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一種具有反鐵磁層間耦合的磁性多層膜及其制備方法與流程

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一種具有反鐵磁層間耦合的磁性多層膜及其制備方法與流程

技術(shù)特征:
1.一種具有反鐵磁層間耦合的磁性多層膜,包括:襯底,在所述襯底上依次疊加勢(shì)壘層和磁性層,且重復(fù)疊加勢(shì)壘層和磁性層,得到具有反鐵磁層間耦合的磁性多層膜;其中,所述勢(shì)壘層的勢(shì)壘材料為CaRu0.5Ti0.5O3,所述勢(shì)壘層的層數(shù)為N,N≥3;所述鐵磁層的鐵磁材料為鈣鈦礦型過(guò)渡金屬氧化物,所述鈣鈦礦型過(guò)渡金屬氧化物為L(zhǎng)a0.67Ca0.33MnO3、La0.7Sr0.3MnO3、La0.7Ba0.3MnO3或Nd0.7Sr0.3MnO3;所述磁性層的層數(shù)為N-1。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有反鐵磁層間耦合的磁性多層膜,其特征在于,所述勢(shì)壘層的厚度為0.8~1.8nm。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有反鐵磁層間耦合的磁性多層膜,其特征在于,所述磁性層的厚度為2.4~3.2nm。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有反鐵磁層間耦合的磁性多層膜,其特征在于,所述襯底用襯底材料為NdGaO3、(LaAlO3)0.3(Sr2AlTaO6)0.7、SrTiO3、LaAlO3或DyScO3。5.一種具有反鐵磁層間耦合的磁性多層膜的制備方法,包括:在襯底上依次沉積勢(shì)壘層和磁性層,且重復(fù)沉積勢(shì)壘層和磁性層,得到沉積后的磁性多層膜;其中,所述勢(shì)壘層的勢(shì)壘材料為CaRu0.5Ti0.5O3;所述勢(shì)壘層的層數(shù)為N,N≥3;所述鐵磁層的鐵磁材料為鈣鈦礦型過(guò)渡金屬氧化物,所述鈣鈦礦型過(guò)渡金屬氧化物為L(zhǎng)a0.67Ca0.33MnO3、La0.7Sr0.3MnO3、La0.7Ba0.3MnO3或Nd0.7Sr0.3MnO3;所述磁性層的層數(shù)為N-1;將沉積后磁性多層膜退火,得到具有反鐵磁層間耦合的磁性多層膜。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的具有反鐵磁層間耦合的磁性多層膜制備方法,其特征在于,所述沉積的氧壓為20~40Pa。7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的具有反鐵磁層間耦合的磁性多層膜制備方法,其特征在于,所述退火的溫度為680~735℃。8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的具有反鐵磁層間耦合的磁性多層膜制備方法,其特征在于,勢(shì)壘材料CaRu0.5Ti0.5O3的制備方法為:將CaO、RuO2和TiO2粉末按照Ca元素、Ru元素和Ti元素的化學(xué)摩爾比2:1:1混合煅燒,得到勢(shì)壘材料。
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