技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種將透過了對象物的放射線變換成閃爍光的閃爍器面板。

背景技術(shù)：

歷來，關(guān)于X射線圖像的檢測技術(shù)，已知的有通過檢測由入射到檢測器的放射線所產(chǎn)生的電荷，直接檢測放射線的方式即直接變換方式，以及使用閃爍器材料等的放射線變換部件將放射線變換成光后用檢測器檢出的方式即間接變換方式。作為采用這樣的間接方式的裝置所使用的閃爍器，公開了在基板上具備形成有熒光體層的熒光體嵌板的閃爍器面板(參照下述專利文獻1)。

現(xiàn)有技術(shù)文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2007-139604號公報

技術(shù)實現(xiàn)要素：

發(fā)明所要解決的問題

然而，在上述那樣的現(xiàn)有閃爍器面板中，由于熒光體層的一個面?zhèn)扔谢宕嬖?，因此難以觀察從放射線的入射面及其背面兩面出射的閃爍光。即，難以觀察由比較高能量帶的放射線在熒光體層的背面?zhèn)人a(chǎn)生的閃爍光。另外，即使假設(shè)能夠觀察到從閃爍器面板的背面?zhèn)瘸錾涞拈W爍光，閃爍器面板的入射面?zhèn)人a(chǎn)生的閃爍光也會透過閃爍器面板而從背面?zhèn)瘸錾?。因此，不能區(qū)分地觀察由比較低能量帶的放射線在熒光體層的入射面?zhèn)人a(chǎn)生的閃爍光與由比較高能量帶的放射線在熒光體層的背面?zhèn)人a(chǎn)生的閃爍光，有觀察的放射線的能量區(qū)別性不高的傾向。

因此，本發(fā)明有鑒于所涉及的技術(shù)問題而作出的，其目的在于，提供一種可以通過使從放射線的入射面及其背面出射的閃爍光的觀察變得可能而取得能量區(qū)別性高的放射線檢測圖像的閃爍器面板。

解決技術(shù)問題的手段

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的一個側(cè)面所涉及的閃爍器面板，是響應(yīng)于透過了對象物的放射線的入射而使閃爍光放射的平板狀的構(gòu)件，在對閃爍光進行聚光并攝像的圖像取得裝置所使用的閃爍器面板中，具備：使放射線透過的平面狀的隔離構(gòu)件、配置在隔離構(gòu)件的一個面上且將放射線變換成閃爍光的平板狀的第1波長變換構(gòu)件、以及配置在隔離構(gòu)件的另一面上且將放射線變換成閃爍光的平板狀的第2波長變換構(gòu)件。

根據(jù)這樣的閃爍器面板，將放射線變換成閃爍光的2個平板狀的波長變換構(gòu)件夾持使放射線透過的平面狀的隔離構(gòu)件而配置，因而透過了對象物的放射線被一個波長變換構(gòu)件變換成閃爍光，并且透過了該波長變換構(gòu)件和隔離構(gòu)件后被另一個波長變換構(gòu)件變換成閃爍光。此時，通過隔離構(gòu)件的存在，2個波長變換構(gòu)件中所產(chǎn)生的各個閃爍光相對于2個波長變換構(gòu)件的隔離構(gòu)件容易從反射側(cè)的面出射。其結(jié)果，通過把該閃爍器面板使用在對從閃爍器面板的兩面出射的閃爍光進行聚光并攝像的放射線圖像取得裝置，能夠效率高地區(qū)別高能量帶的放射線圖像和低能量帶的放射線圖像。

