觸摸面板用墊板的制造方法及通過該制造方法制造的觸摸面板用墊板的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及觸摸面板用墊板的制造方法及通過該制造方法制造的觸摸面板用墊板，根據本發(fā)明的制造方法制造的觸摸面板用墊板，可以抑制起因于金屬層的蝕刻不良等的殘渣現象，并且能夠進行用于提高透明導電層特性的退火處理。
【專利說明】觸摸面板用墊板的制造方法及通過該制造方法制造的觸摸面板用墊板
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及觸摸面板用墊板的制造方法及通過該制造方法制造的觸摸面板用墊板。特別是，涉及可以抑制起因于金屬層的蝕刻不良等的殘渣現象，并且能夠進行用于提高觸摸面板用墊板的透明導電層特性的退火處理的觸摸面板用墊板的制造方法及觸摸面板用墊板。
【背景技術】
[0002]作為影像顯示裝置等輸入裝置而廣泛利用的觸摸面板是利用在玻璃或絕緣樹脂等絕緣層上涂敷有ITO等透明導電層的疊層墊板來制造。
[0003]以往的觸摸面板用墊板上涂布有用于與外部電連接的銀漿。但是，像這樣利用銀漿形成配線電極的情況下，難以使配線電極的厚度和寬度變小，從而具有在面板表面產生段差或不能提高元件的集成度的問題。
[0004]為了改善上述的問題，使用在上述墊板的透明導電層上涂敷金屬層來代替銀漿而形成配線電極的方法。
[0005]圖1顯示作為配線電極而形成有金屬層的觸摸面板用墊板的制作工序的一個例子。
[0006]如圖1所示，首先在絕緣層110上形成透明導電層120，在其上部形成金屬層130。
[0007]然后，根據光刻(photolithography)等工序,形成由透明導電層120形成的透明電極圖案121和由金屬層130形成的配線電極圖案131。此時,利用第一個掩模140同時去除不相當于透明電極圖案121和配線電極圖案131部分的金屬層130和透明導電層120(I次蝕刻)，然后利用第二個掩模141，在金屬層130去除除了配線電極圖案131的部分(2次蝕刻)。通過這樣的工序來制造絕緣層110上形成有透明電極案121和配線電極圖案131的觸摸面板用墊板。
[0008]由上述的方法來形成墊板的情況下，由于金屬層130不透明，因此在制造工序中通過肉眼檢查容易確認透明電極圖案121的不良(短路或者斷路)。但是I次蝕刻后，掩模140的剝離過程中殘留有機污染物質等的情況下，在2次蝕刻中在蝕刻速度上產生差異，從而金屬層130的一部份不會被蝕刻而殘留，由此可以引起制品外觀不良。特別是，I次蝕刻后為了防止金屬的氧化而進行抗氧化劑處理，若抗氧化劑在2次蝕刻中不會被去除或者去除得慢時，容易產生金屬層130的殘渣現象。
[0009]這樣的殘渣現象使在觸摸面板的窗口區(qū)域(要顯示畫面的透明的部分)殘留不是透明材料的金屬，從而導致觸摸面板的不良。
[0010]改善上述圖1制作工序中問題的另外不同的制作工序的一個例子顯示在圖2中。
[0011]圖2顯示的方法不同于圖1顯示的方法，在I次蝕刻中僅去除相當于面板的窗口區(qū)域的部分的金屬層130，然后在2次蝕刻中只留下金屬層130的配線電極圖案131和透明導電層120的透明電極圖案121部分，而各自去除金屬層130和透明導電層120。通過這樣的工序，制作在絕緣層Iio上形成有透明電極圖案121和配線電極圖案131的墊板。
[0012]在圖2顯示的觸摸面板用墊板的制造方法中，首先蝕刻相當于面板的窗口區(qū)域的金屬層130，從而不產生如同圖1顯示的制造方法的由抗氧化劑或有機物引起的殘渣問題，因此可以實施均勻的蝕刻。即使在蝕刻金屬層130和透明導電層120的2次蝕刻中產生由抗氧化劑或殘留有機物引起的問題，由于與觸摸面板的窗口區(qū)域沒有關聯(lián)，因此不成大的問題。
