專利名稱：等離子噴涂設(shè)備及方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種借助高頻率電磁場為大體積零件進行等離子噴涂的設(shè) 備和方法。
背景技術(shù)：
零件表面曝露在等離子中，選擇不同的等離子參數(shù)時(如壓力、溫度和 等離子成分)，零件表面的功能和特性將被影響并有所不同。該項技術(shù)可使 任何材料表面的加工、改良或噴涂的工藝變得簡單易行，在該項工藝中等離 子的粒子流和能量流都被利用。此外還有其它工藝，如等離子噴涂、電弧等離子融化、等離子熱加工工藝、等離子-CVD工藝和等離子清潔等。零件表 面的功能的改變是通過等離子粒子的侵入作用所引起的。它能通過具有一定 的化學(xué)性質(zhì)的粒子相互作用或通過等離子束來實現(xiàn)。在對零件進行等離子噴 涂的工藝過程中，涂層材料通過蒸汽狀態(tài)或氣體形態(tài)的能源輸送且在零件表 面上從蒸汽或氣體形態(tài)中分離。等離子的產(chǎn)生需要使用等離子噴槍。經(jīng)電弧等離子噴槍，氣流通過電弧 被電離且被加熱到10000K至20000K。經(jīng)高頻等離子噴槍，氣流通過在圓柱 體線圈上產(chǎn)生的高頻電磁場被電離。在圓柱形的由絕緣材料制成的放電容器 內(nèi)產(chǎn)生密集的帶有高能量密度的等離子。這里等離子溫度也能夠達到 20000K。上面所描述的熱等離子適用于加工抗高溫的零件表面。對于塑料零件或 已經(jīng)噴漆的零件(其最高只可承受溫度100-200。C)來說這種方法并不適用。這樣的等離子加工雖然適用于小型零件，但不適用于大型零件。因為這 時等離子只形成在相當(dāng)有限的區(qū)域內(nèi)而不能覆蓋零件整個表面。對于大型零 件的整個表面的等離子加工來說，等離子束必須覆蓋整個零件區(qū)域。對如汽 車車身這樣的零件加工來說，它意味著長工時和高費用。產(chǎn)生能量密度小、稀薄的等離子同樣要使用高頻振蕩器。其頻率范圍在 幾百千赫到幾十千兆赫之間。這種等離子常在電極或天線的表面產(chǎn)生并在空 間發(fā)散。涂層材料通過所謂鍍膜靶的鍍膜來吸取或者在物理氣相沉積(簡稱 PVD)的過程中蒸發(fā)，接著在零件上析出。這種方式的缺點是，等離子的成 份和溫度隨等離子噴槍距離的變大而變化。因此零件整個表面均勻涂層的析 出變得很困難。除此之外這個工藝只能用于有限的涂層材料。PVD工藝用于大型零件整個表面的等離子處理，它的缺點是平均的自由路徑長度必須足夠大且真空室的壓力必須非常小。這是因為與零件大小相關(guān) 的真空室尺寸與高技術(shù)要求和成本緊密相關(guān)。因此這種工藝不適用于切割、焊接、空腔和背切等用于汽車車身生產(chǎn)的 工藝上。超出等離子源的零件表面無法形成均勻的等離子涂層。位于等離子 源附近的表面上由于高的傾斜度無法保證處理均勻。這種問題也會出現(xiàn)在所 有以輻射工藝為主的處理過程中。發(fā)明內(nèi)容與此形成對照，根據(jù)權(quán)利要求1中描述的相關(guān)設(shè)備發(fā)明和根據(jù)權(quán)利要求15中描述的相關(guān)方法發(fā)明具有以下優(yōu)點使大型零件整體表面實現(xiàn)均勻有效 的等離子處理且提供均勻的涂層。處理和噴涂不僅包括外表面也包括內(nèi)表 面。切割、焊接、空腔和背切都可以處理?？商幚淼姆秶€涉及到由多種元 件組成的特定零件。相應(yīng)設(shè)備和方法發(fā)明可用于任意大小的零件。它特別適用于大型的零件 如汽車車身、飛機和機械部件(這里只列舉幾個例子)的處理。先決條件是真 空室足夠大且輸送設(shè)備要能滿足輸送這類零件的要求。