發(fā)明的效果

根據(jù)本發(fā)明，能夠通過使從放射線的入射面及其背面出射的閃爍光的觀察變得可能，而取得能量區(qū)別性高的放射線檢測圖像。

附圖說明

圖1表示本發(fā)明優(yōu)選的一個實施方式所涉及的閃爍器面板1的概略結(jié)構(gòu)的正面圖。

圖2是使用了圖1的閃爍器面板1的放射線圖像取得裝置11的概略結(jié)構(gòu)圖。

圖3是表示圖2的放射線圖像取得裝置11中的放射線源12和檢測器13,14的配置例的正面圖。

圖4是表示圖2的放射線圖像取得裝置11中的放射線源12和檢測器13,14的配置例的正面圖。

圖5是使用了圖1的閃爍器面板1的其他的放射線圖像取得裝置31的概略結(jié)構(gòu)圖。

圖6是本發(fā)明的變形例所涉及的閃爍器面板的正面圖。

符號說明：

1,101…閃爍器面板、2,102…隔板、2a,2b…配置面、3,4…閃爍器、11,31…放射線圖像取得裝置、102a,102b…反射面、A…對象物。

具體實施方式

以下，一邊參照附圖一邊詳細地說明本發(fā)明所涉及的閃爍器面板的優(yōu)選實施方式。再有，附圖的說明中對相同或相當(dāng)部分使用相同的符號，省略重復(fù)的說明。另外，各附圖是為了說明用而制作的，以特別強調(diào)的方式描繪說明的對象部位。因此，附圖中的各構(gòu)件的尺寸比率未必與實際構(gòu)件的尺寸一致。

圖1表示本發(fā)明優(yōu)選的一個實施方式所涉及的閃爍器面板1的概略結(jié)構(gòu)的正面圖。如該圖所示，閃爍器面板1是將透過了對象物的X射線等的放射線變換成閃爍光的構(gòu)件，具有以與平面狀的隔板(隔離構(gòu)件)2的兩面相接的方式配置有2塊平板狀的閃爍器3,4的結(jié)構(gòu)。

閃爍器3,4是響應(yīng)于放射線的入射而生成閃爍光的波長變換構(gòu)件，其材料由檢測的放射線的能量帶選擇，其厚度也在數(shù)μm～數(shù)mm的范圍由檢測的能量帶設(shè)定成適當(dāng)?shù)闹?。例如，作為閃爍器3,4的材料，可以使用Gd₂O₂S:Tb、Gd₂O₂S:Pr、CsI:Tl、CdWO₄、CaWO₄、Gd₂SiO₅:Ce、Lu_0.4Gd_1.6SiO₅、Bi₄Ge₃O₁₂、Lu₂SiO₅:Ce、Y₂SiO₅、YAlO₃:Ce、Y₂O₂S:Tb、YTaO₄:Tm等。

這2個閃爍器3,4可以由相同的材料形成，也可以由不同的材料形成。在由不同的材料形成的情況下，設(shè)定成對于放射線的波長的變換效率不同。例如，作為閃爍器3,4的材料，可以舉出Gd₂O₂S:Tb與CsI:Tl、Gd₂O₂S:Tb與CdWO₄、或者CsI:Tl與CdWO₄等的組合。另外，2個閃爍器3,4可以形成相同的厚度，也可以形成不同的厚度。通過形成為厚度不同，能夠相對地調(diào)整針對相對于透過2個閃爍器3,4的放射線的靈敏度或波長的應(yīng)答特性。例如，能夠?qū)㈤W爍器3的厚度設(shè)定為數(shù)μm～300μm，將閃爍器4的厚度設(shè)定為在150μm～數(shù)mm的范圍而比閃爍器3厚。

隔板2是用于支撐閃爍器3,4的厚度為0.5μm～5mm的平面狀的構(gòu)件，形成有與2個閃爍器3,4的各個相接的2個平面2a,2b，具有使檢測對象的放射線透過且遮蔽由閃爍器3,4生成的閃爍光的性質(zhì)。作為該隔板2，可以使用例如碳板，F(xiàn)OP(Fiber Optic Plate：光纖板)等玻璃制的板構(gòu)件，鋁板、鈹板以外再加上鈦、金、銀、鐵等的金屬板構(gòu)件、或者塑料板等的樹脂制板構(gòu)件。

上述構(gòu)成的閃爍器面板1通過將分別配置有閃爍器3,4的板構(gòu)件的與閃爍器3,4相反側(cè)的面接合來制作。在這種情況下，能夠比較容易地制作成閃爍器面板。另外，閃爍器面板1通過在一層構(gòu)造的隔板2的兩面的各面配置閃爍器3,4來制作。

