專利名稱：元件移載裝置、表面安裝機、元件檢查裝置及異常判定方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及通過吸嘴吸附電子元件而進行移載的元件移載裝置、表面安裝機、元件檢查裝置以及這些裝置所采用的異常判定方法。
背景技術(shù)：
以往的表面安裝機，將電子元件從元件供給器移載到印刷線路板，是先通過吸嘴吸附電子元件，然后移動上述吸嘴。
上述吸嘴，會因反復(fù)使用而使吸附面污損，或因與電子元件接觸而導(dǎo)致破損。這樣，在吸嘴污損或破損的狀態(tài)下，使用該吸嘴吸附電子元件時，容易引起吸附錯誤。
以往的具有上述吸嘴的元件移載裝置，設(shè)置有在通過吸嘴移載電子元件時用于識別電子元件是否被吸嘴正確吸附的識別裝置。
作為以往裝備有上述識別裝置的元件移載裝置，如專利文獻1(日本專利公報特許第2801331號)或?qū)＠墨I2(日本專利公開公報特開平6-45790號)所示。專利文獻1所記載的元件移載裝置，先通過攝像機從下方拍攝吸嘴所吸附的電子元件，然后通過圖像處理來檢測電子元件的有無。專利文獻2所記載的元件移載裝置，先通過攝像機從側(cè)面拍攝吸嘴及該吸嘴所吸附的電子元件的圖像，然后通過圖像處理來檢測電子元件的有無。
然而，吸嘴的吸附面的污損，主要是由于微小的異物夾在上述吸附面和電子元件之間并被按壓附著在吸附面上而予以產(chǎn)生。當上述污損程度較小時，電子元件以傾斜的狀態(tài)被吸嘴吸附，但是隨著異物的堆積等而導(dǎo)致污損程度增大時，就會引起吸附錯誤。
另一方面，當吸嘴的吸附部的一部分出現(xiàn)破損且該破損處較小時，電子元件以傾斜的狀態(tài)被吸附。上述破損處會因反復(fù)吸附而變大，這樣吸嘴會較容易產(chǎn)生吸附錯誤。
專利文獻1或?qū)＠墨I2中所記載的元件移載裝置，雖然可檢測出電子元件未被吸嘴正確吸附等構(gòu)成引起無法正確安裝的原因的吸附不良，以及吸嘴未進行吸附等吸附錯誤，但卻無法檢測出構(gòu)成引起吸附不良以及吸附錯誤等的原因的狀態(tài)。因此，以往的表面安裝機，一旦發(fā)生吸附不良或者吸附錯誤，為了防止再發(fā)生、每次都必須暫時中斷運轉(zhuǎn)而對原因進行調(diào)查，從而使移載效率下降。另外，即使電子元件被吸嘴正確吸附，若電子元件的非吸附面(安裝面)附著有異物，會使安裝后的電子元件產(chǎn)生傾斜，從而無法正確進行安裝。此外，吸嘴的外周面(尤其是頂端附近部位)，電子元件的安裝面以外的外周面上附著有異物時，在移載過程中上述異物有可能會掉落在作為電子元件的移載目標的移載部位上，由此產(chǎn)生安裝不良。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為解決上述問題而作，其目的在于通過檢測出引起安裝不良的原因，以此防止移載效率的下降。
為達成上述目的，本發(fā)明所涉及的元件移載裝置，包括吸附電子元件的吸嘴；從側(cè)面拍攝上述吸嘴及該吸嘴所吸附的電子元件的圖像的攝像單元；存儲從側(cè)面拍攝上述電子元件而獲得的電子元件單體的圖像的圖像數(shù)據(jù)的存儲器；獲取通過上述攝像單元拍攝處于未吸附上述電子元件狀態(tài)的上述吸嘴而獲得的吸嘴單體的圖像的第1圖像獲取單元；獲取通過上述攝像單元拍攝處于吸附上述電子元件狀態(tài)的上述吸嘴和上述電子元件而獲得的元件吸附狀態(tài)圖像的第2圖像獲取單元；根據(jù)上述元件吸附狀態(tài)圖像和上述吸嘴單體的圖像的差分產(chǎn)生差分圖像數(shù)據(jù)的圖像處理單元；通過比較上述差分圖像數(shù)據(jù)與上述電子元件單體圖像數(shù)據(jù)，判定吸嘴的吸附面是否良好的判定單元。
本發(fā)明中，通過由第2攝像單元所獲取的元件吸附狀態(tài)圖像和由第1攝像單元獲取的吸嘴單體圖像之間的差分而獲得的圖像(差分圖像)，在吸嘴正常時(無污損，無破損時)，與電子元件單體的圖像相一致。但是，當上述污損處及破損處較小時，電子元件雖被吸附，但與正常吸附狀態(tài)相異，所以上述差分圖像與電子元件單體圖像相異。
采用本發(fā)明，當上述差分圖像與電子元件單體圖像相異時可判定吸嘴不良，因此可在吸附錯誤發(fā)生之前檢測出引起吸附錯誤的可能性較高的吸嘴。這樣，本發(fā)明所涉及的元件移載裝置，可在出現(xiàn)吸附錯誤之前，按照預(yù)先設(shè)定的吸嘴清掃程序、吸嘴更換程序，在短時間內(nèi)對吸嘴進行清掃或更換，所以無需因發(fā)生吸附錯誤而使裝置停止或重復(fù)不必要的吸附操作。
采用本發(fā)明，可在出現(xiàn)吸附錯誤之前檢測出吸嘴的污損、破損等，從而可確實可靠地防止因吸附錯誤而引起安裝效率的下降。
在上述元件移載裝置中，第1圖像獲取單元，從吸嘴單體的圖像測量出吸嘴前端部的長度和吸嘴的吸附面的平坦度，當吸嘴前端部的長度和吸附面的平坦度中的至少一方與預(yù)先規(guī)定的基準值不相符時，錯誤處理予以執(zhí)行。
采用上述元件移載裝置，當吸嘴的前端部的長度和吸附面的平坦度中的任意一方出現(xiàn)異常時，可執(zhí)行錯誤處理。由此，可在出現(xiàn)吸附錯誤之前檢測出吸嘴的污損、破損等，從而可確實可靠地防止因吸附錯誤而引起安裝效率的下降。
在上述元件移載裝置中，還可包括保存通過上述第1圖像獲取單元獲取的圖像數(shù)據(jù)的保存單元，該保存單元，僅在上述測量出的吸嘴前端部的長度和吸附面的平坦度與預(yù)先規(guī)定的基準值相一致時，保存上述圖像數(shù)據(jù)。
采用上述元件移載裝置，通過第1圖像獲取單元獲取的吸嘴單體的圖像，是處于無污損及無破損的正常狀態(tài)的吸嘴的拍攝圖像。由此，可根據(jù)當前的吸嘴圖像與正常的吸嘴圖像之間的差分，判定吸嘴是否良好，從而可提高好壞判定的精確度。
在上述元件移載裝置中，還可包括設(shè)置在吸嘴的可移動范圍內(nèi)，具有吸嘴可從上方予以插入的清掃部的清掃裝置，上述第1圖像獲取單元獲取由上述攝像單元所拍攝的經(jīng)上述清掃裝置清掃過的吸嘴的圖像。
采用上述元件移載裝置，通過第1圖像獲取單元獲取吸嘴圖像時，所拍攝的是已清掃過的吸嘴，因此可提高判定吸嘴是否良好的精確度。
本發(fā)明所涉及的表面安裝機，可包括上述任意一種元件移載裝置，通過該元件移載裝置將安裝用元件從元件供給部移載到印刷電路板。
采用上述表面安裝機，無需因吸嘴的吸附錯誤而中斷安裝運作，從而可提供安裝效率較高的表面安裝機。
本發(fā)明所涉及的元件檢查裝置，可包括上述任意一種元件移載裝置，通過該元件移載裝置將被檢查電子元件從元件供給部移載到檢查部。
采用上述元件檢查裝置，無需因吸嘴的吸附錯誤而中斷被檢電子元件的移載運作，從而可提供對元件檢查效率較高的元件檢查裝置。
本發(fā)明所涉及的另一元件移載裝置，可包括吸附電子元件的吸嘴；從側(cè)面拍攝上述吸嘴及該吸嘴所吸附的電子元件的圖像的攝像單元；以上述攝像單元所拍攝的吸嘴單體的圖像為基準，通過比較該基準圖像與從側(cè)面所拍攝到的上述吸嘴及該吸嘴所吸附的電子元件的圖像，來判定吸嘴及該吸嘴所吸附的電子元件是否良好的圖像處理單元；設(shè)置在吸嘴的可移動范圍內(nèi)，具有吸嘴可從上方予以插入的清掃部的清掃裝置；獲取由上述攝像單元所拍攝的經(jīng)上述清掃裝置清掃過的吸嘴的基準圖像的圖像獲取單元。
采用上述元件移載裝置，由吸嘴單體的圖像構(gòu)成的基準圖像，是從側(cè)面觀測經(jīng)清掃裝置清掃過的吸嘴單體的圖像，由此可拍攝吸嘴的正確形狀來作為基準圖像，從而可提高良好判定的精確度。
其結(jié)果，可提供能正確地進行有無電子元件的吸附錯誤、所吸附電子元件的正誤、吸嘴自身有無異常等判斷的元件移載裝置。
在上述元件移載裝置中，清掃裝置的清掃部，可包括由吸嘴可從上方予以插入的孔所構(gòu)成的用于空氣清掃的清掃室；使上述清掃室的下端部與清掃室外部連通的排氣通路；設(shè)置在上述清掃室的壁面，開口位置對應(yīng)于插入該清掃室內(nèi)的吸嘴的下端部的高度的清掃用空氣的通路；向上述清掃用空氣的通路及吸嘴的吸引通路供給加壓空氣，以使空氣進入清掃室內(nèi)的空氣供給單元。