[0013]但是就上述圖1和圖2中顯示的以往制造方法而言幾乎必須使用抗氧化劑，因此不能完全解決由抗氧化劑引起的殘渣問題。
[0014]并且，為了提高墊板的透明導電層的特性而進行退火處理的情況下，由于金屬層的熱氧化，有可能增加金屬層的表面電阻值或者產生圖案斷開的現象。因此，由上述以往制造方法形成的墊板存在不能進行退火處理的問題。
[0015]并且,上述以往制造方法中由派射(sputtering)方式形成金屬層的情況下，由于作為透明導電層的ITO是金屬氧化物，因此即使在濺射之前進行表面活性化處理也有產生針孔(pin hole)的問題。

【發(fā)明內容】

[0016]技術問題
[0017]為了解決這樣的問題，本發(fā)明將提供抑制起因于金屬層的蝕刻不良等的殘渣現象的觸摸面板用墊板的制造方法作為其目的。
[0018]并且，將提供能夠進行用于提高觸摸面板用墊板的透明導電層的特性的退火處理的觸摸面板用墊板的制造方法作為其目的。
[0019]解決問題的方案
[0020]為了達到上述目的，根據本發(fā)明的觸摸面板用墊板的制造方法，包含如下步驟:在透明絕緣體上形成金屬層的步驟；在上述金屬層中僅選擇性地去除相當于觸摸面板的窗口區(qū)域(要顯示畫面的透明的部分)的部分的步驟；在上述金屬層的上面和選擇性地去除上述金屬層后的上述透明絕緣體的上面形成透明導電層的步驟；以及選擇性地去除上述金屬層和上述透明導電層，從而形成由上述金屬層而成的配線電極圖案和由上述透明導電層而成的透明電極圖案。
[0021]根據本發(fā)明的觸摸面板用墊板的制造方法，包含如下步驟:在透明絕緣體上形成金屬層的步驟；在上述金屬層中僅選擇性地去除相當于觸摸面板的窗口區(qū)域(要顯示畫面的透明的部分)部分的步驟；在選擇性地去除上述金屬層后的上述透明絕緣體的上面形成透明導電層的步驟；以及選擇性地去除上述金屬層和上述透明導電層，從而形成由上述金屬層而成的配線電極圖案和由上述透明導電層而成的透明電極圖案。
[0022]根據本發(fā)明的觸摸面板用墊板，包含:透明絕緣層；在上述透明絕緣層上在相當于觸摸面板的窗口區(qū)域的部分由透明導電層形成的透明電極圖案；在上述透明絕緣層上的除了上述觸摸面板的窗口區(qū)域的邊緣區(qū)域由金屬層形成的配線電極圖案；以及在上述配線電極圖案上形成的透明導電層。
[0023]根據本發(fā)明的觸摸面板用墊板，包含，透明絕緣層；在上述透明絕緣層上在相當于觸摸面板的窗口區(qū)域的部分由透明導電層形成的透明電極圖案；以及在上述透明絕緣層上的除了上述觸摸面板的窗口區(qū)域的邊緣區(qū)域由金屬層形成的配線電極圖案。
[0024]并且，根據本發(fā)明的觸摸面板用墊板的制造方法可以進一步包含在形成上述透明導電層之前，在上述透明絕緣層和上述金屬層涂敷底漆(primer)的步驟。上述底漆，優(yōu)選為具有導電性的金屬物質。
[0025]并且，在選擇性地去除上述金屬層和透明導電層而形成上述配線電極圖案和上述透明電極圖案的步驟中，優(yōu)選用一種蝕刻液同時蝕刻上述金屬層和上述透明導電層。
[0026]優(yōu)選，上述透明絕緣層為PET (聚對苯二甲酸乙二醇酯)，上述金屬層為銅或者鋁，上述透明導電層為ITO膜。
[0027]發(fā)明效果
[0028]本發(fā)明的觸摸面板用墊板的制造方法及通過其制造的觸摸面板用墊板顯示出如下有益效果。
[0029]本發(fā)明中透明導電層被涂布于金屬層上而起金屬層的抗氧化劑的作用，從而有優(yōu)異的抗氧化效果。