接著，說明使用本實施方式的閃爍器面板1來取得半導(dǎo)體器件等電子部件或食品等這樣的對象物A的放射線圖像的放射線圖像取得裝置的結(jié)構(gòu)。

圖2是使用了閃爍器面板1的放射線圖像取得裝置11的概略結(jié)構(gòu)圖。如該圖所示，放射線圖像取得裝置11具備：朝著對象物A出射白色X射線等的放射線的放射線源12、響應(yīng)于從放射線源12出射并透過對象物A的放射線的入射而產(chǎn)生閃爍光的閃爍器面板1、對從閃爍器面板1的放射線的入射側(cè)的檢測面1a出射的閃爍光進行聚光并攝像的表面觀察用光檢測器13、以及對從與檢測面1a相反側(cè)的面即檢測面1b出射的閃爍光進行聚光并攝像的背面觀察用光檢測器14。這里，閃爍器面板1在閃爍器3的檢測面1a朝著對象物A的狀態(tài)下配置。即，閃爍器面板1以使閃爍器3的與隔板2相反側(cè)的面1a與表面觀察用光檢測器13相對且使閃爍器4的與隔板2相反側(cè)的面1b與表面觀察用光檢測器14相對的方式配置。這些放射線源12、閃爍器面板1、表面觀察用光檢測器13、以及表面觀察用光檢測器14被收納于未圖示的筐體，并被固定在筐體內(nèi)。

表面觀察用光檢測器13(以下，稱為“表面檢測器13”)是通過從閃爍器面板1的檢測面1a側(cè)對從閃爍器面板1出射的閃爍光攝像，來取得對象物A的比較低能量的放射線透過像的間接變換方式的攝像機構(gòu)。表面檢測器13是具有對從閃爍器面板1的檢測面1a出射的閃爍光進行聚光的聚光透鏡部13a和對被聚光透鏡部13a聚光的閃爍光進行攝像的攝像部13b的透鏡耦合型檢測器。聚光透鏡部13a對包含檢測面1a上的規(guī)定范圍的視野15的閃爍光進行聚光。作為攝像部13b，可以使用例如CMOS傳感器、CCD傳感器等。

背面觀察用光檢測器14(以下，稱為“背面檢測器14”)是通過從閃爍器面板1的檢測面1b側(cè)對從閃爍器面板1出射的閃爍光攝像來取得對象物A的較高能量的放射線透過像的間接變換方式的攝像機構(gòu)。背面檢測器14是具有對從閃爍器面板1的檢測面1b出射的閃爍光進行聚光的聚光透鏡部14a和對由聚光透鏡部14a進行聚光的閃爍光進行攝像的攝像部14b的透鏡耦合型檢測器，具有與上述的表面檢測器13同樣的結(jié)構(gòu)。聚光透鏡部14a對包含檢測面1b上的規(guī)定范圍的視野16的閃爍光進行聚光。

此外，放射線圖像取得裝置11具備：控制表面檢測器13和背面檢測器14中的攝像時序的時序控制部17、輸入從表面檢測器13和背面檢測器14輸出的圖像信號并基于所輸入的各圖像信號來實行圖像處理等的規(guī)定處理的圖像處理裝置18、以及輸入從圖像處理裝置18輸出的圖像信號并顯示放射線圖像的顯示裝置19。這里，作為圖像處理，可以舉出得出所輸入的比較低能量的圖像與比較高能量的圖像的差分圖像或加法運算圖像的圖像間運算等。時序控制部17和圖像處理裝置18由具有CPU(Central Processing Unit)、ROM(Read Only Memory)、RAM(Random Access Memory)和輸入輸出接口等的計算機構(gòu)成。作為顯示裝置19，可以使用公知的顯示器。再有，時序控制部17和圖像處理裝置18可以構(gòu)成為由單個計算機實行的程序，也可以構(gòu)成為分別設(shè)置的單元。

這里，放射線源12以放射線的光軸X相對于閃爍器面板1的檢測面1a的法線B成規(guī)定的角度θ(0度＜θ＜90度)的方式配置。即，放射線源12與對象物A和檢測面1a相對，并且配置在與檢測面1a的法線B偏離的位置。這里，法線B是指從檢測面1a上的某一點相對于檢測面1a垂直延伸的直線。

另外，表面檢測器13以可以對從閃爍器面板1的檢測面1a出射的閃爍光攝像的方式且以內(nèi)含的聚光透鏡部13a的光軸相對于檢測面1a正交的方式配置。這里，聚光透鏡部13的光軸與檢測面1a的法線B一致。即，表面檢測器13與檢測面1a相對，并且配置在檢測面1a的法線B上。該聚光透鏡部13a將從檢測面1a向法線B方向出射的閃爍光朝著攝像部13b聚光。