采用上述元件移載裝置，可使吸嘴噴射與吸附元件時方向相反且相對高壓的空氣，同時從側(cè)面向吸嘴噴射高壓空氣，以此來清掃吸嘴。由于上述清掃是在清掃裝置內(nèi)進行，因此附著在吸嘴的異物不會向周圍飛散。這樣既可防止清掃時異物附著到其他吸嘴，又可充分地清掃吸嘴。
在上述元件移載裝置中，清掃裝置可包括多個清掃室，且這些清掃室可設(shè)置在對應(yīng)于設(shè)置有多個具有吸嘴的移載頭部的頭部單元的各個吸嘴的位置上。
采用上述元件移載裝置，因可一次清掃多個吸嘴，所以具有良好的清掃效率。這樣，即使采用在拍攝單體吸嘴時進行清掃的結(jié)構(gòu)，也可提高元件的移載效率，同時可充分地對吸嘴進行清掃。
在上述元件移載裝置中，清掃裝置的清掃部，可包括面向上述吸嘴予以設(shè)置，用于存儲洗凈液，且允許上述吸嘴的吸附部浸漬在上述洗凈液中的洗凈槽，以及使上述洗凈液在洗凈槽內(nèi)移動的洗凈單元。
采用上述元件移載裝置，由于可通過洗凈液洗凈吸嘴，因此可拍攝吸嘴的更為正確的形狀來獲得基準圖像。這樣，使用上述基準圖像可進一步提高進行良好判定的精確度。
本發(fā)明所涉及的另一表面安裝機，可包括上述任意一種元件移載裝置，通過該元件移載裝置將安裝用元件從元件供給部移載到印刷電路板。
采用上述表面安裝機，可正確地進行有無安裝元件的吸附錯誤、所吸附安裝元件的正誤、吸嘴自身有無異常等判斷。
本發(fā)明所涉及的另一元件檢查裝置，包括上述任意一種元件移載裝置，通過該元件移載裝置將被檢查電子元件從元件供給部移載到檢查部。
采用上述元件檢查裝置，可正確地進行有無被檢查電子元件的吸附錯誤、所吸附被檢查電子元件的正誤、吸嘴自身有無異常等判斷。
本發(fā)明所涉及的異常判定方法，可包括生成顯示使用于吸附移載電子元件的元件移載裝置且未附著異物的吸嘴的從側(cè)面觀測的基準側(cè)面圖像數(shù)據(jù)的步驟；通過從側(cè)面拍攝在使用環(huán)境下的吸嘴生成實際側(cè)面圖像數(shù)據(jù)的步驟；通過比較上述基準側(cè)面圖像數(shù)據(jù)和實際側(cè)面圖像數(shù)據(jù)來判定有無異常的異常判定步驟。
采用上述異常判定方法，可發(fā)現(xiàn)吸嘴前端部的缺陷、吸嘴的吸附面附著有異物等，即引起使安裝不良產(chǎn)生的吸附不良以及吸附錯誤的原因。另外，還能在吸附安裝電子元件時，發(fā)現(xiàn)在吸嘴的前端部外周面上附著有異物，即引起異物掉落在作為電子元件的移載目標的移載部位上而造成安裝不良的原因。
本發(fā)明所涉及的另一異常判定方法，可包括生成顯示使用于吸附移載電子元件的元件移載裝置且未附著異物的吸嘴以及電子元件的從側(cè)面觀測的基準側(cè)面圖像數(shù)據(jù)的步驟；通過從側(cè)面拍攝在使用環(huán)境下的吸嘴以及該吸嘴所吸附的電子元件生成實際側(cè)面圖像數(shù)據(jù)的步驟；通過比較上述基準側(cè)面圖像數(shù)據(jù)和實際側(cè)面圖像數(shù)據(jù)來判定有無吸附異常的異常判定步驟。
采用上述異常判定方法，可發(fā)現(xiàn)吸嘴前端部的缺陷、吸嘴的吸附面附著有異物等，即引起使安裝不良產(chǎn)生的吸附不良以及吸附錯誤的原因。另外，還可發(fā)現(xiàn)在電子元件的安裝面上附著有異物，即引起使電子元件的非吸附面(安裝面)與作為電子元件的移載目標的移載部之間夾有異物而造成安裝不良的原因。而且，還能在吸附安裝電子元件時，發(fā)現(xiàn)在吸嘴的前端部外周面上附著有異物，即引起異物掉落在作為電子元件的移載目標的移載部位上而造成安裝不良的原因。
在上述異常判定方法中，基準側(cè)面圖像數(shù)據(jù)可由電子元件的側(cè)面圖像數(shù)據(jù)和吸嘴的側(cè)面圖像數(shù)據(jù)通過圖像處理組合而成。
采用上述異常判定方法，與針對全部電子元件準備處于吸附狀態(tài)的基準側(cè)面圖像的方法相比，可降低圖像數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)量，從而可使用容量較低的存儲器來作為存儲圖像數(shù)據(jù)的存儲器使用。
在上述異常判定方法中，電子元件的側(cè)面圖像數(shù)據(jù)通過顯示電子元件的形狀的CAD數(shù)據(jù)予以生成。
采用上述異常判定方法，在生成電子元件的基準側(cè)面圖像數(shù)據(jù)時無需進行攝像，所以電子元件的基準側(cè)面圖像數(shù)據(jù)的生成非常容易。
在上述異常判定方法中，還可包括從下方拍攝吸嘴所吸附的電子元件生成底面圖像的步驟；根據(jù)上述底面圖像檢測出電子元件被吸附時相對于吸嘴中心在轉(zhuǎn)動方向上的位置偏差的步驟；根據(jù)上述在轉(zhuǎn)動方向上的位置偏差來修正上述基準側(cè)面圖像數(shù)據(jù)的步驟。
采用上述異常判定方法，在為了生成實際側(cè)面圖像數(shù)據(jù)而進行攝像時，即使電子元件以相對于吸嘴在轉(zhuǎn)動方向上具有位置偏差的狀態(tài)予以吸附，也可正確判斷有無附著有異物。
在上述異常判定方法中，還可包括從下方拍攝吸嘴所吸附的電子元件生成底面圖像的步驟；根據(jù)上述底面圖像檢測出電子元件被吸附時相對于吸嘴在水平方向上的位置偏差的步驟；根據(jù)上述在水平方向上的位置偏差來修正上述基準側(cè)面圖像數(shù)據(jù)的步驟。
采用上述異常判定方法，在為了生成實際側(cè)面圖像數(shù)據(jù)而進行攝像時，即使電子元件以相對于吸嘴在水平方向上具有位置偏差的狀態(tài)予以吸附，也可正確判斷有無附著有異物。
本發(fā)明所涉及的另一元件移載裝置，可包括執(zhí)行上述任意一種異常判定方法的控制裝置。
采用上述元件移載裝置，可判斷電子元件以及吸嘴是否附著有異物，從而可將電子元件的吸附錯誤的產(chǎn)生防患于未然。


圖1是裝備有本發(fā)明所涉及的元件移載裝置的表面安裝機的俯視圖。
圖2是表示上述元件移載裝置的主要部分的剖視圖。
圖3是表示攝像單元的正視圖。
圖4是表示表面安裝機的結(jié)構(gòu)的方框圖。
圖5是表示獲取吸嘴單體圖像的運作的流程圖。
圖6是表示從獲取元件的吸附狀態(tài)圖像到安裝元件的運作的流程圖。
圖7是吸嘴單體圖像的示意圖。
圖8是表示圖像處理單元所執(zhí)行的圖像處理的模式圖。
圖9是表示在吸嘴不良時執(zhí)行的圖像處理的模式圖。
圖10是表示另一例吸嘴單體的圖像獲取、保存等處理的具體步驟的流程圖。
圖11是第2實施方式中的噴氣裝置的正視圖。
圖12是表示第2實施方式中的表面安裝機的結(jié)構(gòu)的方框圖。
圖13是表示第2實施方式中的獲取吸嘴單體圖像的運作的流程圖。
圖14是表示實施判定有無異物的方法時所執(zhí)行的圖像處理的模式圖。
圖15是表示在吸嘴與安裝元件之間夾有異物時的側(cè)視圖。
圖16是表示在安裝元件的周圍附著有異物時的側(cè)視圖。
圖17是表示安裝元件的吸附位置在轉(zhuǎn)動方向和水平方向上產(chǎn)生偏差時的示意圖。
圖18是說明從元件吸附到安裝元件的運作的流程圖。
具體實施例方式
第一實施方式下面，參照附圖對裝備有本發(fā)明所涉及的元件移載裝置的表面安裝機的一個實施方式作詳細說明。
圖1是裝備有本發(fā)明所涉及的元件移載裝置的表面安裝機的俯視圖。圖2是表示上述元件移載裝置的主要部分的剖視圖。圖3是表示攝像單元的正視圖，該圖3中還示出了下方攝像部的剖視圖。圖4是表示表面安裝機的結(jié)構(gòu)的方框圖。圖5是表示獲取吸嘴單體圖像的運作的流程圖。圖6是表示從獲取元件的吸附狀態(tài)圖像到安裝元件的運作的流程圖。圖7是吸嘴單體圖像的模式圖。圖8是表示圖像處理單元所執(zhí)行的圖像處理的模式圖。圖9是表示在吸嘴不良時執(zhí)行的圖像處理的模式圖。圖10是表示另一例吸嘴單體的圖像獲取、保存等處理的具體步驟的流程圖。