[0030]并且，金屬層形成在作為透明導電層的ITO膜上的以往的制造方法中，由于金屬的熱氧化問題而不能進行退火處理，但根據本發(fā)明的制造方法，通過金屬層上形成的ITO膜可以防止在沉積工序中由于高溫而金屬被氧化的情況，從而可以進行退火處理。并且通過退火處理，有墊板的ITO膜的特性，即電阻值減小的特性以及可以提高透過性的效果。
[0031]并且在形成透明導電層之前，通過使用與金屬層和透明絕緣層的附著力優(yōu)異的金屬作為底漆，可以防止在濺射工序中產生針孔。從而，具有可以減少由于針孔而在觸摸面板產生諸如配線短路等不良情況的效果。
[0032]并且，在形成由金屬層而成的配線電極圖案和由透明導電層而成的透明電極圖案的工序(后面敘述的“2次蝕刻”)中可以用一種蝕刻液同時蝕刻金屬層和透明導電層，從而具有可以簡化工序和試劑的效果。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0033]圖1是按步驟顯示以往的觸摸面板用墊板的制造方法的一個例子的截面圖。
[0034]圖2是按步驟顯示以往的觸摸面板用墊板的制造方法的另一個例子的截面圖。
[0035]圖3是按步驟顯示根據本發(fā)明的實施例的觸摸面板用墊板的制造方法的截面圖。
[0036]圖4至圖7是按步驟顯示根據本發(fā)明的實施例的觸摸面板用墊板的制造方法的平面圖。
[0037]*對附圖主要部分的附圖標記的說明*
[0038]110、310:透明絕緣層
[0039]120、330:透明導電層
[0040]130,320:金屬層
[0041]121、331:透明電極圖案
[0042]131、321:配線電極圖案
[0043]140、141:掩模
【具體實施方式】[0044]下面參考附圖詳細說明本發(fā)明的實施例，以使本發(fā)明所屬的【技術領域】的技術人員容易地實施。但是，本發(fā)明可以體現為各種不同的形態(tài)，并且不限于在這里所說明的實施例。還有，圖中為了明確說明本發(fā)明而省略了與說明不相關的部分，并且通過說明書全體對類似的部分賦予類似的附圖標記。
[0045]整個說明書中，當記載某個部分“包含”某個技術特征時，在沒有特別相反的記載的情況下，這并不是意味著排除其他技術特征，而是意味著還可以進一步包含其他技術特征。
[0046]圖3是按步驟顯示根據本發(fā)明的實施例的觸摸面板用墊板的制造方法的截面圖，圖4至圖7是按步驟顯示根據本發(fā)明的實施例的觸摸面板用墊板的制造方法的平面圖。
[0047]如圖3的(a)和圖4顯示，為了制造本發(fā)明的觸摸面板用墊板，首先在透明絕緣層310上形成金屬層320 (步驟I)。
[0048]透明絕緣層310是由透明材質的有機絕緣體或者無機絕緣體來形成,上述有機絕緣體優(yōu)選包含聚酰亞胺、聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)或者聚碳酸酯(PC)，或是由聚酰亞胺、聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)或者聚碳酸酯(PC)形成的透明有機絕緣體，上述無機絕緣體優(yōu)選由玻璃形成。并且，上述金屬層320可以使用公知的多種多樣的金屬，而考慮到制造的容易性和導電率，優(yōu)選銅或者鋁。
[0049]在透明絕緣層310上形成金屬層320的方法可以使用諸如層疊或氣相沉積的公知的方法。
[0050]并且本發(fā)明中可以利用在透明絕緣層310上已經形成有金屬層320來銷售的物品。
[0051]然后，如圖3的(b)和圖5顯示，在上述金屬層320中選擇性地僅去除相當于觸摸面板的窗口區(qū)域的部分(步驟2)。