通過上述那樣做，表面檢測器13從放射線源12的光軸X上偏離而配置。即，表面檢測器13以與從來自放射線源12的放射線的出射區(qū)域(放射線束20存在的區(qū)域)相離的方式配置。由此，防止從放射線源12而來的放射線所引起的表面檢測器13的被曝光，并防止在表面檢測器13的內(nèi)部生成放射線的直接變換信號而產(chǎn)生噪聲。

此外，背面檢測器14以可以對從閃爍器面板1的檢測面1b出射的閃爍光進行攝像的方式且以內(nèi)含的聚光透鏡部14a的光軸相對于檢測面1b正交的方式配置。這里，聚光透鏡部14a的光軸與檢測面1b的法線C一致。即，背面檢測器14與檢測面1b相對，并且配置在檢測面1b的法線C上。這里，法線C是指從檢測面1b上的某一點相對于檢測面1b垂直延伸的直線。在放射線圖像取得裝置11中，法線C與法線B一致。聚光透鏡部14a將從檢測面1b向法線C方向出射的閃爍光朝著攝像部14b聚光。

接著，說明具有上述的結(jié)構(gòu)的放射線圖像取得裝置11的動作。首先，當(dāng)從放射線源12向?qū)ο笪镎丈鋁射線時，從檢測面1a放射的閃爍光成為入射的放射線中的主要從低能量成分變換的閃爍光。另一方面，從檢測面1b放射的閃爍光成為入射的放射線中的主要從高能量成分變換的閃爍光。這是因為，低能量帶的放射線在閃爍器面板1的閃爍器3的內(nèi)部的檢測面1a側(cè)容易被變換成閃爍光，而高能量帶的放射線透過閃爍器面板1的閃爍器3和隔板2而在閃爍器4的內(nèi)部的檢測面1b附近容易被變換成閃爍光。這里，將與對象物A相對的比較低能量帶的放射線進行變換的閃爍器3，與將比較高能量帶的放射線進行變換的閃爍器4相比要厚。在這種情況下，由于通過閃爍器3容易將低能量帶的放射線去掉，在閃爍器4的檢測面1b側(cè)更高能量帶的放射線容易被變換成閃爍光，因此，在表面檢測器13和背面檢測器14所取得的放射線圖像的能量區(qū)別進一步提高。另外，在放射線源12的能量全部為低的情況下，通過減薄閃爍器3的厚度，能夠提高更低能量的變換效率，并且能夠提高高能量帶的放射線的透過率，提高閃爍器4的變換效率，并提高能量區(qū)別性能。另一方面，在放射線源12的能量全部為高的情況下，通過增加閃爍器3的厚度，能夠容易變換閃爍器3中從低的能量到中間程度的能量的放射線，并且能夠使將低能量帶的放射線被消除的比例變化，使得閃爍器4中高的能量帶的放射線容易被變換，從而提高能量區(qū)別性能。

進行由時序控制部17的控制，以使這樣的X射線照射時同時進行表面檢測器13和背面檢測器14所得到的攝像。通過時序控制部17的時序控制，進行對象物A的放射線圖像的表背兩面中的雙重攝像。在該雙重攝像中，由表面檢測器13取得比較低的能量帶的放射線圖像，由背面檢測器14取得比較高能量帶的放射線圖像。由此，取得不同的能量帶的放射線圖像，實現(xiàn)雙重能量攝像。

關(guān)于表面檢測器13和背面檢測器14的功能，換言之，由表面檢測器13檢測檢測面1a側(cè)的熒光像。檢測面1a側(cè)的熒光像的檢測具有熒光的模糊(blur)少，而且熒光的輝度高這樣的特點。這是因為，在表面觀察中，在閃爍器面板1的內(nèi)部產(chǎn)生的模糊的影響小，而且閃爍器面板1的內(nèi)部中的擴散或自己吸收的影響小。另一方面，由背面檢測器14檢測閃爍器面板1向厚度方向行進而在檢測面1b側(cè)顯示的熒光像。

接下來，通過表面檢測器13和背面檢測器14的各個，與表背兩面的放射線圖像相對應(yīng)的圖像信號被輸出到圖像處理裝置18。當(dāng)從表面檢測器13和背面檢測器14的各個輸出的圖像信號時，通過圖像處理裝置18基于輸入的圖像信號實行規(guī)定的處理，圖像處理后的圖像信號輸出到顯示裝置19。然后，當(dāng)從圖像處理裝置18輸出的圖像處理后的圖像信號輸入到顯示裝置19時，通過顯示裝置19顯示響應(yīng)于輸入的圖像處理后的圖像信號的放射線圖像。