上述圖中，標號1表示采用本實施方式的表面安裝機。上述表面安裝機1，包括基座2，用于向該基座2搬送印刷電路板3的搬送帶4，安裝在位于基座2兩側(cè)的元件供給部5上的多個帶式送料器(tapefeeder)5a、5a…，用于將安裝元件6(參照圖2)從上述帶式送料器5a移載至印刷電路板3的元件移載裝置7。
上述元件移載裝置7，如圖1及圖2所示，包括在基座2上沿Y軸方向延伸的兩個固定軌道11、11，沿X軸方向延伸且移動自如地支撐在上述固定軌道11上的支撐構(gòu)件12，支撐在上述支撐構(gòu)件12上且可沿X軸方向移動自如的頭部單元13，用于檢測安裝元件6的吸附狀態(tài)的下方攝像單元14及側(cè)面攝像單元15，用于控制上述搬送帶4、帶式送料器5a以及元件移載等運作的控制裝置8。
上述支撐構(gòu)件12，具有與設(shè)置在一方的固定軌道11上的滾珠絲杠16相螺合的螺母17，上述滾珠絲杠16通過Y軸伺服電機18予以轉(zhuǎn)動驅(qū)動，可在Y軸方向上來回移動。
上述頭部單元13，如圖2所示，支撐在設(shè)置于上述支撐部件12的引導(dǎo)構(gòu)件19上，且與滾珠絲杠20相螺合，上述滾珠絲杠20通過X軸伺服電機21(參照圖1)的轉(zhuǎn)動驅(qū)動可在X軸方向上來回移動。
而且，上述頭部單元13，如圖1及圖2所示，多個安裝用頭部22等以在X軸方向上等間隔排列的狀態(tài)予以設(shè)置。本實施方式的頭部單元13，裝備有六個安裝用頭部22。
上述各安裝用頭部22，如圖2所示，分別相對于頭部單元13的框架13a在Z軸方向(上下方向)上移動可能地予以支撐，同時繞Z軸轉(zhuǎn)動可能地予以支撐，其下端部設(shè)置有用于吸附安裝元件6的吸嘴23。并且，上述安裝用頭部22，通過設(shè)置在頭部單元13上的升降驅(qū)動單元24的驅(qū)動可在Z軸方向移動，通過設(shè)置在頭部單元13上的轉(zhuǎn)動驅(qū)動單元25的驅(qū)動可繞Z軸轉(zhuǎn)動。
上述升降驅(qū)動單元24，包括轉(zhuǎn)動自如地支撐在上述框架13a上且沿上下方向延伸的滾珠絲杠26，驅(qū)動該滾珠絲杠26的上端部的Z軸伺服電機27，設(shè)置在頭部13上并與上述滾珠絲杠26螺合的螺母構(gòu)件28等。
上述轉(zhuǎn)動驅(qū)動單元25，采用通過R軸伺服電機29(參照圖4)使頭部單元13轉(zhuǎn)動的結(jié)構(gòu)，并支撐在上述框架13a上。
上述下方攝像單元14，用于拍攝吸嘴23所吸附的安裝元件6的底面，如圖3及圖4所示，包括底面圖像拍攝用攝像機31，由包圍上述底面圖像拍攝用攝像機31的拍攝范圍且向上方擴展設(shè)置的多個LED構(gòu)成的底面圖像拍攝用照明32。
上述下方攝像單元14的設(shè)置位置，如圖1所示，在俯視方向上，位于搬送帶4和元件供應(yīng)器5之間。上述底面圖像拍攝用攝像機31，拍攝上述安裝用頭部22所吸附的安裝用件6的底面的反射圖像。而且上述底面圖像拍攝用攝像機31，采用了將所拍攝的圖像數(shù)據(jù)發(fā)送至后述的控制裝置8的結(jié)構(gòu)。
上述側(cè)面攝像單元15，用于從側(cè)面拍攝吸嘴23及該吸嘴所吸附的安裝元件6，如圖2至圖4所示，包括安裝在從上述元件移載裝置7的支撐部件12向下方延伸的攝象機支撐部件33上的側(cè)面拍攝用攝像機34、以及安裝在從上述頭部單元13的下端部向下方延伸的保持部件35上的LED構(gòu)成的側(cè)面圖像拍攝用照明36。
上述側(cè)面圖像拍攝用攝像機34，由線傳感器及區(qū)域傳感器等構(gòu)成，以光軸指向表面安裝機1的前方(在圖1中為下方)的狀態(tài)予以設(shè)置。本實施方式中，如圖3所示，在X軸方向(圖中為左右方向)上的與上述下方攝像單元14的攝像機31相同的位置設(shè)置有一個上述攝像機34。
上述照明36，分別對應(yīng)于各個安裝用頭部22予以設(shè)置，由于安裝用頭部22位于上述攝像機34的前方，因此該照明36位于隔著安裝用頭部22與上述攝像機34相對的位置。上述攝像機34，在上述照明36進行照射的照明條件下，從側(cè)面拍攝吸嘴23及該吸嘴23所吸附的安裝元件6，并將所拍攝的圖像數(shù)據(jù)發(fā)送至后述的控制裝置8。另外，上述側(cè)面攝像單元15的側(cè)面圖像拍攝用攝象機34和側(cè)面圖像拍攝用照明36，支撐在一個支撐體上而構(gòu)成攝像機單元，從而可沿X軸方向移動可能地支撐在頭部單元13上。此時，上述攝像機34的攝像，在為了安裝元件而使頭部單元13同帶式送料器5a一側(cè)向印刷電路板3一側(cè)移動的途中，或者在完成元件安裝之后使頭部單元13返回帶式送料器5a一側(cè)的途中，使上述攝像機單元相對于上述頭部單元13沿X軸方向移動而予以執(zhí)行。另外，上述側(cè)面攝像單元15，也可搭載在基座2上。此時，上述攝像機34的攝像，可使頭部單元13相對于側(cè)面攝像單元15沿X軸方向平行移動而予以執(zhí)行。
上述控制裝置8，包括周知的進行邏輯運算的CPU、預(yù)存有控制該CPU的各種程序的ROM、暫存各種裝置運作中的各種數(shù)據(jù)的RAM。本實施方式的控制裝置8，如圖4所示，包括軸控制單元41、攝像裝置控制單元42、圖像存儲器43、搭載信息存儲單元44、設(shè)備信息存儲單元45、運算單元46。上述運算單元46，連接有用于顯示各種信息的顯示裝置47。
上述軸控制單元41，控制設(shè)置在表面安裝機1的Y軸伺服電機18、X軸伺服電機21、Z軸伺服電機27(第1頭部Z軸伺服電機27～第6頭部Z軸伺服電機27)及R軸伺服電機29(第1頭部R軸伺服電機29～第6頭部R軸伺服電機29)的驅(qū)動。
攝像裝置控制單元42，控制底面圖像拍攝用攝像機31、底面圖像拍攝用照明32、側(cè)面圖像拍攝用攝像機34及側(cè)面圖像拍攝用照明36的運作。上述攝像裝置控制單元42，具有后述的保存單元53，另外根據(jù)控制攝像時機的程序，可作為后述的第1圖像獲取單元51而發(fā)揮功能，或作為第2圖像獲取單元52而發(fā)揮功能。
第1圖像獲取單元51，通過側(cè)面圖像拍攝用攝像機34，拍攝單體的吸嘴23的圖像。上述吸嘴單體的圖像，例如圖7所示的拍攝圖像。該圖像中，拍攝有吸嘴23的相對較粗的基部23a和相對較細的前端部23b。
第2圖像獲取單元52，通過側(cè)面圖像拍攝用攝像機34，拍攝吸附有安裝元件6的吸嘴23及該吸嘴所吸附的安裝元件6的圖像(元件吸附狀態(tài)圖像)。該元件吸附狀態(tài)圖像，正常時如圖8所示三個圖像中最左側(cè)的圖像。
上述保存單元53，當根據(jù)通過第1圖像獲取單元所獲取的吸嘴單體圖像判定吸嘴23為正常時，將該吸嘴單體的圖像數(shù)據(jù)保存到圖像存儲器43。上述判定，首先從吸嘴單體的圖像測量出吸嘴23的前端部23b的長度及吸嘴23的吸附面(下端面)的平坦度，然后比較這些數(shù)據(jù)和預(yù)先設(shè)定的基準值，由此予以執(zhí)行。此時，上述的測量和比較，由后述的運算單元46進行。
上述圖像存儲器43，存儲由側(cè)面圖像拍攝用攝像機34及底面圖像拍攝用攝像機31所拍攝的圖像數(shù)據(jù)。
上述搭載信息存儲單元44，存儲有關(guān)安裝在印刷電路板3上的安裝元件6的信息。例如，有關(guān)安裝元件6的厚度、寬度、高度等形狀數(shù)據(jù)、將何種安裝元件6安裝在何處的信息等。而且，上述搭載信息存儲單元，存儲有從下方以及從側(cè)面所拍攝的安裝元件6的單體的圖像數(shù)據(jù)。
上述設(shè)備信息存儲單元45，存儲有關(guān)本實施方式的表面安裝機1的信息，分別存儲吸嘴23的前端部23b的長度和吸附面的平坦度等基準值。上述基準值，為具有一定范圍幅度的值，設(shè)定為包含制造公差的值。
