專利名稱：一種晶體預(yù)熱裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
—種晶體預(yù)熱裝置技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實用新型涉及半導(dǎo)體材料加工領(lǐng)域，尤其涉及一種晶體預(yù)熱裝置。
背景技術(shù)：
[0002]在區(qū)熔爐中使用區(qū)熔法拉制晶體前，由于晶體不能被高頻線圈感應(yīng)，需要使用預(yù)熱裝置對區(qū)熔爐中的晶體進(jìn)行預(yù)熱，使晶體達(dá)到能被感應(yīng)加熱的狀態(tài)。[0003]目前采用的預(yù)熱裝置為手動裝置，包括操作手柄、連接桿和加熱單元，操作手柄通過連接桿與加熱單元固定連接，且操作手柄位于區(qū)熔爐外，連接桿穿過區(qū)熔爐的爐壁，加熱單元位于區(qū)熔爐內(nèi)。加熱單元通常為預(yù)熱叉或者預(yù)熱環(huán)。[0004]當(dāng)需要對區(qū)熔爐中位于爐膛中心的晶體進(jìn)行預(yù)熱時，操作人員通過操作手柄將加熱單元手動推到爐膛中心，當(dāng)晶體被加熱到一定溫度后，操作人員再通過操作手柄將加熱單元手動拉回，以遠(yuǎn)離爐膛中心。[0005]在使用上述區(qū)熔爐的過程中，由于預(yù)熱裝置為手動裝置，當(dāng)區(qū)熔爐具有較大直徑時，預(yù)熱裝置的位置相對較高，不便于操作人員進(jìn)行操作，而且操作時運(yùn)動的速度不夠快， 使得晶體原料容易冷卻，又需要重新預(yù)熱。另外，手動操作時容易因操作不當(dāng)出現(xiàn)重大的損失。實用新型內(nèi)容[0006]本實用新型的實施例提供一種晶體預(yù)熱裝置，解決了現(xiàn)有預(yù)熱裝置操作不便、運(yùn)動速度不夠快、易出現(xiàn)重大損失的問題。[0007]為達(dá)到上述目的，本實用新型的實施例采用如下技術(shù)方案[0008]一種晶體預(yù)熱裝置，用于對區(qū)熔爐內(nèi)的所述晶體進(jìn)行預(yù)加熱，包括加熱單元，還包括驅(qū)動裝置，所述加熱單元與所述驅(qū)動裝置的連接桿固定連接；所述驅(qū)動裝置固定在所述區(qū)熔爐的爐膛法蘭外側(cè)，且所述連接桿穿過所述爐膛法蘭，所述驅(qū)動裝置通過所述連接桿驅(qū)動所述加熱單元。[0009]優(yōu)選地，所述驅(qū)動裝置與所述爐膛法蘭間的固定方式為螺栓固定。[0010]優(yōu)選地，所述的晶體預(yù)熱裝置，還包括調(diào)整塊，所述加熱單元通過所述調(diào)整塊與所述驅(qū)動裝置的連接桿固定連接。[0011]其中，所述的晶體預(yù)熱裝置，其特征在于，還包括固定環(huán)，所述連接桿的自由端通過所述固定環(huán)與所述調(diào)整塊固定連接。[0012]優(yōu)選地，所述連接桿的自由端具有凹孔，所述凹孔容納部分所述調(diào)整塊。[0013]優(yōu)選地，所述調(diào)整塊的用于連接所述加熱單元的一端的端面上具有凹槽和螺孔， 所述加熱單元的用于連接所述調(diào)整塊的一端的端面上具有與所述凹槽滑動配合的凸起及與所述螺孔相對的長圓孔；所述凸起用于使所述加熱單元沿所述凹槽滑動；相對設(shè)置的所述螺孔與所述長圓孔用于通過螺釘將所述加熱單元與所述調(diào)整塊固定連接。[0014]其中，所述的晶體預(yù)熱裝置，還包括密封件，位于所述爐膛法蘭與所述連接桿之間。[0015]本實用新型實施例提供的晶體預(yù)熱裝置中，由于加熱單元12與驅(qū)動裝置11的連接桿14連接，驅(qū)動裝置11固定在區(qū)熔爐的爐膛法蘭13外側(cè)，且連接桿14穿過爐膛法蘭 13，驅(qū)動裝置11通過連接桿14驅(qū)動加熱單元12，因此，當(dāng)需要對區(qū)熔爐中的晶體進(jìn)行預(yù)熱時，通過控制驅(qū)動裝置11，可使驅(qū)動裝置11的連接桿14驅(qū)動加熱單元12在區(qū)熔爐內(nèi)運(yùn)動， 從而使得加熱單元12位于爐膛中心或者遠(yuǎn)離爐膛中心。由于驅(qū)動裝置11的控制并不受限于驅(qū)動裝置11的安裝位置，因此可以選擇方便操作人員進(jìn)行操作的位置對驅(qū)動裝置11 進(jìn)行控制，從而提高了操作便利性；另外由于驅(qū)動裝置11的運(yùn)動速度遠(yuǎn)大于人工操作的速度，使得加熱單元12在區(qū)熔爐內(nèi)運(yùn)動速度較快，從而能保證晶體原料不易冷卻，無需重新預(yù)熱，并且，能避免因手動操作不當(dāng)而出現(xiàn)重大的損失。