[0052]這樣的選擇性的去除可以適用公知的方法是理所當然的，作為一個例子可以使用光刻工序等來實行。即，通過PR涂布、曝光、顯影、蝕亥IJ、剝離等工序，可以選擇性地去除上述金屬層320 (以下，稱作“I次蝕刻”)。
[0053]然后，如圖3的(C)和圖6顯示，根據步驟2在金屬層320的上面和被選擇性地去除金屬層320的透明絕緣層310的上面形成透明導電層330 (步驟3)。
[0054]作為另一個實施例，也可以并不是在金屬層320的上面形成透明導電層330，而是在選擇性地去除金屬層320的透明絕緣層310的上面形成透明導電層330。
[0055]透明導電層330由諸如TCO的透明材質的導電性物質來形成，具體的，優(yōu)選包含ITO或者IZ0，或是由ITO或者IZO來形成的透明導電性物質來形成。
[0056]透明導電層330的形成可以適用公知的方法，作為具體的一個例子可以通過濺射(sputtering)來形成。此時，派射上述透明導電層330之前,可以在上述透明絕緣層310及金屬層320上涂敷底漆(primer)(沒有圖示)。作為底漆可以使用與透明絕緣層310和金屬層320的附著力優(yōu)異并且具有導電性的金屬物質。作為具體的例子上述底漆可以是鎳、鉻或者氧化鋁。通過使用這樣的底漆，可以抑制濺射工序中產生針孔的現象。并且，通過這樣的工序透明導電層330被涂布于金屬層320上而起金屬層320的抗氧化劑的作用，從而也可以獲得優(yōu)異的抗氧化效果。
[0057]然后，如圖3的(d)和圖7顯示，使用光刻工序選擇性地去除金屬層320和透明導電層330 (以下，稱作“2次蝕刻”)，從而形成由金屬層320而成的配線電極圖案321和由透明導電層330而成的透明電極圖案331 (步驟4)。
[0058]如圖3的(d)和圖7圖示，配線電極圖案321上形成有透明導電層330。
[0059]如同前述的另一個實施例，未在金屬層320的上面形成透明導電層330，而是在選擇性地去除金屬層320的透明絕緣層310的上面形成透明導電層330的情況下，配線電極圖案321上不形成透明導電層330。
[0060]在2次蝕刻中可以用一種蝕刻液來同時蝕刻上述金屬層320和透明導電層330,作為具體的一個例子可以使用氯化鐵(FeCl3)水溶液等作為蝕刻液。
[0061]根據如上所述的步驟I至4的工序，制造圖3 (d)和圖7中顯示的觸摸面板用墊板。
[0062]S卩，根據本發(fā)明的實施例的觸摸面板用墊板如下構成:
[0063]透明絕緣層310，在透明絕緣層310上在相當于觸摸面板的窗口區(qū)域的部分由透明導電層330形成的透明電極圖案331，在透明絕緣層310上在除了觸摸面板的窗口區(qū)域的邊緣區(qū)域上由金屬層320形成的配線電極圖案321，以及在配線電極圖案321上形成的透明導電層330。
[0064]根據上述的本發(fā)明的實施例的觸摸面板用墊板可以被使用于觸摸屏或用于觸摸墊板的觸摸面板的制造。例如，可以適當組裝根據本發(fā)明的實施例的墊板，制造電阻膜式觸摸面板或電容式觸摸面板。
[0065]本發(fā)明是通過參考上述的優(yōu)選的實施例和附圖來說明，但在本發(fā)明的概念及范圍內也可以構成不同的實施例。由此本發(fā)明的范圍由附加的權利要求而定，并且被解釋為不限定于由本說明書中記載的特定實施例。
[0066]工業(yè)上利用可能性
[0067]本發(fā)明的觸摸面板用墊板的制造方法及通過其制造的觸摸面板用墊板顯示如下的有益效果。
[0068]本發(fā)明中，透明導電層被涂布在金屬層上而起金屬層的抗氧化劑的作用，從而具有優(yōu)異的抗氧化效果。