零件在等離子噴涂前被置于噴涂真空室中。然后零件接入具有高頻振蕩 器的振蕩電路。振蕩電路單極或雙極與零件相連。在第一種情況下第二極應(yīng) 接地。由此零件成為振蕩電路的一部分。高頻交流電流通過零件。零件的電 感和電容因此影響振蕩電路的電感和電容。為了確保在零件上電功率最優(yōu)化 耦合，由被加工的零件和它自身的電容和電感組成的振蕩電路要非常匹配，-' 這將通過振蕩電路的電容和電感的變化來實現(xiàn)。振蕩電路的電容和電感的調(diào) 節(jié)可以手動，也可以自動。在自動調(diào)節(jié)時首先調(diào)節(jié)零件的電容和電感。振蕩 電路的電容和電感的變化影響頻率。 一旦參數(shù)被調(diào)定使零件表面等離子呈》然 燒狀態(tài)，附加的與真空室相連的等離子噴槍點火，涂層材料通過等離子束導(dǎo) 入。包含涂層材料的等離子束緊接著擴展到真空室且與等離子在零件周圍相 互作用，同時在零件整個表面上析出來自涂層材料的均勻涂層。根據(jù)零件的大小、形狀、數(shù)量的不同，可以在真空室中安裝一個或者多 個等離子噴槍。為此在真空室上可以設(shè)置若干開口以便安裝等離子噴槍。這 些開口在不使用時可以用法蘭封閉起來。所發(fā)明的設(shè)備和方法可以用于零件的多種處理。通過等離子粒子的化學(xué) 作用在等離子噴涂之前對零件表面做化學(xué)處理。通過等離子束能夠影響和改 變零件表面的物理特征。紫外線-噴漆的交互可算作是一種應(yīng)用。通過零件 表面的放電，可使零件表面產(chǎn)生電效應(yīng)，可利用其進行加工。由于電極排列的不同，零件電極的間隔無法被調(diào)整。等離子通過渦流在 零件表面形成。流過零件的交變電流產(chǎn)生振蕩磁場(其傳播依賴于零件在其環(huán)境中的幾 何特性)。隨時間變化的磁場導(dǎo)致電場，該電場對在零件周圍生成和維持等 離子起主要作用。因振蕩電路而在零件表面產(chǎn)生的等離子的能量密度比較低。與此相關(guān)的 溫度本身通常不夠，而無法使涂層材料氣化。輔助的等離子噴槍則負(fù)責(zé)使任
一涂層材料氣化或者呈氣態(tài)以供隨時使用。材料能否被作為涂層材料使用不 取決于沸點溫度而是取決于在輔助的等離子噴槍中的能量密度。例如使用二 氧化鈦、鈦-氫-醚丁氧化物、陶瓷、氯化鋯或氯氧化物的涂層材料。涂層材 料在固態(tài)、液態(tài)或氣態(tài)下由輸送裝置導(dǎo)入到等離子噴槍的等離子中。同時涂 層材料以單質(zhì)的形式或以化學(xué)結(jié)合方式與其他材料結(jié)合存在。固體涂層材料 也可以以溶解的形式存在。這里需要留意可能的涂層材料光譜的額外擴展。輔助的等離子噴槍優(yōu)選為具有陰極和陽極的電弧等離子噴槍。在電弧等 離子噴槍中，工作氣體首先被加熱到一個非常高的溫度。緊接著涂層材料與 在陰極和陽極之間點燃的等離子混合在一起。同時根據(jù)不同涂層的化學(xué)要求 調(diào)整等離子噴槍中符合上述化學(xué)要求所需的溫度和壓力。這些可以通過比如 選擇氣流、直流電功率和等離子噴槍中適宜的氣體通道的結(jié)構(gòu)來實現(xiàn)。在等離子噴槍的輻射核心，其溫度可以達10000至20000K。本發(fā)明的優(yōu)點在于在真空室中運送零件的輸送裝置有一個或多個軌道 和驅(qū)動裝置。這樣軌道很容易與零件相匹配。為了使零件與真空室絕緣，在 軌道上或者在軌道范圍內(nèi)應(yīng)有絕緣設(shè)計。本發(fā)明的另一個優(yōu)點在于振蕩電路的高頻導(dǎo)線。真空室有為高頻執(zhí)行器 設(shè)計的電絕緣輸送器。本發(fā)明的優(yōu)點還在于在真空室中設(shè)計了金屬板、管和/或隔柵。零件形 成了一個天線，在真空室的空間中接收發(fā)射的電磁波。這種作用在零件周圍 空間可通過更多的類似天線的原理得到增強。此外板或隔柵為金屬制。螺旋 狀的管(如銅制管)也可以起相同作用。在這個部分，電磁波耦合且在與零件 有一確定距離時產(chǎn)生額外的等離子。用這種方式，等離子束在零件方向上可 以得到控制。