[0016]為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。[0017]圖I為本實用新型實施例提供的一種晶體預(yù)熱裝置的示意圖；[0018]圖2為本實用新型實施例提供的另一種晶體預(yù)熱裝置的示意圖；[0019]圖3為圖2中加熱單元的用于連接調(diào)整塊的一端的端面放大圖。
具體實施方式
[0020]下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動的前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護(hù)的范圍。[0021]如圖I所示，為本實用新型晶體預(yù)熱裝置的一個具體實施例，本實施例中所述晶體預(yù)熱裝置，用于對區(qū)熔爐內(nèi)的晶體進(jìn)行預(yù)加熱，包括加熱單元12，還包括驅(qū)動裝置11，加熱單元12與驅(qū)動裝置11的連接桿14固定連接，驅(qū)動裝置11固定在所述區(qū)熔爐的爐膛法蘭13外側(cè)，且連接桿14穿過爐膛法蘭13，驅(qū)動裝置11通過連接桿14驅(qū)動加熱單元12。[0022]本實用新型實施例提供的晶體預(yù)熱裝置中，由于加熱單元12與驅(qū)動裝置11的連接桿14連接，驅(qū)動裝置11固定在區(qū)熔爐的爐膛法蘭13外側(cè)，且連接桿14穿過爐膛法蘭 13，驅(qū)動裝置11通過連接桿14驅(qū)動加熱單元12，因此，當(dāng)需要對區(qū)熔爐中的晶體進(jìn)行預(yù)熱時，通過控制驅(qū)動裝置11，可使驅(qū)動裝置11的連接桿14驅(qū)動加熱單元12在區(qū)熔爐內(nèi)運(yùn)動， 從而使得加熱單元12位于爐膛中心或者遠(yuǎn)離爐膛中心。由于驅(qū)動裝置11的控制并不受限于驅(qū)動裝置11的安裝位置，因此可以選擇方便操作人員進(jìn)行操作的位置對驅(qū)動裝置11 進(jìn)行控制，從而提高了操作便利性；另外由于驅(qū)動裝置11的運(yùn)動速度遠(yuǎn)大于人工操作的速度，使得加熱單元12在區(qū)熔爐內(nèi)運(yùn)動速度較快，從而能保證晶體原料不易冷卻，無需重新預(yù)熱，并且，能避免因手動操作不當(dāng)而出現(xiàn)重大的損失。[0023]其中，爐膛法蘭13是固設(shè)在區(qū)熔爐上的，與區(qū)熔爐為一個整體結(jié)構(gòu)。用于連接穿設(shè)在區(qū)熔爐爐壁上的一些組件。[0024]如圖2所示，為本實用新型晶體預(yù)熱裝置的另一個具體的實施例。在圖2所示的晶體預(yù)熱裝置中，驅(qū)動裝置21與爐膛法蘭22間的固定方式為螺栓固定。[0025]由于驅(qū)動裝置21與爐膛法蘭22間的固定方式為螺栓固定，可以使所述晶體預(yù)熱裝置的安裝、拆卸以及維修方便。[0026]圖2所示的晶體預(yù)熱裝置中，還包括調(diào)整塊23，加熱單元24通過調(diào)整塊23與驅(qū)動裝置21的連接桿25固定連接。[0027]由于加熱單元24通過調(diào)整塊23與驅(qū)動裝置21的連接桿25固定連接，當(dāng)驅(qū)動裝置21的連接桿25運(yùn)動時，通過調(diào)整塊23可以帶動與調(diào)整塊23固定連接的加熱單元24 — 起運(yùn)動。[0028]圖2所示的晶體預(yù)熱裝置中，還包括固定環(huán)26，連接桿25的自由端通過固定環(huán)26 與調(diào)整塊23固定連接。固定環(huán)26使得連接桿25與調(diào)整塊23的連接更穩(wěn)固。[0029]另外，圖2所示的晶體預(yù)熱裝置中，連接桿25的自由端具有凹孔27，凹孔27容納部分調(diào)整塊23。[0030]由于連接桿25的自由端具有凹孔27，凹孔27可以容納部分調(diào)整塊23，這樣設(shè)置， 一方面調(diào)整塊23可以相對于連接桿25發(fā)生軸向或周向運(yùn)動，當(dāng)需要改變與調(diào)整塊23連接部件的位置時，只需讓調(diào)整塊23在凹孔27中轉(zhuǎn)動或移動就可以實現(xiàn)與所述調(diào)整塊23連接部件的位置變化。另一方面，因為連接桿25自由端的凹孔27容納著部分調(diào)整塊23，可以進(jìn)一步提高連接桿25與調(diào)整塊23的連接穩(wěn)固性。[0031]參見圖2和圖3，上述的晶體預(yù)熱裝置中，調(diào)整塊23的用于連接加熱單元24的一端的端面上具有凹槽28和螺孔，加熱單元24的用于連接調(diào)整塊23的一端的端面上具有與凹槽28滑動配合的凸起29及與所述螺孔相對的長圓孔31 ;凸起29用于使加熱單元24沿凹槽28滑動；相對設(shè)置的所述螺孔與長圓孔31用于通過螺釘將加熱單元24與調(diào)整塊23 固定連接。