專利名稱：壓電風(fēng)扇、包含其的冷卻裝置及冷卻微電子器件的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明么，的實施例^&涉及微電子器件的熱學(xué)管理,尤其涉絲電^卩 財習(xí)。
背景技術(shù)：
微電子器件在其運行期間會產(chǎn)生熱量，并且必須將此熱量安全消 散以改善可靠性和性能，并防止過早失效。 一種散熱方法是使空氣流 過溫度升高區(qū)域。該氣流將受熱的空氣從高溫區(qū)域帶走，并將其放置 在其效應(yīng)將不會成為問題的較冷區(qū)域，并吸入較冷空氣至高溫區(qū)域以 取代移走的受熱空氣。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的第一方面是一種壓電風(fēng)扇，其中包括壓電致動器片和與 所述壓電致動器片附連的葉片，其中所述葉片包括孔和與所述孔鄰近 的門，所述門通過容許所述門開閉的4交鏈附連于所述葉片?；蛘撸?amp;電風(fēng)扇中所述葉片具有長軸^^豆軸，并JI^斤述鉸漣實質(zhì) 上平行于所艦軸?；蛘?，所逸醫(yī)電見翁中所述孔是所述葉片中多個孔中的第一孔；所述 門是附連于所述葉片的多個門中的第一門；與所述第一門一樣，所述多個門中 的每個門均鄰近于所述多個孔中的一個孔；并且，與所述第一門一樣，所述多個門中的每個門通it^許所述門開閉的鉸鏈附連于所述葉片?；蛘撸荨觌婏L(fēng)扇中多個門的第一門用第一材料制成，并且多個門 的第二門用第^^Nt^'J成。
或者，所逸fi電風(fēng)扇中所述葉片具有鄰近于所逸壓電致動器片的基部 和與所ii^部相對的端部；所述第一孑L^所述第一門鄰近于所述端部，且多個 孔中沒有其它孑L且多個門中沒有其它門比所述第一3l4p所述第一門更鄰^;斤 述端部；并且，所述第一孔比多個孔中的其它孔大，并JL^斤述第一門比多個門 中的其它門大?；蛘?，所述壓電風(fēng)扇中所述葉片具有長4^^豆軸，并JL^斤述鉸鏈實質(zhì)上平行于所述長軸?；蛘?，所逸￡電風(fēng)扇中所述門具有第""^t， il》斤述鉸鏈具有第二長度；并Ji斤述第二M不超i^斤述第一M的三分之一?；蛘?，所駭電J^i中所述門用#^交制成?；蛘?，所逸醫(yī)電風(fēng)扇中所述門用織物制成。或者，所艇電K^中所述門用塑^"^成。本發(fā)明的第二方面是一種^H卩裝置，其中包括具有基部以;^y^斤ii^部 伸出的多個翅片的熱^^壓電Ki，其中所iiH電K^包括壓電致動器片； 以及附連于所逸醫(yī)電致動器片的多個葉片，所述多個葉片中的每個葉片包括 孑"以及與所述孑L4卩近的門，所述門通it^許所述門開閉的鉸鏈附連于多個葉 片中的一個葉片，并JL^斤述多個翅片和多個葉片以&t匕交替的關(guān)系設(shè)置。或者，所述^P裝置中所述多個葉片中的每個葉片具有長4財口短軸； 并JL^斤述鉸鏈中的每^4交鏈實質(zhì)上平行于所i^豆軸?；蛘?，所述^P裝置中所述孔是多個葉片中的每個葉片中的多個孔中 的第一孔；所述門^ft連于多個葉片中的每個葉片的多個門中的第一門；與所 述第一門一樣，多個門中的每個門鄰近于多個孔中的一個孔；并且，與所述第 一門一樣，多個門中的每個門通it^許所述門開閉的鉸鏈附連于多個葉片中的 一個葉片。或者，所述^HP裝置中每個葉片中的所述第一門用第一材 '成；并 且每個葉片中的多個門中的第二門用第_=^#鐘成?；蛘?，所迷^HP裝置中所述多個葉片中的每個葉片具有長4^^豆軸； 并廁述鉸鏈實質(zhì)上平行于所述長軸