本發(fā)明的優(yōu)點還在于電弧等離子噴槍對不同涂層材料的混合有多個擴 張等級。每個擴張段都有一個輸送裝置，用于將氣態(tài)、液體和/或粉末導(dǎo)入到 等離子中。不同擴張段均沿等離子束的方向逐級布置。同時不同擴張段的橫 斷面可以不同。更為優(yōu)選地是，橫斷面隨著擴張段沿輻射方向增大。也可以 通過選擇合適的擴張比以達到具有涂層材料的等離子能夠在真空室內(nèi)流動 但不會流向等離子噴槍陰極方向的目的。等離子束在真空室中離開等離子噴 槍擴散時，在它與零件上的等離子相互作用之前冷卻。本發(fā)明的另一優(yōu)點是，在流動方向上混合室緊鄰擴張段。在混合室中通 過等離子束渦流達到均勻攪拌不同的涂層材料的目的。同時等離子噴槍與混合室組成一個雙拉伐爾噴嘴(Laval)。混合室的橫斷面先縮小以便接下來在流 動方向上可以再擴大然后重新縮小。本發(fā)明的優(yōu)點還有，混合室作為陽極使用或置于與陽極等同的位能上。 由此在等離子噴槍內(nèi)的溫度能夠保持較高值。此外，用這種方法使得在等離 子噴槍內(nèi)的化學(xué)反應(yīng)也可得到控制。本發(fā)明的優(yōu)點還有，在真空室中提供工作氣體。由此可以提高真空室中 的壓力。比如壓力可以達到1000Pa。工作氣體與零件表面產(chǎn)生化學(xué)作用。不 同氣體可以根據(jù)要求作為工作氣體使用。本發(fā)明的另一優(yōu)點是，輔助液體被蒸發(fā)且通過閥門送到真空室中。這種 蒸汽履行工作氣體的職責(zé)。本發(fā)明的優(yōu)點還有，可通過高頻振蕩器在振蕩電路上輸入從0.1到 lOMHz的交變電壓，尤其是在1到4MHz之間的交變電壓。本發(fā)明的另一優(yōu)點是，真空室在0.05至1000Pa之間的壓力下能被抽成 真空。不同于已公知的技術(shù)，此時的工作壓力可根據(jù)需要提高到數(shù)十毫帕。 為此還可提供另一種機構(gòu)，該機構(gòu)控制與被加工零件表面相互作用的粒子的本發(fā)明的其他優(yōu)點會在下面的附圖和權(quán)利要求的說明中提到。


圖中描述了所發(fā)明的等離子噴涂設(shè)備構(gòu)造實例，以下是該設(shè)備的說明:圖1是等離子噴涂設(shè)備的前視圖；圖2是等離子噴涂設(shè)備的俯視圖；圖3是與圖l和圖2相關(guān)的電路圖；圖4是等離子處理的側(cè)視圖；圖5是電弧等離子噴槍的縱向剖視圖；圖6是圖5電弧等離子噴槍的原理圖。附圖標(biāo)記說明1 零件2 軌道3 真空室4 電絕緣體5 高頻振蕩器6 同軸電纜7 外部振蕩電路8 高頻輸入管9 高頻執(zhí)行器10 反射器11 反饋線圈12 外部振蕩電路的電容器13 線圈14 線圈15 接地導(dǎo)線16 發(fā)射管17 零件18 支架19 電弧等離子噴槍20 等離子束22 陽極23 第一擴張段24 第二擴張段25 陰極陽極之間的噴嘴26 輸送裝置27 輸送裝置28 開口29 中空體30 漏斗型截面31 固定件具體實施方式
圖1和圖2所示為等離子噴涂設(shè)備的前視圖和俯視圖。被加工的零件1 通過軌道2和在圖中未能顯示的滾輪送入到真空室3中。在軌道2上安裝了 電絕緣體4，它使零件1與真空室3實現(xiàn)絕緣。在到達軌道2的終端位置時 高頻振蕩電路與零件之間接觸閉合。這要通過一個在圖中未顯示的滑動觸點 (其通過形狀配合連接在零件1上)來實現(xiàn)。零件1現(xiàn)在是在振蕩電路的一部 分。振蕩電路除零件1外由具有反饋線圈ll(圖3所示)的高頻振蕩器5、同 軸電纜6、外部振蕩電路7和高頻輸入管8(在其終端安裝滑動觸點)組成。真 空室3中有與高頻輸入管8配套的高頻執(zhí)行器9。在零件的上部有等離子反射器10。圖3是與圖l和圖2相對應(yīng)的設(shè)備的電路圖。電路設(shè)計使等離子加工實 現(xiàn)最優(yōu)化。