上述運算單元46，采用CPU等具有運算功能的部件，包括后述的圖像處理單元54和判定單元55，使用圖像存儲器43所存儲的圖像數(shù)據(jù)、搭載信息存儲單元44及設(shè)備信息存儲單元45所存儲的數(shù)據(jù)、以及來自軸控制單元41的控制數(shù)據(jù)等進行運算處理，并根據(jù)該運算結(jié)果來控制表面安裝機1的各個裝置。
上述圖像處理單元54，根據(jù)上述第2圖像獲取單元52所獲取的元件吸附狀態(tài)圖像和上述第1圖像獲取單元所獲取的吸嘴單體圖像的差分，產(chǎn)生差分圖像數(shù)據(jù)。具體而言，該圖像處理單元54，如圖8及圖9所示，根據(jù)圖中位于最左側(cè)的元件吸附狀態(tài)圖像和位于中央位置的吸嘴單體圖像的差分，產(chǎn)生最右側(cè)所示的差分圖像數(shù)據(jù)。
圖9(a)表示因吸嘴23的吸附部破損，導(dǎo)致安裝元件6吸附失敗的狀況，圖9(b)表示吸附部破損的吸嘴23大致正常地吸附安裝元件6的狀況，圖9(c)表示安裝元件6被吸附部破損的吸嘴23傾斜吸附的狀況。
上述判定單元55，比較上述差分圖像數(shù)據(jù)和上述搭載信息存儲單元44所存儲的安裝元件單體的圖像數(shù)據(jù)，當上述兩圖像數(shù)據(jù)相一致時判定吸嘴23為正常，除此以外則判定吸嘴23為異常。
下面，參照圖5及圖6所示的流程圖，對本實施方式的表面安裝機1在安裝元件時的運作加以說明。上述表面安裝機1，在出貨、或者維修時拍攝保存吸嘴23的單體的圖像。即，首先，在圖5所示流程圖的步驟S1，先將特定的安裝用頭部22以及選擇性地安裝在該安裝用頭部22的多種吸嘴23中的特定的吸嘴23設(shè)定為基準頭部、基準吸嘴，并作為檢查對象。
在步驟S2，確認吸嘴23上是否有附著物，在步驟S3，使安裝用頭部22處于初期高度狀態(tài)，并在此狀態(tài)下通過側(cè)面圖像拍攝用攝像機34拍攝吸嘴23。上述拍攝，如圖7所示，可判別吸嘴23的特征部分(基部23a與前端部23b的交界部分)。另外，該吸嘴23的單體的圖像，可在元件安裝過程中使用側(cè)面攝像單元15來進行攝像。具體而言，可在安裝元件后，頭部單元13從印刷電路板3一側(cè)向帶式送料帶5a一側(cè)返回的過程中，通過側(cè)面攝像單元15來進行攝像。
上述攝像之后，在步驟S4，根據(jù)吸嘴單體的圖像，判定吸嘴23的前端部23b的長度是否在基準值的公差范圍內(nèi)。此時，當上述前端部23b的長度大于基準值(附著有異物時)或吸嘴23的長度短于基準值(吸嘴前端部有缺陷)時，進入步驟S5執(zhí)行錯誤處理。作為上述錯誤處理，可在顯示裝置47進行錯誤顯示，并等待操作員進行修復(fù)作業(yè)。
即，頭部單元13，移動至操作員可進行修復(fù)作業(yè)的位置并處于停止狀態(tài)。當操作員更換吸嘴23后按下恢復(fù)按鈕，從步驟S2開始重新按照流程予以實施。另外，當操作員確認吸嘴23后，認為無需更換吸嘴23時，可先按下基準值修正按鈕后再按恢復(fù)按鈕。按下基準值按鈕，可將基準值范圍的規(guī)定量擴大，由此可減少步驟S5中因出現(xiàn)錯誤而停止的頻率。
當吸嘴23的長度為正常時，在步驟S6，判斷吸嘴23的前端部的平坦度是否在基準值的公差范圍內(nèi)。在此，若判定為異常時，進入步驟S5執(zhí)行錯誤處理。當上述平坦度為正常時，將吸嘴單體的圖像保存在圖像存儲器43中，之后在步驟S7，判斷針對側(cè)面圖像拍攝用攝像機34是否已算出圖像和實際尺寸的比例(scale)。另外，當進入步驟S5時，說明吸嘴23處于不良狀態(tài)，所以吸嘴單體的圖像無需進行圖6所示流程的處理，因此就無需保存在存儲器43中。由此可節(jié)省存儲器的容量。另外，為了日后的驗證，也可將步驟S5的錯誤處理中的吸嘴單體的圖像存儲在圖像存儲器43中。
當上述比例沒算出時，在步驟S8，先使安裝用頭部22上下移動規(guī)定量，之后再拍攝吸嘴23的單體的圖像。然后，在步驟S9，根據(jù)安裝用頭部22的移動量、以及在步驟S3檢測出的吸嘴23的下端和特征部分與在步驟S8檢測出的吸嘴23的下端和特征部分的差，算出上述比例、并存儲在設(shè)備信息存儲單元中。
當在上述步驟S7判定已算出比例，在步驟S10，判斷當前的檢查對象是否符合基準頭部、基準吸嘴。此時，如果當前的檢查對象符合基準頭部、基準吸嘴，進入步驟S11，否則進入步驟S12，計算該頭部、吸嘴修正后的初期高度，使該頭部、吸嘴的下端位置與基準頭部、基準吸嘴的初期高度時的下端位置相同，并將計算結(jié)果存儲在設(shè)備信息存儲單元中。
在步驟S11，針對具有選擇性地安裝在該頭部上的可能性且種類不同的全部吸嘴23，就上述設(shè)定處理是否已結(jié)束進行判斷，如果沒有結(jié)束就轉(zhuǎn)換到下一個吸嘴(步驟S13)，并回到步驟S2，從步驟2開始執(zhí)行設(shè)定處理。
與當前的檢查對象的安裝用頭部22的種類不同的全部吸嘴23的設(shè)定處理結(jié)束后，進入步驟S14，進行元件下端邊緣形狀的檢查。之后，在步驟S15，針對所有安裝用頭部22就設(shè)定處理是否結(jié)束進行判斷，如果未結(jié)束，則將檢查對象變更為下一個頭部(步驟S16)，并回到步驟S2，從步驟2開始執(zhí)行設(shè)定處理。當所有安裝用頭部22的上述設(shè)定處理結(jié)束時，該流程的處理結(jié)束。
本實施方式的表面安裝機1，為了將安裝用元件6安裝在印刷電路板3，首先，在圖6所示流程的步驟P1，使所有的吸嘴23吸附帶式送料器5a上的安裝元件6。
其次，在步驟P2、步驟P3，使頭部單元13平行移動至下方攝像單元14的上方，并橫向經(jīng)過底面圖像拍攝用攝像機31的上方，同時通過上述攝像機31拍攝所有安裝元件6的從下方觀測的圖像(底面圖像)。
然后，在步驟P4，比較上述底面圖像的圖像數(shù)據(jù)與搭載信息存儲單元44所存儲的安裝用元件6的底面圖像的圖像數(shù)據(jù)，計算出安裝元件6的X軸方向及Y軸方向的安裝位置的修正量和圍繞Z軸的修正角度。
計算上述修正量后，在步驟P5，讀出預(yù)先保存在上述圖像存儲器43的吸嘴的單體的圖像數(shù)據(jù)，在步驟P6，使頭部單元13移動至側(cè)面攝像單元15的側(cè)面，通過側(cè)面圖像拍攝用攝像機34拍攝元件處于吸附狀態(tài)的圖像。即，在為了安裝元件而使頭部單元13移動的過程中，通過側(cè)面圖像拍攝用攝像機34拍攝吸嘴23和安裝元件6的元件吸附狀態(tài)圖像。另外，當側(cè)面攝像單元15移動可能地搭載在頭部單元13上時，無需為了攝像而停止頭部單元13向印刷電路板3一側(cè)的移動，即可驅(qū)動側(cè)面攝像單元15進行攝像。當側(cè)面攝像單元15裝備在基座2上時，使頭部單元13相對于攝像機34移動，并予以攝像。
上述拍攝之后，在步驟P7，如圖8及圖9所示，通過元件的吸附狀態(tài)圖像和吸嘴單體的圖像的差分，產(chǎn)生差分圖像數(shù)據(jù)，在步驟P8判斷吸嘴23是否良好。上述判定，是通過比較差分圖像數(shù)據(jù)(圖8及圖9中位于最右側(cè)的圖像數(shù)據(jù))和預(yù)先存儲在搭載信息存儲單元44的從側(cè)面拍攝的安裝元件的單體的圖像數(shù)據(jù)來進行。在步驟P8，如圖8所示，當差分圖像數(shù)據(jù)與安裝元件6的單體的圖像數(shù)據(jù)相一致時，判定吸嘴23為正常，如圖9所示，當差分圖像數(shù)據(jù)與安裝元件6的單體的圖像數(shù)據(jù)不一致時，判定吸嘴23為異常。
吸嘴23判定為異常時，進入步驟P9，進行錯誤處理。此時，作為錯誤處理，在顯示裝置47進行檢測出污損、破損的顯示，并等待操作員的修復(fù)處理。吸嘴23為正常時，在步驟P10，從上述差分圖像數(shù)據(jù)檢測出安裝元件6的形狀，在步驟P11，對該形狀進行判斷。此時，若安裝元件6的下端面傾斜，則判定產(chǎn)生吸附不良，并進入步驟P9進行錯誤處理。