或者，所述^Hp裝置中所述門用一種從由才刻交、織物及塑灃衫且成的組 中選出的材料制成。本發(fā)明的第三方面是一種^卩微電子器件的方法，所述方法包^(o下步驟提供壓電風(fēng)扇，其中包括壓電致動器片和附連于所述壓電致動器片的葉 片，其中所述葉片包含30與所述3L^近的門，并JL^斤述門通ii^許所述門開 閉的鉸鏈附連于所述葉片；將所述壓電風(fēng)扇鄰i^斤述微電子器件^H殳置；以及 以這樣的方式#^所述壓電風(fēng)扇，即當(dāng)所述葉片沿第一方向移動時門打開，當(dāng) 所述葉片沿第二方向移動時門關(guān)閉?；蛘?，所述方法中^ft所述壓電風(fēng)扇的步驟包含在^^振頻率上驅(qū)動 所述葉片?；蛘?，所#法中還包拾調(diào)整所述葉片以^^斤述葉片的共振頻,氐于 100驗。或者，所i^r法中調(diào)整所述葉片的步驟包含選取用以制造門的材料。


通iti吉合附圖閱讀下面的詳細(xì)描述將更好;4^解所公開的實施例，附圖中圖1是沖財居本發(fā)明一實施例的壓電風(fēng)扇的平面圖； 圖2是沖艮據(jù)本發(fā)明另一實施例的壓電風(fēng)扇的平面圖； 圖3是才財居本發(fā)明一實施例的包含壓電風(fēng)扇的^Hp裝置的j^見圖； 圖4是說明才財居本發(fā)明一實施例的微電子器件^卩方法的力好呈圖； 圖5是才財居本發(fā)明一實施例的才^t圖1的壓電K^的順抖見圖；以及 圖6是根據(jù)本發(fā)明一實施例的才,圖2的壓電風(fēng)扇的#好見圖。 為了簡單并清楚地說明，附圖示出了結(jié)構(gòu)的主^#式，并省略了;0^斤周知 的4衫i^技術(shù)的描i^M田節(jié)，以i^無謂i^樹本發(fā)明描述的實施例的討論模 糊不清。jtM卜，沒有必要按尺寸斜'J附圖中的要素。例如，可以相對于其它要 素而夸^^i丈大圖中一些要素的尺寸，以幫助增加對本發(fā)明實施例的理解。不
同圖中的相同附圖標(biāo)ie^^示相同要素。^i兌明書和權(quán)矛虔求中出現(xiàn)'第一"、"第二"、"第三"、"第四"等等用語， 則賴于相似要素之間的區(qū)別，并不必然用于描述特別ili賣或按時間排列的順 序。應(yīng)當(dāng)，，在合適環(huán)嫂下，這才ff躺的術(shù)語A^可以互4灸的，以致文中描述 的本發(fā)明實施例能夠以與在》M笛絲說明的那些順序不同的順序才辨。劐以 地，如狄中描述的一種方法包^-"系列步驟，^匕出現(xiàn)的這些步驟的順序不 一^i^亍這些步驟的唯一順序，并且某些才是到的步驟可忽略和/或可將沒有 ^bl笛述的某些其它步^^入該方法中。jtk^卜，術(shù)浯"包含"、"包括，、"具f 及其任意變形，用來涵蓋非4剕也性的包含，這樣包t系列要素的一種過程、 方法、物件或裝置不一定僅限制于那些要素，而是可包^^殳有特別列出的或這 些過程、方法、物件或裝置所固有的其它要素。^i兌明書和權(quán)禾'j^求中出現(xiàn)'左"、"右"、"前，、"后"、"頂"、"底"、"上"、 "下"等等用語，則^Jf)于描述的目的，并不一^JI]于描述固定的相對位置。應(yīng) 當(dāng)，，在合適環(huán)嫂下，il才ff^的^y吾^:可以互^:的，以致^tU笛述的本發(fā) 明實施例能夠以與ilE示意或描述的方位不同的其它方^i^ftl^t。如文中使 用的術(shù)語"壽^^"，定義為以電或非電方式進(jìn)^^j直接或間接附連。文中描述的 ;fct匕"鄰近"的物體可以是^Dt匕物理接觸、^j^艮接iiiUi^匕大^^目同區(qū);絲 地方，這與^JI]此短語的上下文相適應(yīng)。文中出現(xiàn)的用語"在一個實施例中" 不'義一定輛旨同 一實施例。