高頻振蕩器5通過同軸電纜6供給振蕩電路交流電。高頻振蕩器 5有一反饋線圈11，其電感可自動調(diào)節(jié)。在外部振蕩電路7上有三個電容器 12。為了能改變總電容，三個電容器12能夠全部或者部分與振蕩電路結(jié)合 在一起。振蕩電路的電感主要由零件1來確定。零件1通過高頻輸入管8與 外部振蕩電路7連接。為使振蕩電路的電感與零件相協(xié)調(diào)，在外振蕩電路上 加入線圈13。另外在高頻輸入管8上緊鄰線圈13處加入一個具有插頭的線 圈14。該線圈14只在需要總電容匹配時才被并入系統(tǒng)。這種情況下高頻輸 入管8a替代高頻輸入管8使用。零件1可以選擇通過地線15接地。通過輸入極低功率的高頻交流電可檢測零件1與振蕩電路之間的接觸。 如果接觸符合要求，真空室3將被抽真空。在真空室3中的壓力根據(jù)加工方 法的不同達到一個確定值后，高頻交流電被供給到振蕩電路中。在零件l的 表面形成零件加工所必需的等離子。而零件表面等離子效應(yīng)的控制則通過振 蕩電路中通入交流電后調(diào)節(jié)發(fā)射管16的陽極電壓來完成。在圖中沒有標(biāo)出 發(fā)射管。通過對振蕩電路的發(fā)射管16的電流-電壓特征曲線的監(jiān)測可以控制 等離子中電功率耦合效能。等離子加工期間振蕩電路的精確調(diào)整是由振蕩電 路反饋線圈的電感的變化來實現(xiàn)的。在前期，還存在一種可能，在被加工的 零件的振蕩電路上通過加入附加的電感M或電容12來做系統(tǒng)的粗調(diào)。圖4顯示的是與圖l和2相關(guān)的等離子噴涂設(shè)備的側(cè)視圖。與圖l和2 所描述的不同之處在于，圖4所示的真空室3中重疊安置了若干零件17。支 架18位于軌道2上用于安置零件。在圖中可以看到電弧等離子噴槍19，其 產(chǎn)生等離子束20。等離子束20在真空室3內(nèi)延伸到零件17上。等離子束 20的剖面輪廓從電弧等離子噴槍19開始隨距離的增大而增大。等離子束20
的擴張取決于等離子噴槍和真空室之間的壓力比。大壓差時，等離子束剖面 急劇增大以致使零件全部或者部分處在等離子噴槍的等離子束下。如果這樣 還不能滿足對零件邊緣噴涂的要求，則可以根據(jù)需要在真空室安裝第二個或 者第三個等離子噴槍。 .圖5所示為等離子噴槍19，具有陰極21、陽極22和兩個擴張段23和 24。陰極21是前端具有圓錐的圓柱體。陽極22是包圍著陰極21的管體。 陰極21和陽極22彼此共軸移動。待電離的氣體由位于陽極與陰極之間的縫 隙式噴嘴25來輸送。在第一擴張段23上，第一種涂層材料通過輸送裝置26 被導(dǎo)入到等離子體中，該等離子由位于陽極22與陰極21間的電弧點燃。同 樣，在第二擴張段24上，第二種涂層材料通過輸送裝置27被導(dǎo)入到等離子 體中，該等離子由位于陽極22與陰極21間的電弧點燃。輸送裝置26和27 也被稱作前端輸送，它們是由垂直于陽極和陰極軸線的、連通的中空體29 和漏斗型截面30組成。根據(jù)使用情況，中空體和漏斗型截面與陽極和陰極 的軸線偏離還可以呈小于90度角。涂層材料也可以沿與陽極和陰極軸切線 方向以渦流狀導(dǎo)入。在漏斗型截面30上可以接有粉末傳送裝置、劑量泵或 劑量閥導(dǎo)管或軟管，這些沒有在圖中表示出。兩個擴張段根據(jù)它們的開口截面來區(qū)別。第二擴張段24的內(nèi)徑大于第 一擴張段23的內(nèi)徑，由此可以防止通過輸送裝置26和27導(dǎo)入的涂層材料 回流到陰極21處。具有涂層材料的等離子束20在開口 28處從電弧等離子 噴槍中射出并到達真空室3。同時電弧等離子噴槍19由緊固件直接固定在真 空室3上。為了使等離子直至幵口 28時都能夠保持高溫，第一和第二擴張 段23和24要保持與陽極22相等的電勢，如圖6所示。如圖5，在電弧等離 子噴槍19上，陽極22、第一擴張段23和第二擴張段24是由同一塊材料制 成，當(dāng)然也可由單獨零件組合而成，為此可采用模型制做。擴張段在這種情 況下可根據(jù)使用情況和涂層材料一起來確定。