再者，放射線圖像取得裝置11中，由于放射線源12配置在與檢測面1a的法線B偏離的位置，表面檢測器13和背面檢測器14分別配置在法線B、C上，因此，檢測器的影像不會被映入到放射線透過像，因而抑制噪聲成分的產(chǎn)生，并且也不會產(chǎn)生檢測器所引起的放射線的衰減，因而抑制信號成分的減少。此外，防止放射線所引起的表面檢測器13和背面檢測器14的被曝光，抑制表面檢測器13的內(nèi)部產(chǎn)生噪聲。其結(jié)果，通過一次攝像便能夠同時取得低能量圖像和高能量圖像，從而謀求同時性的確保、被曝光量的減少、攝像時間的縮短和像素錯位(位置不正(misregistration))的消除。此外，通過表面檢測器13和背面檢測器14能夠取得任一種均不受透視傾斜(perspective)的放射線圖像，使檢測面1a側(cè)和檢測面1b側(cè)的圖像間的運算變得容易。

這里，在上述的放射線圖像取得裝置11中，放射線源12、表面檢測器13、以及背面檢測器14的位置關(guān)系可以如以下那樣進行變更和進行構(gòu)成。

具體而言，如圖3所示，可選地，放射線源12以在檢測面1a的法線上與對象物A和檢測面1a相對的方式配置，且表面檢測器13以聚光透鏡部13a的光軸B相對于檢測面1a的法線成規(guī)定的角度θ₁(0度＜θ₁＜90度)的方式即與檢測面1a相對并且與檢測面1a的法線偏離的方式配置。在這種情況下，檢測器的影像不會映入到放射線透過像，因而抑制了信號成分的減少。此外，防止放射線所引起的表面檢測器13的被曝光，抑制表面檢測器13的內(nèi)部中的噪聲的產(chǎn)生。此外，通過背面檢測器14能夠取得沒有透視傾斜的放射線圖像，將背面檢測器14所得到的放射線圖像作為基準圖像，而對表面檢測器13所得到的放射線圖像、進行透視傾斜修正，使檢測面1a側(cè)和檢測面1b側(cè)的圖像間的運算變得容易。

另外，如圖4所示，相對于圖3所示的配置例而言，也可以以聚光透鏡部14a的光軸C相對于檢測面1b的法線成規(guī)定的角度θ₂(0度＜θ₂＜90度)的方式即與檢測面1b相對并且與檢測面1b的法線偏離的方式配置背面檢測器14。在這種情況下，防止放射線所引起的背面檢測器14的被曝光，抑制背面檢測器14的內(nèi)部產(chǎn)生噪聲。此外，通過表面檢測器13和背面檢測器14能夠取得透視傾斜相同的放射線圖像，使檢測面1a側(cè)和檢測面1b側(cè)的圖像間的運算變得容易。再有，為了使圖像間運算變得更容易，優(yōu)選使角度θ₁與角度θ₂相同。

另外，圖5是使用了閃爍器面板1的其他的放射線圖像取得裝置31的概略結(jié)構(gòu)圖。該圖所示的放射線圖像取得裝置31是能夠通過1個檢測器取得低能量圖像和高能量圖像的放射線圖像取得裝置，具備放射線源12、以檢測面1a大致垂直于放射線源12的放射線的出射方向的方式配置的閃爍器面板1、對由閃爍器面板1變換的光進行攝像的光檢測器34、以及將由閃爍器面板1變換的光作為放射線透過像朝向光檢測器34進行導(dǎo)光的光學(xué)系統(tǒng)35。該光檢測器34與圖2的檢測器13,14同樣地，是具有聚光透鏡部34a與攝像部34b的間接變換方式的檢測器。