[0069]并且，在作為透明導電層的ITO膜上形成金屬層的以往的制造方法中，由于金屬的熱氧化問題而不能進行退火處理，但根據本發(fā)明的制造方法，通過形成于金屬層上的ITO膜可以防止在沉積工序中由于高溫而金屬被氧化的現象，從而可以進行退火處理。并且通過退火處理，具有墊板的ITO膜的特性，即電阻值減小的特性以及可以提高透過性的效果。
[0070]并且在形成透明導電層之前，使用與金屬層和透明絕緣層的附著力優(yōu)異的金屬作為底漆，從而可以在濺射工序中防止針孔的產生。并且，具有可以減少由于針孔而在觸摸面板產生諸如配線短路等不良情況的效果。
[0071]并且，在形成由金屬層而成的配線電極圖案和由透明導電層而成的透明電極圖案的工序(后面敘述的“2次蝕刻”)中可以用一種蝕刻液同時蝕刻金屬層和透明導電層，從而具有可以簡化工序和試劑的效果。
【權利要求】
1.一種觸摸面板用墊板的制造方法，其特征在于，包含: 在透明絕緣層上形成金屬層的步驟； 在所述金屬層中僅選擇性地去除相當于觸摸面板的窗口區(qū)域(要顯示畫面的透明的部分)的部分的步驟； 在所述金屬層的上面和選擇性地去除所述金屬層后的所述透明絕緣層的上面形成透明導電層的步驟；以及 選擇性地去除所述金屬層和所述透明導電層，從而形成由所述金屬層而成的配線電極圖案和由所述透明導電層而成的透明電極圖案的步驟。
2.一種觸摸面板用墊板的制造方法，其特征在于，包含: 在透明絕緣層上形成金屬層的步驟； 在所述金屬層中僅選擇性地去除相當于觸摸面板的窗口區(qū)域(要顯示畫面的透明的部分)的部分的步驟； 在選擇性地去除所述金屬層后的所述透明絕緣層的上面形成透明導電層的步驟；以及選擇性地去除所述金屬層和所述透明導電層，從而形成由所述金屬層而成的配線電極圖案和由所述透明導電層而成的透明電極圖案的步驟。
3.根據權利要求1或2所述的觸摸面板用墊板的制造方法，其特征在于，在形成所述透明導電層之前，進一步包含在所述透明絕緣層和所述金屬層上涂敷底漆的步驟。
4.根據權利要求3所述的觸摸面板用墊板的制造方法，其特征在于，所述底漆為具有導電性的金屬物質。
5.根據權利要求1或2所述的觸摸面板用墊板的制造方法，其特征在于，在選擇性地去除所述金屬層和所述透明導電層而形成所述配線電極圖案和所述透明電極圖案的步驟中，用一種蝕刻液來同時蝕刻所述金屬層和所述透明導電層。
6.根據權利要求1或2所述的觸摸面板用墊板的制造方法，其特征在于，所述透明絕緣層是PET (聚對苯二甲酸乙二醇酯)，所述金屬層是銅或者鋁，所述透明導電層是ITO膜。
7.根據權利要求1所述的觸摸面板用墊板的制造方法，其特征在于，在所述配線電極圖案上形成透明導電層。
8.一種觸摸面板用墊板，其特征在于，包含: 透明絕緣層； 在所述透明絕緣層上的相當于觸摸面板的窗口區(qū)域的部分由透明導電層形成的透明電極圖案； 在所述透明絕緣層上的除了所述觸摸面板的窗口區(qū)域的邊緣區(qū)域由金屬層形成的配線電極圖案；以及 在所述配線電極圖案上形成的透明導電層。
9.一種觸摸面板用墊板，其特征在于，包含: 透明絕緣層； 在所述透明絕緣層上的相當于觸摸面板的窗口區(qū)域的部分由透明導電層形成的透明電極圖案；以及 在所述透明絕緣層上的除了所述觸摸面板的窗口區(qū)域的邊緣區(qū)域由金屬層形成的配線電極圖案。
【文檔編號】H05K3/02GK103430133SQ201180063365
【公開日】2013年12月4日 申請日期:2011年10月28日 優(yōu)先權日:2010年10月29日
【發(fā)明者】樸凖永, 鄭州鉉, 文炯泰, 盧守牮 申請人:株式會社Tmay, 樸凖永