專利名稱：一種單晶爐副室提升操作的自動保護(hù)方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于單晶硅制造控制技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種單晶爐副室提升操作的自動保護(hù)方法。
背景技術(shù)：
單晶生長需要高溫低壓的特殊環(huán)境，爐壁通循環(huán)的冷卻水將單晶爐和外界環(huán)境隔離起來，在剪渣蓋和加摻雜等操作過程中需要將單晶爐的副室和主室隔離。隔離前，副室須充到大氣壓，由于主室中有液態(tài)硅，所以需保持高溫低壓的狀態(tài)，并且在存在熔硅的狀態(tài)下，不能和外界接觸。隔離之前的準(zhǔn)備工序是否到位需要操作工人為檢查，因操作不當(dāng)或檢查不到位而引發(fā)生產(chǎn)事故的情況時有發(fā)生。從理論上講，現(xiàn)用副室提升開關(guān)的設(shè)計(jì)思路并無問題，但實(shí)際操作過程中發(fā)現(xiàn)原有線路的爐壓報(bào)警裝置存在著缺陷1)單純的人為檢查過程必定存在著漏洞，尤其是倒班的一線員工在上夜班時可能會比較累，使人為因素導(dǎo)致的誤操作無法完全避免。2、報(bào)警裝置雖能報(bào)警，但報(bào)警的同時誤操作已經(jīng)開始執(zhí)行，而這樣的誤操作瞬間即可造成嚴(yán)重的生產(chǎn)事故，這個時間段遠(yuǎn)遠(yuǎn)短于操作工的反應(yīng)時間。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種單晶爐副室提升操作的自動保護(hù)方法，解決了現(xiàn)有技術(shù)中存在人為因素導(dǎo)致誤操作的問題。本發(fā)明所采用的技術(shù)方案是，一種單晶爐副室提升操作的自動保護(hù)方法，在副室提升開關(guān)的行程開關(guān)上串聯(lián)一個電接點(diǎn)壓力表，該電接點(diǎn)壓力表的測量值為單晶爐副室的壓力值；電接點(diǎn)壓力表上設(shè)置一個低于大氣壓值的閾值，使得在實(shí)測爐壓小于這個閾值時，控制副室提升的線路一直處于斷開狀態(tài)，大于或等于這個閾值時，提升副室的操作被執(zhí)行。本發(fā)明的單晶爐副室提升操作的自動保護(hù)方法，其特征還在于所述的副室提升開關(guān)的控制線路結(jié)構(gòu)是，包括電接點(diǎn)壓力表，電接點(diǎn)壓力表與副室上限位開關(guān)K1、副室下限位開關(guān)K2、繼電器、爐壓報(bào)警裝置、拉升腔提升/下降手動按鈕 K3依次串聯(lián)，繼電器另與副室提升電機(jī)連接。所述的電接點(diǎn)壓力表的技術(shù)參數(shù)設(shè)置為，接口為M20X 1.5 ；測量范圍為-0. 1 0. 3MPa ；在電接點(diǎn)壓力表的壓力表盤上分別設(shè)置指針一、指針二、指針三，其中的指針一為正常的指針測量位置，所指示的為單晶爐副室的實(shí)際測量壓力值；指針二的指示值人為設(shè)定，當(dāng)實(shí)測值小于此指針指示值時，輸出線路閉合；指針三的指示值人為設(shè)定，當(dāng)實(shí)測值大于此指針指示值時，輸出線路閉合。本發(fā)明的有益效果是，在副室提升開關(guān)線路上串聯(lián)一個電接點(diǎn)壓力表，使在副室爐壓未達(dá)到大氣壓的狀態(tài)下，無法提升副室，從而杜絕了由于誤提起副室而引發(fā)的生產(chǎn)事故，提高了生產(chǎn)設(shè)備的自動化程度和智能化程度，保證了一線員工的人身安全和設(shè)備安全。


圖1是本發(fā)明方法中的副室提升開關(guān)的線路連接示意圖；圖2是本發(fā)明方法中的電接點(diǎn)壓力表的三個指針的設(shè)置示意圖；圖3是本發(fā)明方法中使用的電接點(diǎn)壓力表內(nèi)部局部工作原理圖。圖中，1.電接點(diǎn)壓力表，2.爐壓報(bào)警裝置，3.繼電器，4.副室提升電機(jī)，5.指針一， 6.指針二，7.指針三，8.外部線路，9.線圈一，10.磁鐵，11.保護(hù)電阻；另外，Kl為副室上限位開關(guān)、K2為副室下限位開關(guān)、K3為拉升腔提升/下降手動按鈕。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式