異體實施方式在本發(fā)明 一 個實施例中，壓電風(fēng)扇包含壓電致動器片以及附連于 該壓電致動器片的葉片。葉片上有孔，并且有一門鄰近于該孔并固定 于該葉片(如用鉸鏈)，以致該門能夠開閉。壓電風(fēng)扇通過將所 口的電場轉(zhuǎn)換為固定于葉片的壓電材料中的應(yīng)力或 應(yīng)變來產(chǎn)生氣流。壓電材料中的應(yīng)變產(chǎn)生使葉片移動一個振幅的偏轉(zhuǎn)，該振幅 取決于所 口電場的頻率和電壓。此動作在傳統(tǒng)壓電風(fēng)扇中^^產(chǎn)^部^走渦， 從而導(dǎo)致鄰i^K^葉片處的空^4循環(huán)，因此限制了贈^P潛力。這樣的局
部旋》^^多動空氣中奪取能量禾^力，因此影響了j^i效率。本發(fā)明的一些實 施例可減少或消除了該氣a^循環(huán)，并能夠因j^曾加凈空氣^it，得到更好的 ;Op性能。本發(fā)明的一些實施例在小尺寸裝置中具有特殊價值，因為這些實施例提供了在需要時去除系纟AM扇的可能性。J脈參看圖，圖1是根據(jù)本發(fā)明一實施例的壓電K^ 100的#^見圖。如圖 1所示，壓電風(fēng)扇100包含壓電致動器片110以及附連于壓電致動器片110并 包含孔121和與孔121鄰近的門122的葉片120。門122通it^i午門122開閉 的鉸鏈123附連于葉片120。葉片120具有長軸125 ^^豆軸126。如在圖1中 所見，鉸鏈123的最狄寸鉢上平行于短軸126。在一個實施例中，葉片120包含多個孔，其中包括孔121，每個孔與其自 己的門關(guān)聯(lián)并鄰近，該門與葉片120附連。這些門中的每個，如門122，用容 許門開閉的鉸鏈附連于葉片120。在圖示的實施例中，葉片120還^i封立于孔 121附近的孔127以艦過鉸鏈129附連于葉片120的門128。作為"H列，孑L 127、門128 ^H交鏈129可分別與孔121 、門122和鉸鏈123 #(以。圖1示出了門122和128處于打開^f立置，就像它們直#^申出紙面朝向觀察 者。因此，只有它們的前端是可見的。注意，門122和128分別比孔121和 127大，這樣門不能穿過孔。錄圖1中通iiit樣的事實示出，門122和128 (沿著鉸鏈123和129) 3乏伸而^it孔121和127周邊，即門比孔寬。門122 和128也可比孑L長，盡管這不育a艮據(jù)，膝圖1來確定，或者，在未圖示的實施 例中，門122和128可比孔121和127長但不比孔121和127寬。才財^-個實施例，門122用第一才杉4^成，而門128由不同材料制成。在 至少一個實施例中，門122和128可以##——比葉片120薄。葉片120頻率 可通iiit擇具有特殊密度、質(zhì)量和其它十錄的門122和128材料來調(diào)節(jié)。用由 不同材^14']成的門可使葉片120能夠#>工 *振頻剩氐于100赫茲，這 是"HM氐于該值將聽不到葉片振動的近似閾值。在另 一不同的可能不需要這種 頻率調(diào)節(jié)的實施例中，門122和128均可用相同或相合對才料制成。作為示例， 一個或多個門122和128(或其它未示出的)可由槔膠、織物、 塑料或類合:U杉十制成。槔月交材^P^是供寬范圍的尺寸、質(zhì)地、厚度、硬度及其