一旦由振蕩電路和高頻振蕩器5產(chǎn)生的等離子在真空室3內(nèi)的零件上擴散，電弧等離子噴槍19將點火。電弧離子等噴槍19產(chǎn)生的具有涂層材料的 等離子束20通過開口 28在真空室中擴散。等離子束20與等離子在零件17 上相互作用，由此涂層材料在零件17的表面均勻地析出。 一旦在零件表面 析出的厚度達到所需要的厚度，電弧等離子噴槍19和高頻振蕩器5就會關(guān) 閉。根據(jù)使用要求和涂層材料，電弧等離子噴槍19首先被關(guān)閉，緊接著高 頻振蕩器5在確定的延遲時間內(nèi)關(guān)閉。當(dāng)兩個等離子噴槍剛剛關(guān)閉，真空室 3便開始通風(fēng)，零件1或零件17與振蕩電路脫離連接，并將零件1或零件 17從真空室3中移出。
權(quán)利要求
1.一種大型零件的等離子噴涂設(shè)備，包括具有一個或多個泵的真空室(3)，在真空室(3)中用于運送零件(1，17)的輸送裝置(2)，位于零件(1，17)與真空室(3)之間的電絕緣體(4)，具有高頻振蕩器(5)的振蕩電路，振蕩電路的可調(diào)節(jié)的電容和電感，至少一組用于連接振蕩電路與零件(1)的連接線路，和至少一個安裝在真空室(3)上的用于噴涂加工零件(1，17)的等離子噴槍(19)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，所述輸送裝置包括驅(qū)動 裝置和一個或多個軌道(2)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的設(shè)備，其特征在于，所述軌道(2)具有電絕緣 體(4)，用于零件(l， 17)與真空室(3)之間的絕緣。
4. 根據(jù)權(quán)利要求l、 2或3所述的設(shè)備，其特征在于，所述振蕩電路具 有一個或多個高頻輸入管(8),且在真空室(3)上為高頻輸入管配有高頻執(zhí)行 器(9)。
5. 根據(jù)上述權(quán)利要求中任一權(quán)利要求所述的設(shè)備，其特征在于，所述 真空室(3)中裝有金屬板(10)禾口/或隔柵。
6. 根據(jù)上述權(quán)利要求中任一權(quán)利要求所述的設(shè)備，其特征在于，高頻 振蕩器(5)具有可調(diào)節(jié)電感的反饋線圈(11)。
7. 根據(jù)上述權(quán)利要求中任一權(quán)利要求所述的設(shè)備，其特征在于，通過開關(guān)使零件(l)上的電容和/或電感與振蕩電路相應(yīng)的電容(12)和/或電感(14)相協(xié)調(diào)。
8. 根據(jù)上述權(quán)利要求中任一權(quán)利要求所述的設(shè)備，其特征在于，振蕩 電路具有用于輸入交流電的發(fā)射管(16)。
9. 根據(jù)上述權(quán)利要求中任一權(quán)利要求所述的設(shè)備，其特征在于，等離 子噴槍為具有陰極(21)和陽極(22)的電弧等離子噴槍(19)。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的設(shè)備，其特征在于，所述電弧等離子噴槍(19) 具有多個擴張段(23， 24)以混合不同的涂層材料。
11. 根據(jù)權(quán)利要求10所述的設(shè)備，其特征在于，每個擴張段(23， 24) 具有向等離子中導(dǎo)入氣體、液體和/或粉末的輸送裝置(26， 27)。
12. 根據(jù)權(quán)利要求10或11所述的設(shè)備，其特征在于，混合室與擴張段 (23， 24)在流動方向上相連。
13. 根據(jù)權(quán)利要求12所述的設(shè)備，其特征在于，所述等離子噴槍(19) 和混合室一起形成雙拉伐爾噴嘴。