對本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說明。本發(fā)明的單晶爐副室提升操作的自動保護(hù)方法是，依據(jù)現(xiàn)用單晶爐的特點(diǎn)，在副室提升開關(guān)的行程開關(guān)上串聯(lián)一個電接點(diǎn)壓力表，該電接點(diǎn)壓力表的測量值為單晶爐副室的壓力值；電接點(diǎn)壓力表上設(shè)置一個稍低于大氣壓值的閾值，使得在實(shí)測爐壓小于這個閾值時，控制副室提升的線路一直處于斷開狀態(tài)，大于或等于這個閾值時，提升副室的操作才能被執(zhí)行。這樣的改進(jìn)可以使液態(tài)硅和外界完全保持隔離的狀態(tài)。如圖1，本發(fā)明副室提升開關(guān)的控制線路結(jié)構(gòu)是，包括電接點(diǎn)壓力表1，電接點(diǎn)壓力表1與副室上限位開關(guān)K1、副室下限位開關(guān)K2、繼電器3、爐壓報(bào)警裝置2、拉升腔提升/ 下降手動按鈕K3依次串聯(lián)，繼電器3另與副室提升電機(jī)4連接。電接點(diǎn)壓力表1用于測量及判斷副室爐壓，爐壓報(bào)警裝置2用于測量及判斷主室爐壓。本發(fā)明方法完全避免了誤提起副室的不當(dāng)操作，使設(shè)備更加人性化，更加安全；串聯(lián)的電接點(diǎn)壓力表能起到防呆的作用，使?fàn)t壓在未達(dá)到大氣壓的狀態(tài)下，開關(guān)線路一直處于斷開狀態(tài)。整體線路保留了報(bào)警裝置，在未做好準(zhǔn)備工作的條件下，誤提起副室的操作會引發(fā)警報(bào)，但實(shí)際上誤操作并不會被執(zhí)行。如圖2，本發(fā)明中的電接點(diǎn)壓力表1選用市場上通用的電接點(diǎn)壓力表，其技術(shù)參數(shù)是，接口為M20X1. 5 ；測量范圍為-0. 1 0. 3MPa。在現(xiàn)有的副室爐壓壓力表盤上分別設(shè)置指針一 5、指針二 6、指針三7，其中的指針一 5為壓力表正常的指針測量位置，所指示的為單晶爐副室的實(shí)際測量壓力值；指針二 6為綠色指針，指示值人為設(shè)定，當(dāng)實(shí)測值小于此指針指示值時，輸出線路閉合；指針三7為紅色指針，指示值人為設(shè)定，當(dāng)實(shí)測值大于此指針指示值時，輸出線路閉合。接通指針一和指針二表示實(shí)測壓力值(指針一所示指示值)在所有大于設(shè)定上限(指針二指示值，可調(diào))的區(qū)間內(nèi)，開關(guān)斷開；在所有小于設(shè)定上限的區(qū)間內(nèi)，開關(guān)閉合；接通指針一和指針三表示；實(shí)測壓力值在所有大于設(shè)定下限(指針三指示值，可調(diào))的區(qū)間內(nèi)，開關(guān)閉合；在所有小于設(shè)定下限的區(qū)間內(nèi)，開關(guān)斷開。利用指針一和指針三接通的方式，使實(shí)測壓力值在小于某一設(shè)定值的區(qū)間內(nèi)一直處于斷開狀態(tài)。本發(fā)明方法中的電接點(diǎn)壓力表控制實(shí)施例，如圖3所示
實(shí)現(xiàn)功能大于指針二 6所示壓力值(設(shè)定閾值)的區(qū)間內(nèi)接通，小于指針二 6所示壓力值的區(qū)間內(nèi)斷開；控制原理；指針一 5順時針轉(zhuǎn)動的過程中，指針一觸頭和指針二觸頭相接的瞬間， 電流從線圈一 9流過，線圈一 9產(chǎn)生的電磁會把磁鐵10吸向線圈一 9的方向，使指針一觸頭和指針二觸頭接觸，電流從并聯(lián)回路流過。即設(shè)定指針上的觸頭(上限或下限)和實(shí)測值指針上的觸頭相接觸的瞬時，使外部線路8中的電路得以斷開或接通。指針一逆時針轉(zhuǎn)動過程中，指針一觸頭和指針二觸頭接觸的瞬間，電流從另一線圈通過，利用電磁效應(yīng)使原有的通路斷開。至此完成一個區(qū)間內(nèi)的開關(guān)控制過程。電接點(diǎn)壓力表等同于一個高級的點(diǎn)觸式開關(guān)，實(shí)測壓力值的任何一個區(qū)間都只對應(yīng)著一種狀態(tài)(斷開或閉合)，一般的電接點(diǎn)壓力表有三個指針(三個指針觸頭)，磁助式裝置中有三個繼電器，可實(shí)現(xiàn)兩種功能第一個是實(shí)測壓力值在某一確定的區(qū)間內(nèi)，開關(guān)斷開；第二個是與上相反，實(shí)測壓力值在同一區(qū)間內(nèi)，開關(guān)閉合。