它棒性。才^交還具有非常高的彈對莫量并因此使門具有^^振頻率，并具有上面描述的附帶優(yōu)點。如果^JU塑料，在一個實施例中它可以比葉片120薄。無 iW頓什么材料，4^當(dāng)^;蓴?shù)摹⑤p的并具柔韋刃性，這樣不需要在最小重量 上增加多少就可以隨羞葉片120而彎曲。如果像門122 (和/或門128)那樣用塑泮轉(zhuǎn)'J作葉片120,那么可以通過筒 單溶劑津i^工藝來形成鉸鏈123 (和/或鉸鏈129)，在溶劑津i^工藝中葉片和 門的表面""^]溶劑^并被按壓。當(dāng)溶劑蒸發(fā)時，這兩部分固化并^"H^ 而用作鉸鏈。也tU:說，溶劑津^^工藝將門122(和/或門128)附連于葉片120， 并且門一端的重疊區(qū)域?qū)7鉸漣123 (和/或鉸鏈129)。如果葉片是金屬的， 仍可用織物或塑料#成門，但是可能需要用膠或其它粘結(jié)劑來附連(因為金 屬不,于溶劑中)。仍參看圖1，葉片120具有鄰近壓電致動器片110的基部131以及與基部 131相對的端部132。孑L 127以及門128禾4交鏈129均鄰近于端部132，并且 比葉片120的^f可其它孑L^門更接近于端部132。孑U27和門128也比葉片120 的其它的門孔大。其原因是它比葉片120其它部^f多動得更決，因為它必須在 給定的時間段內(nèi)端部132移動更大的距離。因為與更l^4移動的端部132臨近， 門128因葉片120的運動而經(jīng)受tbi&離端部132的其它門更大的力，并且該更 大的力足以關(guān)閉更大(且更重)的門。圖2是根據(jù)本發(fā)明一實施例的壓電Ki 200的平面圖。如圖2中示出的，葉片220包含孔221和鄰近于孔221的門222。門222比孔221大(例如更寬 和/或更長)，這^^4"孔221在圖2 (但是，以相關(guān)數(shù)字g頭顯示出它的存 在)中絲不到的。雖然只有種門被示出，但是未示出的實施例可具有不止 一個門?？臻g限制、制造細(xì)節(jié)以及其它因素將限制可^J ]的門的數(shù)量。門222通it^i午門222開閉的鉸鏈223附連于葉片220。作為一例，壓電 致動器片210、葉片220、孔221和門222可分別與圖1中示出的所有壓電致 動器片110、葉片120、孑L121和門122勒以。在某些方面，鉸鏈223也可與 圖1中示出的鉸鏈123刻以，但是，至少一些實施例可能會有某些區(qū)另'J, ^4目乂十于Ki葉片的方位，下面對此更全面描述。葉片220具有長軸225 ^^豆軸226。如在圖2中可見，鉸鏈223的最狄 寸J^^上平行于長軸225。鉸鏈223的這種方位^^木著門222從葉片220 向另-^贈罷動(而不是如壓電Ki 100的門122那樣從一端到另一端(即/4 部到端部iU^部到基部)的擺動)。在一些實施例中，壓電風(fēng)扇200還包含額外的鉸鏈224,其與4史鏈223 — 起將門222附彭ij葉片220。在^ft不同的實施例采用一個或多^l交鏈223和 224,并將它們沿著門222^i在4^位置，無論是位于圖2所示鉸鏈223處 或其附近的門222的中心，還是朝向位于圖2所示鉸鏈224處或其附近的門 222的端部，或位于一些其它位置(如在孔221另一側(cè)上)。在圖示的實施例中，門222具有第一長變，并且鉸鏈223具有不超過第一 M的三分之一的第二長復(fù)，而在一些例中更短。這樣的一個原因是因為圖2 結(jié)構(gòu)中的簧片(spring)長變易使葉片220變得剛石更，由于在其運動期間它們 與葉片120的彎曲方向一致，更長的簧片可增Wb^。因此，對于壓電J^i 200的至少一些實施例中(或4財居本發(fā)明其它實施例的其它壓電風(fēng)扇)，可優(yōu) 選采用^M的簧片。圖3是根據(jù)本發(fā)明一實施例的包含壓電J^i的;4^P裝置300的正視圖。如 在圖3中示出的，^P裝置300包含具有基部302以A^&部302伸出的多個 翅片303的熱沉301 。 ^P裝置300還包含壓電風(fēng)扇305,壓電風(fēng)扇包含與多 個葉片320附連的壓電致動器片310。(應(yīng)當(dāng)麟，盡管壓電K^ 305包含多 個風(fēng)扇葉片，本發(fā)明其它實施例，例如包括圖l和圖2所示的那些實施例，可 具有或不具有多^t片。在一些實施例中，這樣的K^可只示出4^葉片。)鄰近于致動器片310的頸部340 iU在葉片320和壓電致動器片310之 間。每個葉片320與圖1中示出的葉片120相似。因此，每個葉片320包含孔 以及鄰近于該孔的門，并且門用容許門開閉的鉸鏈附連于葉片。圖3中沒有示 出葉片320的孑L、門禾4交鏈，但是它們與圖1中示出的所有孔121、門122和 鉸鏈123相似。如在圖3中可看出的，多個翅片303和多個葉片320以&):匕交 替的關(guān)系設(shè)置。 從圖3的視角看，多個葉片320的運動#^是^^^禾—多出紙面。在一未圖 示的實施例中，可使相鄰的K^葉片以這樣方式振動，即使得葉片《&匕離開之 后又l^匕靠攏，這樣當(dāng)它們^DtU妻近時空氣'l";fei^/人它們之間壓出。圖4是說明才財居本發(fā)明一個實施例的^i卩微電子器件的方法400的沭uf呈 圖。方法400的步驟410是提供包含壓電致動器片以及附連于壓電致動器片的 葉片的壓電風(fēng)扇，其中葉片包含孔以及鄰近于孔的門，并且門用容i午門開閉的 鉸鏈附連于葉片。作為^^列，壓電致動器片、葉片、孑L、門禾4交鏈可分別與圖 1中示出的壓電致動器片110、葉片120、孑U21、門122禾4交鏈123相似。"附近"^^木著充分接近而足以影響微電子器件的溫度。方法400的步驟430是以這樣的方式才^ft壓電風(fēng)扇，即當(dāng)葉片沿第一方向 移動時門打開，當(dāng)葉片沿第二方向移動時門關(guān)閉。在一個實施例中，步驟430 包含以^"振頻率驅(qū)動葉片。當(dāng)風(fēng)扇在一個方向時開門而在另一方向移動時不 開門，這樣斷氐了被拉回到葉片附近的空氣量，因j^曾加了從葉片移走的熱空 氣量，結(jié)果，增強了^H卩性能。方法400的步驟440是才辦葉片使共振頻剩氐于100赫茲。在一個實施 例中，步驟440包^4取制造門的材料，該材料是一種當(dāng)與葉片的其它才杉^吉 合時將產(chǎn)生所要求值的共振頻率的材料。圖5是4財居本發(fā)明一實施例的才辨壓電KJ 100的個訴見圖。如圖5中示出 的，在時間H)時，葉片120是靜止的并且平行于壓電致動器片110。重力將 門122和128 ^#&于著葉片120的位置，這樣它們各自M孔121和127(在 圖5中均不可見)。在時間T!時，葉片120響應(yīng)來自壓電致動器片110的激勵 而向下4罷動，并使門122和128因4罷動而打開，這樣容i午空氣^^孔121和 127。在時間T2時，葉片120開始p向應(yīng)來自壓電致動器片IIO的激勵而向上擺 動，^H吏門122和128對著葉片120擺動而閉合，于是關(guān)閉孔121和127。為了更清lte見，時間1\時的門122和128以及鉸鏈123和129的扭曲 被夸大。應(yīng)當(dāng)麟，如果葉片120的運動是從""^則到另"H則，那么來自門122 和128的刻以響應(yīng)##"_^。 4i^說，當(dāng)葉片在門的相反側(cè)(圖5中的下側(cè)) 方向移動時門將擺動而打開，當(dāng)葉片在設(shè)有門的-^則(圖5中的上側(cè))方向移 動時門將因擺動而閉合。圖6是才財居本發(fā)明一實施例的才^t壓電J5(li 200的煩抖見圖。如圖6中示出， 在時間H)時，葉片220是靜止的并且平行于壓電致動器片210。