[0032]由于調(diào)整塊23的用于連接加熱單元24的一端的端面上具有凹槽28和所述螺孔， 加熱單元24的用于連接調(diào)整塊23的一端的端面上具有與凹槽28滑動配合的凸起29及與所述螺孔相對的長圓孔31，凸起29用于使加熱單元24沿凹槽28滑動，相對設(shè)置的所述螺孔與長圓孔31用于通過螺釘將加熱單元24與調(diào)整塊23固定連接，因此，可以調(diào)整加熱單元24在豎直方向的位置，使得加熱單元24在位于爐膛中心時能實現(xiàn)高度的調(diào)整。當(dāng)加熱單元24的位置調(diào)整完畢后，將加熱單元24通過螺釘穿過所述長圓孔與所述螺孔配合，可實現(xiàn)加熱單元24與調(diào)整塊23的固定連接。[0033]圖2所示的晶體預(yù)熱裝置，還包括密封件201，位于爐膛法蘭22與連接桿25之間。[0034]由于密封件201位于爐膛法蘭22與連接桿25之間，可防止?fàn)t膛內(nèi)的氣體從連接桿25與爐膛法蘭22接觸處泄露而導(dǎo)致所述爐膛漏氣，有效地保證了所述爐膛的氣密性。[0035]上述實施例所述的驅(qū)動裝置可以為氣缸、液壓缸等部件。[0036]以上所述，僅為本實用新型的具體實施方式
，但本實用新型的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實用新型揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本實用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本實用新型的保護(hù)范圍應(yīng)以所述權(quán)利要求的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求1.一種晶體預(yù)熱裝置，用于對區(qū)熔爐內(nèi)的晶體進(jìn)行預(yù)加熱，包括加熱單元，其特征在于，還包括驅(qū)動裝置，所述加熱單元與所述驅(qū)動裝置的連接桿固定連接； 所述驅(qū)動裝置固定在所述區(qū)熔爐的爐膛法蘭外側(cè)，且所述連接桿穿過所述爐膛法蘭； 所述驅(qū)動裝置通過所述連接桿驅(qū)動所述加熱單元。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的晶體預(yù)熱裝置，其特征在于，所述驅(qū)動裝置與所述爐膛法蘭間的固定方式為螺栓固定。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的晶體預(yù)熱裝置，其特征在于，還包括調(diào)整塊，所述加熱單元通過所述調(diào)整塊與所述驅(qū)動裝置的連接桿固定連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶體預(yù)熱裝置，其特征在于，還包括固定環(huán)，所述連接桿的自由端通過所述固定環(huán)與所述調(diào)整塊固定連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶體預(yù)熱裝置，其特征在于，所述連接桿的自由端具有凹孔，所述凹孔容納部分所述調(diào)整塊。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶體預(yù)熱裝置，其特征在于，所述調(diào)整塊的用于連接所述加熱單元的一端的端面上具有凹槽和螺孔，所述加熱單元的用于連接所述調(diào)整塊的一端的端面上具有與所述凹槽滑動配合的凸起及與所述螺孔相對的長圓孔； 所述凸起用于使所述加熱單元沿所述凹槽滑動； 相對設(shè)置的所述螺孔與所述長圓孔用于通過螺釘將所述加熱單元與所述調(diào)整塊固定連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的晶體預(yù)熱裝置，其特征在于，還包括密封件，位于所述爐膛法蘭與所述連接桿之間。
專利摘要本實用新型公開了一種晶體預(yù)熱裝置，涉及半導(dǎo)體材料加工領(lǐng)域，解決了現(xiàn)有預(yù)熱裝置操作不便、運(yùn)動速度不夠快、易出現(xiàn)重大損失的問題。晶體預(yù)熱裝置，用于對區(qū)熔爐內(nèi)的晶體進(jìn)行預(yù)加熱，包括加熱單元和驅(qū)動裝置，加熱單元與驅(qū)動裝置的連接桿固定連接，驅(qū)動裝置固定在區(qū)熔爐的爐膛法蘭外側(cè)，且連接桿穿過爐膛法蘭，驅(qū)動裝置通過連接桿驅(qū)動加熱單元。
文檔編號C30B13/00GK202808989SQ20122044598
公開日2013年3月20日 申請日期2012年9月3日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月3日
發(fā)明者袁靜, 張繼宏, 李巖 申請人:北京京運(yùn)通科技股份有限公司