光學(xué)系統(tǒng)35由作為控制從閃爍器面板1放射的閃爍光的光路的光學(xué)構(gòu)件的5面反射鏡36a,36b,37a,37b,38、以及使反射鏡38旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)39構(gòu)成。光學(xué)系統(tǒng)35中的反射鏡36a,36b配置在閃爍器面板1的檢測面1a側(cè)，將從檢測面1a輻射的閃爍光L₁朝向反射鏡38導(dǎo)光，反射鏡38配置于與閃爍器面板1在沿著檢測面1a的延長方向上分離的位置。光學(xué)系統(tǒng)35中的反射鏡37a,37b配置在閃爍器面板1的檢測面1b側(cè)，將從檢測面1b輻射的閃爍光L₂朝向反射鏡38進行導(dǎo)光。光學(xué)系統(tǒng)35中的反射鏡38被配置成其反射面38a的法線與包含閃爍光L₁,L₂的光路的平面大致平行。另外，反射鏡38被內(nèi)含電機的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)39以與包含閃爍光L₁,L₂的光路的平面大致垂直的軸為中心而可旋轉(zhuǎn)地支撐。通過這樣的被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)39支撐的反射鏡38，將閃爍光L₁,L₂選擇性地朝向光檢測器34導(dǎo)光，光檢測器34與反射鏡38在沿著檢測面1a的延長方向上進一步分離而配置。即，通過旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)39使反射面38a朝向反射鏡36b側(cè)的方式旋轉(zhuǎn)反射鏡38(圖1的實線)，則閃爍光L₁朝向光檢測器34的聚光透鏡部34a反射。另一方面，通過旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)39使反射面38a朝向反射鏡37b側(cè)的方式旋轉(zhuǎn)反射鏡38(圖1的兩點劃線)，則閃爍光L₂朝向光檢測器34的聚光透鏡部34a反射。

此外，放射線圖像取得裝置31具備控制旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)39的旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)控制部41、控制利用反射鏡38的閃爍光L₁,L₂的選擇時序和光檢測器34的攝像時序的時序控制部42、以及處理從光檢測器34輸出的圖像信號的圖像處理裝置18。詳細而言，旋轉(zhuǎn)控制部41根據(jù)時序控制部42的指示信號將控制信號送出到控制旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)39并控制反射鏡38的旋轉(zhuǎn)角度。時序控制部42為了以使閃爍光L₁被反射到光檢測器34的方式切換反射鏡38的旋轉(zhuǎn)角度而將指示信號送出到旋轉(zhuǎn)控制部41，同時將指示信號送出到光檢測器34，使得與反射鏡38的切換同步地對閃爍光L₁進行攝像。此外，時序控制部42為了以使閃爍光L₂被反射到光檢測器34的方式切換反射鏡38的旋轉(zhuǎn)角度而將指示信號送出到旋轉(zhuǎn)控制部41，同時將指示信號送出到光檢測器34，使得與反射鏡38的切換同步地對閃爍光L₂進行攝像。圖像處理裝置18取得由光檢測器34對閃爍光L₁,L₂攝像的結(jié)果所得到的2個圖像信號，通過處理這2個圖像信號而生成與對象物A相關(guān)的放射線透過像數(shù)據(jù)。

根據(jù)這樣的放射線圖像取得裝置31，從閃爍器面板1的兩面輻射的閃爍光L₁,L₂經(jīng)由光學(xué)系統(tǒng)35而被導(dǎo)光至光檢測器34，因而光檢測器34可以與放射線的出射區(qū)域分離。由此，檢測器的影像不會映入到對象物A的放射線投影像，也不會有檢測器所引起的放射線的低能量成分的衰減。另外，放射線入射到檢測器自身所引起的直接變換的噪聲的發(fā)生也少。另外，由于能夠通過1個檢測器取得低能量成分的放射線透過像和高能量成分的放射線透過像，因此能夠容易地謀求裝置的小型化。

針對以上說明的閃爍器面板1的作用效果進行說明。

在閃爍器面板1中，將放射線變換成閃爍光的2個平板狀的閃爍器3,4夾持著讓放射線透過的平面狀的隔板2而配置，因而透過了對象物A的放射線被一個閃爍器3變換成閃爍光，并且透過了該閃爍器3和隔板2后被另一個閃爍器4變換成閃爍光。此時，通過隔板2的存在，2個閃爍器3,4中所產(chǎn)生的各個閃爍光相對于2個閃爍器3,4的隔板2容易從反射側(cè)的面1a,1b出射。其結(jié)果，通過把該閃爍器面板1使用在對從閃爍器面板1的兩面1a,1b出射的閃爍光進行聚光并攝像的放射線圖像取得裝置11,31，能夠效率高地區(qū)別高能量帶的放射線圖像和低能量帶的放射線圖像。