重力使門222 ##^ 于著葉片220的位置，這樣它M孔221 (孑W圖6中不可見)。在時 間T\時，葉片220 p向應(yīng)來自壓電致動器片210的i&^力而向下擺動，^ff吏門222 擺動而打開這樣容i午空氣;j^、孔221。為了更清^見，在時間1\時門222 以及鉸鏈223和224的扭曲被夸大。在另一些實施例中，門222以及鉸鏈223 和224可以不被扭曲，而代之以葉片220被扭曲。在又一些實施例中，在才辦 壓電風(fēng)扇期間，門、4交^^十片均可^皮一定考呈yt:ttUa曲。在時間丁2時，葉片220響應(yīng)來自壓電致動器片210的激勵而開始向上擺 動，^H吏門222對著葉片220擺動而閉合，于是將孔221關(guān)閉。應(yīng)當(dāng)J辦，如 果葉片220的運動是從^f貝倒另^^則，那么#^處來自門222的類似響應(yīng)。 ""^^L說，當(dāng)葉片在門的相反側(cè)(圖6中的下側(cè))方向移動時門將擺動開，而 當(dāng)葉片在設(shè)有門的~ (圖6中的上側(cè))方向移動時門將擺動而閉合。雖然已經(jīng)根據(jù)M實施例描迷了本發(fā)明，但是本領(lǐng)域技^A員應(yīng)JI^,在 不脫離本發(fā)明銜申或范圍的情況下可進(jìn)行樹變形。因此，本發(fā)明7^開的實施 例^I于說明本發(fā)明的范圍，并不是用于P艮制本發(fā)明范圍。本發(fā)明的范圍應(yīng)當(dāng) 僅由附加權(quán)矛J^求所要求限定。顯然，對于本領(lǐng)域技扯員來說，^匕討^r^ 壓電風(fēng)扇以及相關(guān)方法可以通過^t實施例進(jìn)行實施，并且前文討i^々某些這些實施例不必^C4^所有可能實施例的完整描述。jtW卜，以上結(jié)合M實施例描述了M、其它優(yōu)點以及問題的解決方法。 這些M、優(yōu)點、問題的解決方法以及可使4封可益處、優(yōu)點或解決方法顯JM 變得更加明顯的^""要素或多個要素，不能解釋為任一或所有權(quán)利要求的關(guān) 鍵、必需、實質(zhì)性的特^il要素。而且，若這里公開的實施例和/或限定(1)未在權(quán)利要求中明確 主張，并且(2)是或可能是根據(jù)等同原則的權(quán)利要求內(nèi)的表述要素和 /或限定的等同物，則這些實施例或限定不在奉獻(xiàn)原則下奉獻(xiàn)給^^眾。
權(quán)利要求
1、一種壓電風(fēng)扇，包括壓電致動器片；以及與所述壓電致動器片附連的葉片，其中所述葉片包括孔；以及與所述孔鄰近的門，所述門用容許所述門開閉的鉸鏈附連于所述葉片。
2、 權(quán)利要求l的壓電KJ，其中 所述葉片具有長軸和短軸；并且 所述鉸鏈實質(zhì)上平行于所艦軸。
3、 權(quán)矛J^求2的壓電風(fēng)扇，其中 所述孔是所述葉片中多個孔中的第一孔； 所述門是附連于所述葉片的多個門中的第一門；與所述第一門一樣，所述多個門中的每個門均鄰近于所述多個孔中的一 個孔；并且與所述第一門一樣，所述多個門中的每個門用容許所述門開閉的鉸鏈附 連于所述葉片。
4、 權(quán)利要求3的壓電Ki，其中 多個門中的第一門用第一材^^成；并且 多個門中的第二門用第二浙并鐘j成。
5、 權(quán)禾'j^求3的壓電風(fēng)扇，其中所述葉片具有鄰近于所述壓電致動器片的基部和與所述基部相對的端部；所述第一孑L^所述第一門鄰近于所述端部，且多個孔中無其它孑LJL多個 門中無其它門比所述第一^^所述第一門更鄰i^斤^部；并且所述第一孔比多個孔中的其它孔大，并JL^斤述第一門比多個門中的其它門大。
