4-雙(3，4-二簇基苯基)苯二酢、1,3-雙(3,4-二簇基苯氧基)苯二酢、1,4-雙(3,4-二簇基苯氧基)苯二 酢、1,3-雙[2-(3,4-二簇基苯基)-2-丙基]苯二酢、1,4-雙[2-(3,4-二簇基苯基)-2-丙基] 苯二酢、雙[3-(3，4-二簇基苯氧基)苯基]甲燒二酢、雙[4-(3，4-二簇基苯氧基)苯基]甲燒 二酢、2，2-雙[3-(3，4-二簇基苯氧基）苯基]丙烷二酢、2，2-雙[4-(3，4-二簇基苯氧基）苯 基]丙烷二酢、2，2-雙[3-(3，4-二簇基苯氧基)苯基]-1，1，1，3，3，3-六氣丙烷二酢、2，2-雙 [4-(3,4-二簇基苯氧基)苯基]丙烷二酢、雙(3,4-二簇基苯氧基)二甲基硅烷二酢、1,3-雙 (3，4-二簇基苯氧基)-1，1，3，3-四甲基二硅氧烷二酢、2，3，6，7-糞四簇酸二酢、1，2，5，6-糞 四簇酸二酢、3，4，9，10-巧四簇酸二酢、2，3，6，7-蔥四簇酸二酢、I，2，7，8-菲四簇酸二酢、I， 2,3,4-下燒四簇酸二酢、1，2,3,4-環(huán)下燒四簇酸二酢、環(huán)戊燒四簇酸二酢、環(huán)己燒-1，2,3， 4-四簇酸二酢、環(huán)己燒-1，2,4,5-四簇酸二酢、3,3'，4,4'-雙環(huán)己基四簇酸二酢、幾基-4， 4'-雙(環(huán)己燒-1,2-二簇酸）二酢、亞甲基-4,4'-雙（環(huán)己燒-1,2-二簇酸）二酢、1,2-亞乙 基-4,4'-雙(環(huán)己燒-1,2-二簇酸）二酢、1,1-亞乙基-4,4'-雙(環(huán)己燒-1,2-二簇酸）二酢、 2,2-亞丙基-4,4'-雙(環(huán)己燒-1,2-二簇酸)二酢、1,1,1,3,3,3-六氣-2,2-亞丙基-4,4'-雙 (環(huán)己燒-1,2-二簇酸)二酢、氧基-4,4'-雙(環(huán)己燒-1,2-二簇酸)二酢、硫基-4,4'-雙(環(huán)己 燒-1，2-二簇酸)二酢、橫酷基-4，4 ' -雙(環(huán)己燒-1，2-二簇酸)二酢、3，3 ' -二氣-氧基-4，4 ' -雙鄰苯二甲酸二酢、5，5 二氣-氧基-4，4 雙鄰苯二甲酸二酢、6，6 二氣-氧基-4，4 雙 鄰苯二甲酸二酢、3,3'，5,5'，6,6'-六氣-氧基-4,4'-雙鄰苯二甲酸二酢、3,3'-雙(^氣甲 基)氧基-4,4'-雙鄰苯二甲酸二酢、5,5'-雙(=氣甲基)氧基-4,4'-雙鄰苯二甲酸二酢、6， 6'-雙(S氣甲基)氧基-4,4'-雙鄰苯二甲酸二酢、3,3'，5,5'-四氣甲基)氧基-4,4'-雙 鄰苯二甲酸二酢、3,3'，6,6'-四氣甲基)氧基-4,4'-雙鄰苯二甲酸二酢、5,5'，6,6'-四 (S氣甲基)氧基-4,4'-雙鄰苯二甲酸二酢、3,3'，5,5'，6,6'-六(S氣甲基)氧基-4,4'-雙 鄰苯二甲酸二酢、3，3 