當安裝元件6的下端面大致平行于吸嘴23的吸附面時，進入步驟P12，通過圖像處理來測量安裝元件6的厚度。安裝元件6的厚度測量完畢后，在步驟P13，判斷上述厚度是否在規(guī)定值范圍內(nèi)，若判定上述厚度在規(guī)定值范圍外，即厚度超出尺寸公差范圍(大于公差范圍或小于公差范圍)，則進入步驟P9進行錯誤處理，然后結(jié)束整個處理。若上述厚度在規(guī)定值范圍內(nèi)，在步驟P14，將安裝元件6安裝在印刷電路板3上。另外，由于頭部單元13設(shè)置有多個安裝用頭部22、多個吸嘴23，當任意的吸嘴23在步驟P8、步驟P11及步驟P13中任何一個步驟出現(xiàn)NO的判定，可不執(zhí)行步驟P9的錯誤處理，而是執(zhí)行判定為OK的吸嘴23的元件安裝，然后再進行步驟P9的錯誤處理。作為錯誤處理，在步驟P8判定為NO時，頭部單元13移動至操作員可進行修復(fù)作業(yè)的位置并處于停止狀態(tài)，在步驟P11或步驟P13判定為NO時，可將將出現(xiàn)不良的元件廢棄至廢棄桶，在顯示裝置顯示不良內(nèi)容，并將不良內(nèi)容存儲在存儲器中，而且無需停止即可返回步驟P1。
上述表面安裝機1，根據(jù)通過吸嘴23的元件吸附狀態(tài)圖像和吸嘴單體圖像的差分生成的差分圖像數(shù)據(jù)，判定吸嘴23是否良好，因此在運作中，可在出現(xiàn)吸附錯誤之前，檢測出引起吸附錯誤的可能性較高的情況。
因此，本實施方式的元件安裝裝置7，無需因?qū)嶋H發(fā)生吸附錯誤而使裝置停止以及不必要地重復(fù)吸附運作，可在出現(xiàn)吸附錯誤之前采取措施，以使吸附不良不發(fā)生。例如，當吸嘴23判定為不良時，通過預(yù)先規(guī)定的吸嘴清掃工序及吸嘴更換工序，可在短時間內(nèi)進行吸嘴23的清掃或更換。
本實施方式的元件移載裝置7，為判斷上述吸嘴23是否不良而使用的吸嘴單體的圖像，是拍攝吸嘴23的前端部23b的長度和吸附面的平坦度為基準值，且處于無污損、無破損的正常狀態(tài)的吸嘴23而獲得的圖像。
因此，采用本實施方式，通過與正常吸嘴23的圖像之間的差分可判斷吸嘴23是否良好，所以可以較高的精度進行上述判定。
另外，本實施方式的元件移載裝置7，還可以實施包括通過進行圖9(a)所示的處理生成顯示未附著異物的吸嘴23的從側(cè)面觀測的基準側(cè)面圖像數(shù)據(jù)的步驟；通過從側(cè)面拍攝在使用環(huán)境下的吸嘴23生成實際側(cè)面圖像數(shù)據(jù)的步驟；通過比較上述基準側(cè)面圖像數(shù)據(jù)和實際側(cè)面圖像數(shù)據(jù)來判定吸嘴23有無異常、即判定有無缺損、有無異物附著的異常判定步驟。由于本實施方式的元件移載裝置7設(shè)置在表面安裝機1上，所以從側(cè)面拍攝在使用環(huán)境下的吸嘴23，可在安裝元件6安裝在基板3上之后，或者在頭部單元13向元件供給部5移動過程中予以執(zhí)行。
由此，可發(fā)現(xiàn)吸嘴23前端部的缺陷、吸嘴23的吸附面附著有異物等，即引起使安裝不良產(chǎn)生的吸附不良以及吸附錯誤的原因。另外，還能在吸附安裝元件(電子元件)6時，發(fā)現(xiàn)在吸嘴23的前端部外周面上附著有異物，即引起異物掉落在作為電子元件的移載目標的基板(移載部位)3上而造成安裝不良的原因。
本實施方式的表面安裝機1，由于裝備有本發(fā)明所涉及的元件移載裝置7，因此，可事先防止吸嘴23發(fā)生的吸附錯誤，從而使安裝運作不會因吸附錯誤而中斷。由此，該表面安裝機1，與以往相比可提高安裝效率。
另外，本發(fā)明所涉及的元件移載裝置7，其獲取、保存吸嘴單體的畫像等處理的具體步驟并不局限于上述圖5所示的例，例如可以如圖10所示的流程圖進行。該圖10的示例，與圖5所示的步驟相比，有一部分進行了變更。
圖10的流程圖中，步驟S101～S103所進行的處理，與圖5的步驟S1～S3所進行的處理相同。
在步驟S103之后的步驟S104，判斷針對側(cè)面圖像拍攝用攝象機34是否已算出圖像和實際尺寸的比例。若上述比例沒算出，進入步驟S105、S106。上述步驟S104～S106所進行的處理，與圖5中的步驟S7～S9所進行的處理相同。
若步驟S104的判定為YES，或步驟S104的判定為NO而進入步驟S105、S106并執(zhí)行處理之后，進入步驟S107，根據(jù)吸嘴的單體的圖像，判定吸嘴23的前端部23b的長度是否在基準值的公差范圍內(nèi)。此時，根據(jù)側(cè)面圖像拍攝用攝象機34所拍攝的吸嘴23的圖像和在上述步驟S105、S106的處理中所算出的比例，求出吸嘴23的前端部23b的長度，然后比較該長度與基準值。
若步驟S107的判定為NO時，進入步驟S108進行錯誤處理。當步驟S107的判定為YES時，進入步驟S109，判斷吸嘴23的前端部23b的平坦度是否在基準值的公差范圍內(nèi)，若該判定為NO時，同樣進入步驟S108進行錯誤處理。上述步驟S107～S109所進行的處理，與圖5中的步驟S4～S所進行的處理相同。
當步驟S107及步驟S109中任意一方的判定為YES時，在步驟S110，將吸嘴單體的畫像數(shù)據(jù)保存在圖像存儲器43中。
然后，在步驟S111，判斷當前的檢查對象是否符合基準頭部、基準吸嘴，若判定為YES時，進入步驟S112，若判定為NO時，進入步驟S113，計算該吸嘴23修正后的初期高度，并將計算結(jié)果存儲在設(shè)備信息存儲單元中。另外，在步驟S112，針對所有種類的吸嘴判斷設(shè)定處理是否已結(jié)束，如果未結(jié)束就轉(zhuǎn)換到下一個吸嘴(步驟S114)，并回到步驟S102，從步驟S102開始執(zhí)行處理。
上述步驟S111～S114所進行的處理，與圖5中的步驟S10～S13所進行的處理相同。
另外，若步驟S112的判定為YES時，進入步驟S115，針對所有安裝用頭部22判斷設(shè)定處理是否已結(jié)束，如果未結(jié)束，則將檢查對象變更為下一個頭部(步驟S116)，并回到步驟S102，從步驟S102開始執(zhí)行處理。當所有安裝用頭部22的上述設(shè)定處理結(jié)束時，該流程的處理結(jié)束。上述步驟S115、S116所進行的處理，與圖5中的步驟S15、S16所進行的處理相同。
第二實施方式本發(fā)明所涉及的元件移載裝置7，在吸嘴的可移動范圍內(nèi)設(shè)置有清掃吸嘴的清掃裝置，通過上述攝像單元拍攝經(jīng)清掃裝置清掃過的吸嘴，然后通過第1圖像獲取單元獲取上述吸嘴的單體的圖像(基準圖像)。該實施方式通過圖11～圖13加以說明。
第二實施方式的元件移載裝置7，其清掃裝置可設(shè)置噴氣裝置60。圖11是噴氣裝置60的正視圖，該噴氣裝置60，用于清掃吸嘴23，其清掃部62搭載在支座61上，而且該噴氣裝置設(shè)置在吸嘴23在表面安裝機1上的可移動范圍內(nèi)。
上述支座61，通過氣缸63而升降可能地支撐清掃部62。63a表示氣缸63的活塞桿，63b表示可升降自如地保持清掃部62的引導(dǎo)桿。圖11表示清掃部62通過氣缸63上升至最高位置時的狀態(tài)，該清掃部62，在不進行清掃時，從圖11所示位置下降到其下端62a與氣缸63上表面63c接觸的位置。由此，通過上述清掃部62的下降，可使安裝用頭部22通過清掃部62的上方，因此可防止清掃部62遮擋安裝用頭部22的移動路徑。
上述清掃部62，包括由多個向上方開口的孔構(gòu)成的多個清掃室64，以及連接這些清掃室64的下端部的排氣室65，同時安裝有使空氣從上述排氣室65向清掃部62外部排出的過濾器66。該過濾器66，使空氣在排氣室65下方橫向排出。從上述排氣室65，經(jīng)由上述過濾器66至清掃部62的外部的空氣通路，構(gòu)成本發(fā)明的排氣通路。