6、 權(quán)利要求1的壓電Ki，其中 所述葉片具有長軸鄉(xiāng)軸；并且 所述鉸鏈實質(zhì)上平行于所述長軸。
7、 權(quán)利要求6的壓電K^，其中 所述門具有第一 ， _§^斤述鉸鏈具有第二 ;并且 所述第二M不超麟述第一M的三分之一。
8、 權(quán)利要求l的壓電J5lLi，其中 所述門用#1交制成。
9、 權(quán)利要求l的壓電風(fēng)扇，其中 所述門用織物制成。
10、 權(quán)利要求l的壓電風(fēng)扇，其中 所述門用塑^^成。
11、 一種轉(zhuǎn)裝置，緣具有基部以及乂A^斤ii^部伸出的多個翅片的熱沉；以及壓電風(fēng)扇，其中所it^電J5dJ包括壓電致動器片；以及 附連于所逸醫(yī)電致動器片的多個葉片， 所述多個葉片中的每^十片^舌 孑L;以及與所述3L4p近的門， 所述門用容許所述門開閉的鉸鏈附連于多個葉片中的一個葉片，并所述多*片和多個葉片以招Dt匕交替的關(guān)系設(shè)置。
12、權(quán)利要求11的科P裝置，其中 所述多—十片中的每個葉片具有長4^M豆軸；并且 所述鉸鏈中的每^4交鏈實質(zhì)上平行于所i^豆軸。
13、 權(quán)矛虔求11的;"P裝置，其中 所述孔是多個葉片中的每個葉片中的多個孔中的第一孔； 所述門^H十連于多個葉片中的每個葉片的多個門中的第一門； 與所述第一門一樣，多個門中的每個門鄰近于多個孔中的一個孔；并且 與所述第一門一樣，多個門中的每個門用容許所述門開閉的鉸鏈附連于多個葉片中的一個葉片。
14、 權(quán)矛j^求13的^H卩裝置，其中 每個葉片中的所述第一門用第一材并傳J成；并且 每個葉片中的多個門中的第二門用第>^杉#1)成。
15、 權(quán)利要求11的;4^P裝置，其中 所述多個葉片中的每個葉片具有長4財口短軸；并且 所述鉸鏈實質(zhì)上平行于所述長軸。
16、 權(quán)矛]^求11的^P裝置，其中所述門用一種從由才^交、織物及塑并衫賦的組中選出的材^^成。
17、 一種~時敬電子器4牛的方法，所述方法包fe^下步驟 提供壓電Ki,其中包拾壓電致動器片；以及附連于所逸￡電致動器片的葉片，其中所迷葉片包^sjL^與所述孔 鄰近的門，并ili斤述門用容許所述門開閉的鉸鏈附連于所述葉片，將所述壓電風(fēng)扇鄰近所述微電子器件而設(shè)置；以及以這樣的方式l^t所逸醫(yī)電風(fēng)扇，即當(dāng)所述葉片沿第一方向移動時門打 開，當(dāng)所述葉片沿第二方向移動時門關(guān)閉。
18、 權(quán)利要求17的方法，其中才,所i^電K^的步驟包含在M振頻率上驅(qū)動所述葉片。
19、 4又矛J^"求18的方法，還包fe 調(diào)整所述葉片以佳所述葉片的共振頻剩氐于100顛滋。
20、 權(quán)利要求19的方法，其中調(diào)整所述葉片的步驟包含選取用以制造門的材料。
全文摘要
本發(fā)明公開“壓電風(fēng)扇、包含其的冷卻裝置及冷卻微電子器件的方法”。壓電風(fēng)扇包含壓電致動器片(110，210，310)以及附連于該壓電致動器片的葉片(120，220，320)。葉片具有孔(121，127，221)，鄰近于該孔設(shè)有門(122，128，222)，門附連于葉片(如通過鉸鏈(123，129，223))以使門能夠開閉。
文檔編號H05K7/20GK101398015SQ20081017690
公開日2009年4月1日 申請日期2008年9月27日 優(yōu)先權(quán)日2007年9月27日
發(fā)明者G·M·克里斯勒, I·紹丘克 申請人:英特爾公司