二氣橫酷基-4，4 雙鄰苯二甲酸二酢、5，5 二氣橫酷基-4，4 雙 鄰苯二甲酸二酢、6,6'-二氣橫酷基-4,4'-雙鄰苯二甲酸二酢、3,3'，5,5'，6,6'-六氣橫酷 基-4,4'-雙鄰苯二甲酸二酢、3,3'-雙(S氣甲基)橫酷基-4,4'-雙鄰苯二甲酸二酢、5,5'-雙(S氣甲基)橫酷基-4,4'-雙鄰苯二甲酸二酢、6,6'-雙(S氣甲基)橫酷基-4,4'-雙鄰苯 二甲酸二酢、3,3'，5,5'-四氣甲基)橫酷基-4,4'-雙鄰苯二甲酸二酢、3,3'，6,6'-四 氣甲基)橫酷基-4,4'-雙鄰苯二甲酸二酢、5,5'，6,6'-四氣甲基)橫酷基-4,4'-雙鄰苯 二甲酸二酢、3,3'，5,5'，6,6'-六(S氣甲基)橫酷基-4,4'-雙鄰苯二甲酸二酢、3,3'-二氣-2，2-全氣亞丙基-4，4 雙鄰苯二甲酸二酢、5，5 二氣-2，2-全氣亞丙基-4，4 雙鄰苯二甲 酸二酢、6,6'-二氣-2,2-全氣亞丙基-4,4'-雙鄰苯二甲酸二酢、3,3'，5,5'，6,6'-六氣-2, 2-全氣亞丙基-4，4 ' -雙鄰苯二甲酸二酢、3，3 ' -雙(S氣甲基)-2，2-全氣亞丙基-4，4 ' -雙鄰 苯二甲酸二酢、5,5'-雙(S氣甲基）-2,2-全氣亞丙基-4,4'-雙鄰苯二甲酸二酢、6,6'-二 氣-2,2-全氣亞丙基-4,4'-雙鄰苯二甲酸二酢、3,3'，5,5'-四氣甲基)-2,2-全氣亞丙 基-4,4'-雙鄰苯二甲酸二酢、3,3'，6,6'-四氣甲基)-2,2-全氣亞丙基-4,4'-雙鄰苯二 甲酸二酢、5,5'，6,6'-四（^氣甲基)-2,2-全氣亞丙基-4,4'-雙鄰苯二甲酸二酢、3,3'，5， 5'，6,6'-六(S氣甲基)-2,2-全氣亞丙基-4,4'-雙鄰苯二甲酸二酢、9-苯基-9-(S氣甲基） 咕噸-2,3,6,7-四簇酸二酢、9,9-雙(S氣甲基）咕噸-2,3,6,7-四簇酸二酢、雙環(huán)[2,2,2] 辛-7-締-2，3，5，6-四簇酸二酢、9，9-雙[4- (3，4-二簇基)苯基]巧二酢、9，9-雙[4-( 2，3-二 簇基）苯基]巧二酢、乙二醇雙（偏苯=酸二?。?、1，2-(亞乙基）雙（偏苯=酸?。?、1，3-(=亞 甲基）雙（偏苯=酸?。?、1，4-(四亞甲基）雙（偏苯=酸酢）、1，5-(五亞甲基）雙（偏苯=酸 ?。?，6-(六亞甲基)雙(偏苯S酸酢）、1，7-(屯亞甲基)雙(偏苯S酸?。?、1，8-(八亞甲基） 雙(偏苯S酸?。?，9-(九亞甲基)雙(偏苯S酸?。?、1，10-(十亞甲基)雙(偏苯S酸?。?、1， 12-(十二亞甲基)雙(偏苯S酸?。?，16-(十六亞甲基)雙(偏苯S酸酢）、1，18-(十八亞甲 基)雙(偏苯=酸酢)等。
[0051] 作為=簇酸酢，例如，可舉出：偏苯=酸酢、核氨化偏苯=酸酢等。