本發(fā)明的方法完全避免了誤提起副室的不當(dāng)操作，使設(shè)備更加人性化，更加安全 1)串聯(lián)的電接點(diǎn)壓力表能起到防呆的作用，使?fàn)t壓在未達(dá)到大氣壓的狀態(tài)下，開關(guān)線路一直處于斷開狀態(tài)。2)整體線路保留了原有的報(bào)警裝置，在未做好準(zhǔn)備工作的條件下，誤提起副室的操作會引發(fā)警報(bào)，但實(shí)際上誤操作并不會被執(zhí)行。本發(fā)明方法的結(jié)構(gòu)獨(dú)特，成本低廉，改造簡單，使用方便，兼顧了單晶生長過程中各環(huán)節(jié)的不同要求；閾值可調(diào)；提高了設(shè)備的智能化程度，同時能適應(yīng)拉晶過程中不同的特殊環(huán)境，減少事故損失的同時又進(jìn)一步保障了一線員工的人身安全及設(shè)備安全。
權(quán)利要求
1.一種單晶爐副室提升操作的自動保護(hù)方法，其特征在于在副室提升開關(guān)的行程開關(guān)上串聯(lián)一個電接點(diǎn)壓力表，該電接點(diǎn)壓力表的測量值為單晶爐副室的壓力值；電接點(diǎn)壓力表上設(shè)置一個低于大氣壓值的閾值，使得在實(shí)測爐壓小于這個閾值時，控制副室提升的線路一直處于斷開狀態(tài)，大于或等于這個閾值時，提升副室的操作被執(zhí)行。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐副室提升操作的自動保護(hù)方法，其特征在于所述的副室提升開關(guān)的控制線路結(jié)構(gòu)是，包括電接點(diǎn)壓力表(1)，電接點(diǎn)壓力表⑴與副室上限位開關(guān)K1、副室下限位開關(guān)K2、繼電器(3)、爐壓報(bào)警裝置O)、拉升腔提升/下降手動按鈕K3 依次串聯(lián)，繼電器⑶另與副室提升電機(jī)⑷連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐副室提升操作的自動保護(hù)方法，其特征在于所述的電接點(diǎn)壓力表(1)的技術(shù)參數(shù)設(shè)置為，接口為M20X1. 5 ；測量范圍為-0. 1 0. 3MPa ；在電接點(diǎn)壓力表(1)的壓力表盤上分別設(shè)置指針一(5)、指針二(6)、指針三(7)，其中的指針一(5)為正常的指針測量位置，所指示的為單晶爐副室的實(shí)際測量壓力值；指針二 (6)的指示值人為設(shè)定，當(dāng)實(shí)測值小于此指針指示值時，輸出線路閉合；指針三(7)的指示值人為設(shè)定，當(dāng)實(shí)測值大于此指針指示值時，輸出線路閉合。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種單晶爐副室提升操作的自動保護(hù)方法，在副室提升開關(guān)的行程開關(guān)上串聯(lián)一個電接點(diǎn)壓力表，該電接點(diǎn)壓力表的測量值為單晶爐副室的壓力值；電接點(diǎn)壓力表上設(shè)置一個低于大氣壓值的閾值，使得在實(shí)測爐壓小于這個閾值時，控制副室提升的線路一直處于斷開狀態(tài)，大于或等于這個閾值時，提升副室的操作才能被執(zhí)行。本發(fā)明的方法，在副室提升開關(guān)線路上串聯(lián)一個電接點(diǎn)壓力表，使在副室爐壓未達(dá)到大氣壓的狀態(tài)下，無法提升副室，從而杜絕了由于誤提起副室而引發(fā)的生產(chǎn)事故，提高了生產(chǎn)設(shè)備的自動化程度和智能化程度，保證了一線員工的人身安全和設(shè)備安全。
文檔編號C30B15/20GK102242396SQ20111017091
公開日2011年11月16日 申請日期2011年6月23日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月23日
發(fā)明者劉立軍, 唐海亮, 陳海云 申請人:寧夏隆基硅材料有限公司, 無錫隆基硅材料有限公司, 西安隆基硅材料股份有限公司, 銀川隆基硅材料有限公司