另外，隔板2相對于閃爍光具有遮光性，因而能夠切實地防止閃爍器3,4中的一個所產(chǎn)生的閃爍光入射到閃爍器3,4中的另一個，能夠提高放射線圖像的能量區(qū)別性。

另外，通過使用對不同的能量帶的放射線靈敏度高的波長變換構(gòu)件作為閃爍器3和閃爍器4的材料，能夠進一步提高放射線圖像的能量區(qū)別性。此外，通過以閃爍器3的厚度和閃爍器4的厚度不同的方式構(gòu)成，能夠同時調(diào)整不同能量帶的放射線圖像的檢測靈敏度，使水準(level)修正等的圖像處理簡單化。

再有，本發(fā)明并不限定于前述的實施方式。

例如，如圖6所示的本發(fā)明的變形例即閃爍器面板101那樣，在隔板102的兩面或一面，可以形成有反射由閃爍器3,4產(chǎn)生的閃爍光的反射面102a,102b。這樣的反射面102a,102b通過在隔板102的兩面或一面蒸鍍鋁，粘結(jié)鋁的薄膜，覆蓋厚度0.1μm以下的使放射線透過的金屬顆粒，或涂布白色涂料來形成。另外，也可以用鋁板等的金屬板構(gòu)成隔板102自身，并對其兩面或一面進行鏡面研磨來形成反射面102a,102b。此外，通過在閃爍器3,4的表面形成了反射面102a,102b之后接合閃爍器3,4，可以在隔板102的兩面或一面配置反射面102a,102b。通過這樣的結(jié)構(gòu)，能夠切實地防止閃爍器3,4中的一個所產(chǎn)生的閃爍光入射到另一個閃爍器3,4，并且可以進行放射線圖像取得裝置11,31所得到的閃爍光的高效的檢測。由此，能夠提高放射線圖像的能量區(qū)別性并且取得高對比度的放射線圖像。

另外，閃爍器面板的隔板2不限定于對閃爍器3,4所產(chǎn)生的閃爍光具有遮光性的事實，也可以具有遮蔽閃爍光的一部分波長區(qū)域那樣的功能。通過這樣的結(jié)構(gòu)，也能夠在規(guī)定的范圍效率高地區(qū)別高能量帶的放射線圖像和低能量帶的放射線圖像。另外，隔板2不限定于讓入射的放射線的全部的能量成分透過的事實，也可以具有遮蔽低能量區(qū)域的放射線那樣的性質(zhì)。在這種情況下，通過背面?zhèn)鹊拈W爍器4能夠降低由低能量區(qū)域的放射線所產(chǎn)生的閃爍光的入射，能夠進一步提高能量區(qū)別性。

這里，優(yōu)選地，隔離構(gòu)件對閃爍光具有遮光性。若具備這樣的隔離構(gòu)件，則能夠切實地防止一個波長變換構(gòu)件中產(chǎn)生的閃爍光往另一個波長變換構(gòu)件的入射，能夠提高放射線圖像的能量區(qū)別性。

另外，優(yōu)選地，在隔離構(gòu)件形成有反射閃爍光的反射面。若采用這樣的結(jié)構(gòu)，則能夠切實地防止一個波長變換構(gòu)件中所產(chǎn)生的閃爍光往另一個波長變換構(gòu)件的入射，并且可以進行圖像取得裝置所得到的閃爍光的效率的檢測。由此，能夠提高放射線圖像的能量區(qū)別性并且取得高對比度的放射像圖像。

此外，優(yōu)選地，第1波長變換構(gòu)件與第2波長變換構(gòu)件由不同的材料形成。在這種情況下，通過使用對不同能量帶的放射線靈敏度高的波長變換構(gòu)件，能夠進一步提高放射線圖像的能量區(qū)別性。

再此外，優(yōu)選地，第1波長變換構(gòu)件與第2波長變換構(gòu)件的厚度不同。若采用這樣的結(jié)構(gòu)，則能夠同時調(diào)整不同能量帶的放射線圖像的檢測靈敏度。

產(chǎn)業(yè)上的可利用性

本發(fā)明以將透過了對象物的放射線變換成閃爍光的閃爍器面板作為使用用途，使從放射線的入射面及其背面出射的閃爍光的觀察變得可能，由此可以取得能量區(qū)別性高的放射線檢測圖像。