構(gòu)成上述清掃室64的孔，具有可使吸嘴23從上方插入的內(nèi)徑和深度。另外，上述清掃室64的間隔，與上述頭部單元13所設(shè)置的多個吸嘴23的間隔相一致。即，這些清掃室64，設(shè)置在與頭部單元13的各個吸嘴23相對應(yīng)的位置。本實施方式的噴氣裝置60，形成四處清掃室64，可使四個吸嘴23同時插入清掃室64。
各個清掃室64的內(nèi)壁面，如圖11所示，形成有空氣噴射口67。本實施方式中，上述空氣噴射口67，形成在與吸嘴23相對的上述內(nèi)壁面的上部和以規(guī)定間隔位于該上部下方的下部。另外，這些空氣噴射口67，通過由延伸在清掃部62內(nèi)的氣孔(未圖示)和從清掃部62引出的氣管68等構(gòu)成的清掃空氣用通路69，與氣泵70連接。上述清掃空氣用通路69的途中，設(shè)置有通過控制裝置8控制的開閉閥71。
上述氣泵70，對空氣加壓并將其供往上述清掃空氣用通路69。作為空氣供給裝置的上述氣泵70，可以是專門供給清掃用空氣的氣泵，也可以利用既存的向表面安裝機1供給高壓空氣的空氣供給源。本實施方式中，從上述氣泵70向噴射泵(ejector pump)72供給高壓空氣，然后將在此產(chǎn)生的空氣導(dǎo)入頭部單元13的各個吸嘴23。
未圖示的上述噴射泵72，通過切換內(nèi)部的空氣通路，在吸附時可向吸嘴23導(dǎo)入負壓，在釋放元件時可供給相對較低的正壓，清掃吸嘴23的內(nèi)部時可供給相對較高的正壓。上述噴射泵72和上述氣泵70等，構(gòu)成本發(fā)明的空氣供給裝置73。
上述噴氣裝置60，在上述開閉閥71開啟時，使噴射泵72的運作切換為以使吸嘴23吹出高壓空氣，通過供給來自氣泵70的高壓空氣，從空氣噴射口67向清掃室64內(nèi)橫向噴射高壓空氣，同時從吸嘴23的吸引空氣用通路向清掃室64內(nèi)噴射高壓空氣。通過上述橫向噴射的高壓空氣，吸嘴23的外表面被清掃，經(jīng)過吸引空氣用通路的高壓空氣，可清掃吸嘴23的內(nèi)部。
上述清掃部62的上端部的兩側(cè)，設(shè)置有用于檢測有無吸嘴23的傳感器74。上述傳感器74，為光學(xué)傳感器，當光路被吸嘴23遮住時，表示此狀態(tài)的檢測數(shù)據(jù)被送至控制裝置8。本實施方式的噴氣裝置60，即使吸嘴23在清掃中從安裝用頭部22脫落，或在清掃后殘留在清掃裝置內(nèi)，都可通過上述傳感器74檢測出。
另外，如圖12所示，控制裝置8，除有與圖4同樣的構(gòu)成之外，還包括清掃裝置控制單元80。上述清掃裝置控制單元80，控制上述噴氣裝置60，執(zhí)行氣缸63的升降運作、開閉閥71的開閉運作、噴射泵72的切換運作等。在此，圖12與圖4中相同的部分付予相同的符號，其說明從略。
圖13是表示第二實施方式中執(zhí)行拍攝、保存吸嘴單體的圖像的處理的流程圖。圖13和圖5相同的處理步驟付予相同的符號，其說明從略。
圖13的流程中，以步驟S200代替圖5流程中的步驟S2，通過噴射裝置60向吸嘴23的前端部23b噴氣而進行清掃。上述清掃是通過如下步驟進行提升噴氣裝置60的清掃部62，使吸嘴23從上方插入各個清掃室64，在此狀態(tài)下從空氣噴射口67噴射高壓空氣，同時從吸嘴23的吸引空氣用通路向下方噴射高壓空氣。
上述清掃，只在規(guī)定的時間實施。全部吸嘴23的清掃結(jié)束后，使吸嘴23上升，同時降低清掃部62，然后將頭部單元13移向側(cè)面圖像拍攝用攝像機34所在的方向。
步驟S1及步驟S3～S6與圖5相同。
另外，該第二實施方式，將安裝元件安裝到印刷電路板的處理，如圖6所示的步驟。
在上述表面安裝機1中，作為判斷吸嘴23是否良好的基準圖像，即在圖13所示流程的步驟S3所拍攝的吸嘴單體圖像，是從側(cè)面拍攝經(jīng)噴氣裝置60清掃過的吸嘴23的單體所獲得的圖像。這樣，在本實施方式中，可拍攝吸嘴23的正確形狀來作為上述基準圖像，因此使用上述基準圖像，可以較高精度進行上述判定。
另外，本實施方式的噴氣裝置60，可使吸嘴23噴射與吸附元件時方向相反且相對高壓的空氣，同時可從側(cè)面噴射高壓空氣，由此可從外側(cè)和內(nèi)側(cè)吹掉附著于吸嘴23的異物來清掃吸嘴23。
由于上述清掃是在噴氣裝置60的清掃室64內(nèi)進行，因此，附著在吸嘴23上的異物不會向吸嘴23的周圍飛散。因此，使用本實施方式的噴氣裝置60，既可防止清掃時異物附著到位于噴氣裝置60外部的其他吸嘴23，又可充分地清掃吸嘴23。
本實施方式的噴氣裝置60，因為可一次清掃多個安裝用頭部22的吸嘴23，所以具有良好的清掃效率。這樣，即使采用在拍攝單體吸嘴23時進行清掃的結(jié)構(gòu)，也可提高元件的移載效率，同時可充分地對吸嘴23進行清掃。
在上述實施方式中，說明了利用高壓空氣清掃吸嘴23的例子，另外也可使用洗凈液對吸嘴進行清掃。此時，清掃裝置，可包括面向上述吸嘴23予以設(shè)置，用于存儲洗凈液，且允許吸嘴23的吸附部浸漬在上述洗凈液中的洗凈槽，以及使上述洗凈液在洗凈槽內(nèi)移動的洗凈單元。作為洗凈液，可使用酒精等。為使洗凈液在洗凈槽內(nèi)移動，可向洗凈槽內(nèi)吹氣泡，使其通過浸漬在洗凈液中的吸嘴的周圍。
在上述實施方式中，對在拍攝單體的吸嘴23時通過噴氣裝置60清掃吸嘴23的例子進行了說明，該吸嘴23的清掃，可在圖6所示流程的步驟P8中判定吸嘴為異常時予以執(zhí)行。另外，即使未檢測出異常，也可對進行了預(yù)先規(guī)定次數(shù)的安裝運作的吸嘴進行清掃，或可在有預(yù)先規(guī)定數(shù)量的印刷電路板安裝完安裝元件之后對全部的吸嘴進行清掃，或可在更換了安裝于安裝用頭部22的吸嘴23后對新的吸嘴進行清掃。
另外，未吸附安裝元件的單體吸嘴23的拍攝及圖像數(shù)據(jù)的保存，無需對所有種類的吸嘴進行，例如可僅對吸附相對較小的安裝元件的吸嘴或僅對更換的吸嘴進行。這樣，一方面可縮短生產(chǎn)時間(tact time)，另一方面即使不能完全排除錯誤判定也可降低產(chǎn)生錯誤判定的概率。
另外，作為上述元件移載裝置7的運作的變形例，可針對每一次安裝元件的吸附，從下方拍攝吸嘴，但側(cè)面拍攝可設(shè)定為數(shù)次吸附之后拍攝一次，即所謂的間歇拍攝。這樣，也可以縮短生產(chǎn)時間，同時即使不能完全排除錯誤判定也可降低產(chǎn)生錯誤判定的概率。
另外，在上述各實施方式中，說明了本發(fā)明所涉及的元件移載裝置應(yīng)用于表面安裝機1的例子，但本發(fā)明所涉及的元件移載裝置，也可應(yīng)用于將電子元件從元件供給部移載到檢查部的元件檢查裝置。即，通過元件移載裝置將電子元件從未檢查元件托盤(tray)搬送載放在檢查座(socket)上，在此狀態(tài)下經(jīng)由上述檢查座向電子元件輸入檢查用電流，同時通過不同于上述元件檢查裝置的其他電路檢查裝置接收輸出電流，以此判斷電子元件是否良好。檢查結(jié)束后，根據(jù)電路檢查結(jié)果，通過元件移載裝置將電子元件從檢查座搬送至檢查合格品托盤或檢查不合格品托盤。
裝備有本發(fā)明所涉及的元件移載裝置的元件檢查裝置，可正確地進行有無被檢查電子元件的吸附錯誤、所吸附被檢查電子元件的正誤、吸嘴自身有無異常等判斷。
第三實施方式在第一實施方式中，對通過比較吸嘴吸附電子元件時的狀態(tài)的圖像與吸嘴單體的圖像而檢測出電子元件吸附狀態(tài)的方法，以及通過比較吸嘴單體的實際側(cè)面圖像和作為正常基準的吸嘴單體的基準側(cè)面圖像而檢測出吸嘴異常等最終造成安裝不良的原因、即檢測出吸嘴有無殘缺或有無異物附著的方法進行了說明。另外，作為在吸嘴吸附電子元件的狀態(tài)下，檢測出吸嘴的殘缺或異物附著等造成安裝不良的原因的方法，也可以采用本發(fā)明的異常判定方法。
以下，結(jié)合圖14～圖18對本發(fā)明所涉及的異常判定方法的實施方式加以說明。