[0052] 作為胺成分，可W使用:脂肪族二胺、芳香族二胺等二胺;脂肪族聚酸胺等多元胺， 但并不限定于運些胺。另外，運些胺成分可W單獨使用或組合使用。
[0053]作為二胺，例如，可舉出：對苯二胺(PPD )、1，3-二氨基苯、2，4-甲苯二胺、2，5-甲苯 二胺、2，6-甲苯二胺等1個苯核的二胺;4，4 二氨基二苯酸、3，3 二氨基二苯酸、3，4 二 氨基二苯酸等二氨基二苯酸類、4,4'-二氨基二苯基甲燒、3,3'-二甲基-4,4'-二氨基聯(lián)苯、 2,2 ' -二甲基-4,4 ' -二氨基聯(lián)苯、2,2 ' -雙(S氣甲基)-4,4 ' -二氨基聯(lián)苯、3,3 ' -二甲基-4, 4'-二氨基二苯基甲燒、3,3'，5,5'-四甲基-4,4'-二氨基二苯基甲燒、雙(4-氨基苯基）硫 酸、4,4'-二氨基苯酷替苯胺、3,3'-二氯聯(lián)苯胺、3,3'-二甲基聯(lián)苯胺(鄰聯(lián)甲苯胺）、2,2'-二甲基聯(lián)苯胺（間聯(lián)甲苯胺）、3,3'-二甲氧基聯(lián)苯胺、2,2'-二甲氧基聯(lián)苯胺、3,3'-二氨基 二苯酸、3,4'-二氨基二苯酸、4,4'-二氨基二苯酸、3,3'-二氨基二苯基硫酸、3,4'-二氨基 二苯基硫酸、4，4 二氨基二苯基硫酸、3，3 二氨基二苯諷、3，4 二氨基二苯諷、4，4 二 氨基二苯諷、3,3'-二氨基二苯甲酬、3,3'-二氨基-4,4'-二氯二苯甲酬、3,3'-二氨基-4， 4'-二甲氧基二苯甲酬、3,3'-二氨基二苯基甲燒、3,4'-二氨基二苯基甲燒、4,4'-二氨基二 苯基甲燒、2，2-雙(3-氨基苯基)丙烷、2，2-雙(4-氨基苯基)丙烷、2，2-雙(3-氨基苯基)-1， 1,1,3,3,3-六氣丙烷、2,2-雙(4-氨基苯基)-1,1,1,3,3,3-六氣丙烷、3,3 二氨基二苯基 亞諷、3，4'-二氨基二苯基亞諷、4,4'-二氨基二苯基亞諷、3,3'-二簇基-4,4'-二氨基二苯 基甲燒等2個苯核的二胺；1,3-雙(3-氨基苯基)苯、1,3-雙(4-氨基苯基)苯、1,4-雙(3-氨基 苯基)苯、1,4-雙(4-氨基苯基)苯、1,3-雙(4-氨基苯氧基)苯、1,4-雙(3-氨基苯氧基)苯、1， 4- 雙(4-氨基苯氧基)苯、1,3-雙(3-氨基苯氧基)-4-S氣甲基苯、3,3'-二氨基-4-(4-苯基） 苯氧基二苯甲酬、3,3'-二氨基-4,4'-二(4-苯基苯氧基)二苯甲酬、1,3-雙(3-氨基苯基硫 酸)苯、1，3-雙(4-氨基苯基硫酸)苯、1，4-雙(4-氨基苯基硫酸)苯、1，3-雙(3-氨基苯基諷） 苯、1,3-雙(4-氨基苯基諷)苯、1,4-雙(4-氨基苯基諷)苯、1,3-雙[2-(4-氨基苯基)異丙基] 苯、1,4-雙[2-(3-氨基苯基)異丙基]苯、1,4-雙[2-(4-氨基苯基)異丙基]苯等3個苯核的二 胺;3,3'