14. 根據(jù)權(quán)利要求12或13所述的設(shè)備，其特征在于，所述混合室作為 陽極(22)使用，或者所述混合室與陽極(22)具有相同電位。
15. —種大型零件等離子噴涂方法，特別是使用根據(jù)上述權(quán)利要求所述的設(shè)備，其特征在于將零件(l， 17)安置在真空室(3)內(nèi)且將真空室抽成真空； 將零件(l， 17)與具有高頻振蕩器(5)的振蕩電路連接； 相互協(xié)調(diào)零件(l， 17)上振蕩電路的電感禾B/或電容； 通過等離子噴槍(19)產(chǎn)生等離子束(20); 向等離子束(20)中添加涂層材料； 將具有涂層材料的等離子束(20)導(dǎo)入到真空室(3)中。
16. 根據(jù)權(quán)利要求15所述的方法，其特征在于，零件(l)和振蕩電路之 間的接觸通過振蕩電路在低功率時導(dǎo)入高頻交流電而被檢測。
17. 根據(jù)權(quán)利要求15或16所述的方法，其特征在于，將工作氣體送到 真空室(3)中。
18. 根據(jù)權(quán)利要求15或16所述的方法，其特征在于，將液體蒸發(fā)并通 過閥門送入到真空室中。
19. 根據(jù)權(quán)利要求15-18中任一權(quán)利要求所述的方法，其特征在于，通 過高頻振蕩器(5)，將具有0.1至lOMHz的交流電壓，尤其是1到4MHz的 交流電壓導(dǎo)入到振蕩電路中。
20. 根據(jù)權(quán)利要求15-19中任一權(quán)利要求所述的方法，其特征在于，真 空室(3)在0.05至1000Pa的壓力下被抽真空。
21. 根據(jù)權(quán)利要求15-20中任一權(quán)利要求所述的方法，其特征在于，在 真空室(3)中金屬板(10)和/或隔柵就位。
22. 根據(jù)權(quán)利要求15-21中任一權(quán)利要求所述的方法，其特征在于，等 離子在零件(l， 17)表面通過振蕩電路中導(dǎo)入的交流電的發(fā)射管陽極電壓的變 化來調(diào)節(jié)。
23. 根據(jù)權(quán)利要求15-22中任一權(quán)利要求所述的方法，其特征在于，在 振蕩電路上安裝附加的電容(12)和/或電感(14)以實現(xiàn)對零件(1， 17)上振蕩電 路的粗調(diào)。
24. 根據(jù)權(quán)利要求15-23中任一權(quán)利要求所述的方法，其特征在于，當(dāng) 對零件(l， 17)上振蕩電路精確調(diào)節(jié)時，改變振蕩電路中反饋線圈(ll)的電感。
25. 根據(jù)權(quán)利要求15-24中任一權(quán)利要求所述的方法，其特征在于，確 定零件(l， 17)的電感和電容，振蕩電路中的電感和電容要與零件的電感和電 容相匹配。
26. 根據(jù)權(quán)利要求15-25中任一權(quán)利要求所述的方法，其特征在于，等 離子噴槍(19)具有多個擴張段(23， 24)，涂層材料或某種組分涂層材料經(jīng)由 每一擴張段(23， 24)被添加到由等離子噴槍(19)發(fā)出的等離子束(20)中。
全文摘要
用于大體積零件等離子噴涂的設(shè)備及方法。所發(fā)明的設(shè)備包括具有一個或多個泵的真空室(3)，用于向真空室(3)中運送零件(1，17)的輸送裝置(2)，位于零件(1，17)與真空室(3)之間的電絕緣體(4)，具有高頻振蕩器(5)的振蕩電路，振蕩電路的可調(diào)節(jié)的電容和電感，至少一組用于連接振蕩電路與零件(1)的連接線路和至少一個安裝在真空室(3)上的用于處理零件(1，17)的涂層材料的等離子噴槍(19)。
文檔編號H05H1/42GK101156504SQ200680011765
公開日2008年4月2日 申請日期2006年4月11日 優(yōu)先權(quán)日2005年4月11日
發(fā)明者S·洛爾 申請人:洛爾等離子技術(shù)有限公司