圖14是表示實施判定有無異物的方法時所執(zhí)行的圖像處理的模式圖。圖15是表示在吸嘴與安裝用元件之間夾有異物時的側(cè)視圖。圖16是表示安裝元件的周圍附著有異物時的側(cè)視圖。圖17是表示安裝元件的吸附位置在轉(zhuǎn)動方向和水平方向產(chǎn)生偏差時的示意圖，其中，圖17(A)是吸嘴和安裝元件的側(cè)視圖，圖17(B)是底面的示意圖。另外，在圖17(B)中，通過兩點劃線表示吸嘴的基準側(cè)面圖像。圖18是說明從元件吸附到安裝元件的運作的流程圖。
本實施方式，以上述第一實施方式中的表面安裝機1實施本發(fā)明所涉及的異常判定方法為例加以說明。在此，對上述圖1～圖4中說明過的裝置、構(gòu)件，賦予相同的符號，其說明從略。
本實施方式的異常判定方法，如圖14(A)所示，生成表示從側(cè)方觀測的未附著異物的吸嘴23和安裝元件6(電子元件)的圖像數(shù)據(jù)61(以下稱該圖像數(shù)據(jù)為基準側(cè)面圖像數(shù)據(jù)61)，然后將其存儲在圖4所示的設(shè)備信息存儲單元45中。在本實施方式中，通過圖像處理合成吸嘴23的側(cè)面圖像數(shù)據(jù)62和安裝元件6的側(cè)面圖像數(shù)據(jù)63，從而生成基準側(cè)面圖像數(shù)據(jù)61。另外，上述基準側(cè)面圖像數(shù)據(jù)61，也可以使洗凈后且未進行元件安裝(未附著有異物的狀態(tài))的吸嘴23吸附安裝元件6，并通過攝像機拍攝在此吸附狀態(tài)下的上述吸嘴23和安裝元件6而予以生成。
吸嘴23的側(cè)面圖像數(shù)據(jù)62，通過攝像機拍攝(例如側(cè)面圖像攝像用攝像機34)吸嘴單體而予以生成。上述吸嘴23，在拍攝之前可通過洗凈處理等先除去異物。安裝元件6的側(cè)面圖像數(shù)據(jù)63，通過攝像機(未圖示)拍攝洗凈后的新的安裝元件6而予以生成，或使用安裝元件6的CAD數(shù)據(jù)予以生成。上述安裝元件6的側(cè)面圖像數(shù)據(jù)63，可預(yù)先存儲在圖4所示的裝載信息存儲單元44中。
本實施方式的異常判定方法，可在吸嘴23吸附安裝元件6的次數(shù)超過規(guī)定次數(shù)時，通過側(cè)面圖像拍攝用攝像機34拍攝從側(cè)面觀測吸嘴23和安裝元件6的圖像，然后如圖14(B)所示，生成圖像數(shù)據(jù)64(以下稱該圖像數(shù)據(jù)為實際側(cè)面圖像數(shù)據(jù)64)。上述實際側(cè)面圖像數(shù)據(jù)64的生成，可通過圖4所示的第2圖像獲取裝置執(zhí)行。上述實際側(cè)面圖像數(shù)據(jù)64，可在實際通過吸嘴23將安裝元件6移載至基板3時，通過拍攝予以生成。
然后，如圖14(B)所示，根據(jù)上述實際側(cè)面圖像數(shù)據(jù)64與上述基準側(cè)面圖像數(shù)據(jù)61的差分生成差分圖像數(shù)據(jù)65。上述差分圖像數(shù)據(jù)65，表示附著在吸嘴23或安裝元件6上的異物。根據(jù)圖14(B)所示的差分圖像數(shù)據(jù)65可知，吸嘴23的上部附著有異物66。
本實施方式的異常判定方法，通過比較實際側(cè)面圖像數(shù)據(jù)64和基準側(cè)面圖像數(shù)據(jù)61，可確實可靠地檢測出從安裝元件6及吸嘴23的表面突出的異物，從而可正確地判斷有無異物。另外，若吸嘴23前端部的外周附著有異物66，在安裝過程中該異物66會掉落在基板3上，并進入安裝用元件6的下方，使呈圖案狀涂敷或印刷的相鄰糊狀焊料可能產(chǎn)生橋接，從而造成安裝用元件6的安裝不良。
在生成實際側(cè)面圖像數(shù)據(jù)64與基準側(cè)面圖像數(shù)據(jù)61的差分圖像數(shù)據(jù)65時，作為表示安裝用元件6及其周圍的圖像，有時會獲得圖15及圖16所示的圖像。圖15所示的圖像中，包括安裝元件6的基準側(cè)面圖像數(shù)據(jù)67(圖15中以向左下方傾斜剖面線表示的部分)、實際側(cè)面圖像數(shù)據(jù)69(圖15中以向右下方傾斜剖面線表示的部分)、以及上述圖像數(shù)據(jù)重疊時相重疊的部分68。當獲得上述圖像時，可判定在吸嘴23與安裝用元件6之間夾有異物66。另外，通過比較圖9(b)、圖9(c)的左端的實際側(cè)面圖像數(shù)據(jù)和圖14(A)的右端的基準側(cè)面圖像數(shù)據(jù)61，可判斷安裝元件6呈傾斜吸附，因此可在安裝元件6被吸嘴23吸附的狀態(tài)下，檢測出吸嘴23的前端部缺損等引起造成安裝不良的吸附不良的原因。
在圖16所示的圖像中，實際側(cè)面圖像數(shù)據(jù)69(圖16中以向右下方傾斜剖面線表示的部分)存在于上述重疊部分68的周圍。此時，判定安裝元件6的周圍附著有異物66。通過上述圖像處理而進行有無異物的判定，可通過圖4所示的圖像處理單元54予以執(zhí)行。另外，即使安裝元件6被吸嘴23正確吸附，但安裝元件6的非吸附面(安裝面)附著有異物66，則安裝元件6安裝之后也會發(fā)生傾斜，從而使安裝元件6的電極從基板3上的糊狀焊料脫離，從而造成安裝不良。另外，在吸嘴23吸附安裝元件6的狀態(tài)下，當安裝元件6的安裝面以外的外周面附著有異物66時，在安裝過程中若異物66掉落在基板3上，會使呈圖案狀涂敷或印刷的相鄰糊狀焊料產(chǎn)生橋接，從而造成安裝元件6的安裝不良。
當吸嘴23吸附安裝元件6時，如圖17(A)、(B)所示，安裝元件6相對于吸嘴23可能在水平方向、以及圍繞上下方向軸線的轉(zhuǎn)動方向上產(chǎn)生位置偏差。此時，實際側(cè)面圖像數(shù)據(jù)64與基準側(cè)面圖像數(shù)據(jù)61之間將出現(xiàn)較大差異，若只單純地將上述兩圖像數(shù)據(jù)作比較，將不能判定有無異物66。
為解決上述問題，本實施方式的異常判定方法，可在吸嘴23吸附安裝元件6的狀態(tài)下，通過底面圖像拍攝用攝像機31拍攝吸嘴23和安裝元件6的底面圖像，以檢測出在轉(zhuǎn)動方向上的位置偏差，然后根據(jù)該位置偏離修正基準側(cè)面圖像數(shù)據(jù)61。具體而言，可如圖17(B)所示，使基準側(cè)面圖像數(shù)據(jù)61圍繞上下方向軸線轉(zhuǎn)動根據(jù)底面圖像求出的位置偏差角度θ而進行修正。為執(zhí)行上述修正，可預(yù)先準備多個拍攝方向不同的基準側(cè)面圖像數(shù)據(jù)61，或預(yù)先準備三維數(shù)據(jù)作為基準側(cè)面圖像數(shù)據(jù)61。
另外，針對水平方向上的位置偏差，可對應(yīng)于當前的吸嘴23的中心C1和安裝元件6的中心C2的位置，使安裝元件6的基準側(cè)面圖像數(shù)據(jù)相對于吸嘴23的基準側(cè)面圖像數(shù)據(jù)進行水平方向移動，并在該移動后的狀態(tài)下合成上述兩個側(cè)面圖像數(shù)據(jù)，以此生成基準側(cè)面圖像數(shù)據(jù)。即，采用本實施方式，通過比較拍攝處于吸附位置偏差狀態(tài)的吸嘴23和安裝元件6而獲取的實際側(cè)面圖像數(shù)據(jù)和模仿發(fā)生吸附位置偏差狀態(tài)而生成的基準側(cè)面圖像數(shù)據(jù)，可在具有吸附位置偏差的狀態(tài)下判定有無異物66附著。
上述在具有吸附位置偏差的狀態(tài)下對有無異物66附著的判定，可以如圖18所示的步驟予以進行。即，如圖18的流程圖的步驟P1至步驟P4所示，與第1實施方式相同使用底面圖像計算補正量后，進入步驟100，從裝載信息存儲單元44讀取安裝元件6的基準側(cè)面圖像數(shù)據(jù)63。另外，根據(jù)在步驟P3所拍攝的圖像所計算出的在轉(zhuǎn)動方向上的位置偏差，使上述安裝元件6的基準側(cè)面圖像數(shù)據(jù)63圍繞上下方向軸線轉(zhuǎn)動一定角度。
然后，進入步驟101，從設(shè)備信息存儲單元45等讀取吸嘴23的基準側(cè)面圖像數(shù)據(jù)62，接著進入步驟102，合成安裝元件6的基準側(cè)面圖像數(shù)據(jù)63和吸嘴23的基準側(cè)面圖像數(shù)據(jù)62，生成基準側(cè)面圖像數(shù)據(jù)61。
之后，進入步驟103，在吸嘴23吸附安裝元件6的狀態(tài)下，拍攝側(cè)面圖像，生成實際側(cè)面圖像數(shù)據(jù)64。接著，在步驟104，比較實際側(cè)面圖像數(shù)據(jù)64和基準側(cè)面圖像數(shù)據(jù)61，生成差分圖像數(shù)據(jù)65，然后在步驟105，根據(jù)上述差分圖像數(shù)據(jù)65判定安裝元件6或吸嘴23有無異物附著。
在上述步驟P105，當判定安裝元件6或吸嘴23無異物66附著時，進入步驟P106，將安裝元件6安裝在基板上。相反，在上述步驟P105，當判定有異物附著時，進入步驟P107，進行錯誤處理。作為上述錯誤處理，可與第1實施方式相同，通過顯示裝置7顯示出錯信息，同時等待操作員進行修復(fù)處理。
另外，可如第1實施方式所示，在步驟105與步驟106之間，判斷吸嘴23的缺損、安裝元件6的形狀好壞、安裝元件6的厚度的正誤等。
因此，本實施方式的異常判定方法，由于可判定造成吸嘴23污損原因之一的異物66附著的有無，所以可確實可靠地防止因吸嘴23的污損而造成吸附不良，以引起作業(yè)效率下降。其結(jié)果，裝備有實施上述異常判定方法的元件移載裝置7的表面安裝機1，可確實可靠地防止因異物66附著而造成吸附錯誤。
本實施方式，通過圖像處理來合成安裝元件6的基準側(cè)面圖像數(shù)據(jù)63和吸嘴23的基準側(cè)面圖像數(shù)據(jù)62，以此生成基準側(cè)面圖像數(shù)據(jù)61，因此與針對全部種類的安裝元件6準備被吸嘴23吸附狀態(tài)的基準側(cè)面圖像數(shù)據(jù)相比，可將圖像數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)量抑制在較小范圍內(nèi)。另外，安裝元件6的基準側(cè)面圖像數(shù)據(jù)63，可利用制造該安裝元件的CAD數(shù)據(jù)予生成，這樣，就無需為生成安裝元件6的基準側(cè)面圖像數(shù)據(jù)63而進行拍攝，從而可容易地生成上述圖像數(shù)據(jù)。
本實施方式的異常判定方法，還可包括生成安裝元件6和吸嘴23的底面圖像的步驟；根據(jù)上述底面圖像檢測出安裝元件6被吸附時相對于吸嘴23的中心在轉(zhuǎn)動方向上的位置偏差的步驟；以及根據(jù)上述在轉(zhuǎn)動方向上的位置偏差來修正基準側(cè)面圖像數(shù)據(jù)61的步驟。因此，采用本實施方式的異常判定方法，在為了生成實際側(cè)面圖像數(shù)據(jù)64而進行拍攝時，即使安裝元件6以相對于吸嘴23在轉(zhuǎn)動方向上具有位置偏差的狀態(tài)予以吸附，也可正確地判定有無異物66附著。
本實施方式的異常判定方法，還可包括生成安裝元件6和吸嘴23的底面圖像的步驟；根據(jù)上述底面圖像檢測出安裝元件6被吸附時相對于吸嘴23在水平方向上的位置偏差的步驟；以及根據(jù)上述在水平方向上的位置偏差來修正基準側(cè)面圖像數(shù)據(jù)61的步驟。因此，采用本實施方式的異常判定方法，在為了生成實際側(cè)面圖像數(shù)據(jù)64而進行拍攝時，即使安裝元件6以相對于吸嘴23在水平方向上具有位置偏差的狀態(tài)予以吸附，也可正確地判定有無異物66附著。
上述實施方式，就本發(fā)明所涉及的元件安裝裝置應(yīng)用于表面安裝機的例子進行了說明，但本發(fā)明也適用于進行如下操作的IC自動搬送裝置(IC handler)，吸附未檢查元件(電子元件)，將其搬送至檢查座(socket)上方，然后將該未檢查元件按壓在上述檢查座上，檢查完畢后通過吸嘴吸附已檢查元件，將其從上述檢查座取出，并移動至已檢查元件的收容部。當元件移載裝置應(yīng)用于上述IC自動搬送裝置時，也會因為吸嘴的缺損、吸嘴前端部的外周面或吸嘴前端的吸附面附著有異物、未檢查元件的外周面附著有異物等，造成被檢查元件相對于檢查座(被安裝部)產(chǎn)生安裝不良，但通過本發(fā)明，可在將未檢查元件安裝到用于檢查的檢查座的過程中，檢測出吸嘴缺損、吸嘴或未檢查元件附著有異物等引起安裝不良的原因。
如上所述，采用本發(fā)明，由于可檢測出引起安裝不良的原因，所以能進行適當?shù)膶?yīng)，因而可確實可靠地防止安裝效率(例如，表面安裝機的安裝效率，IC自動搬送裝置的向檢查座移載元件的載置效率等)下降。
權(quán)利要求
1.一種元件移載裝置，其特征在于包括，吸附電子元件的吸嘴；攝像單元，從側(cè)面拍攝上述吸嘴及該吸嘴所吸附的電子元件的圖像；存儲器，存儲從側(cè)面拍攝上述電子元件而獲得的電子元件單體的圖像的圖像數(shù)據(jù)；第1圖像獲取單元，獲取通過上述攝像裝置拍攝處于未吸附上述電子元件狀態(tài)的上述吸嘴而獲得的吸嘴單體的圖像；第2圖像獲取單元，獲取通過上述攝像裝置拍攝處于吸附上述電子元件狀態(tài)的上述吸嘴和上述電子元件而獲得的元件吸附狀態(tài)圖像；圖像處理單元，根據(jù)上述元件吸附狀態(tài)圖像和上述吸嘴單體的圖像的差分產(chǎn)生差分圖像數(shù)據(jù)；判定單元，通過比較上述差分圖像數(shù)據(jù)與上述電子元件單體圖像數(shù)據(jù)，判定吸嘴的吸附面是否良好。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的元件移載裝置，其特征在于上述第1圖像獲取單元，從吸嘴單體的圖像測量出吸嘴前端部的長度和吸嘴的吸附面的平坦度，當吸嘴前端部的長度和吸附面的平坦度中的至少一方與預(yù)先規(guī)定的基準值不相符時，錯誤處理予以執(zhí)行。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的元件移載裝置，其特征在于還包括，保存通過上述第1圖像獲取單元獲取的圖像數(shù)據(jù)的保存單元，該保存單元，僅在上述測量出的吸嘴前端部的長度和吸附面的平坦度與預(yù)先規(guī)定的基準值相一致時保存上述圖像數(shù)據(jù)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的元件移載裝置，其特征在于，還包括，設(shè)置在吸嘴的可移動范圍內(nèi)，具有吸嘴可從上方予以插入的清掃部的清掃裝置；上述第1圖像獲取單元，獲取由上述攝像單元所拍攝的經(jīng)上述清掃裝置清掃過的吸嘴的圖像。
5.一種表面安裝機，其特征在于包括權(quán)利要求1至4中任意一項所述的元件移載裝置，該元件移載裝置將安裝元件從元件供給部移載到印刷電路板。
6.一種元件檢查裝置，其特征在于包括權(quán)利要求1至4中任意一項所述的元件移載裝置，該元件移載裝置將被檢查電子元件從元件供給部移載到檢查部。
7.一種元件移載裝置，其特征在于包括，吸附電子元件的吸嘴；攝像單元，從側(cè)面拍攝上述吸嘴及該吸嘴所吸附的電子元件的圖像；圖像處理單元，以上述攝像單元所拍攝的吸嘴單體的圖像為基準，通過比較該基準圖像與從側(cè)面所拍攝的上述吸嘴及該吸嘴所吸附的電子元件的圖像，來判定吸嘴及該吸嘴所吸附的電子元件是否良好；清掃裝置，設(shè)置在吸嘴的可移動范圍內(nèi)，具有吸嘴可從上方予以插入的清掃部；圖像獲取單元，獲取由上述攝像單元所拍攝的經(jīng)上述清掃裝置清掃過的吸嘴的基準圖像。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的元件移載裝置，其特征在于上述清掃裝置的清掃部，包括用于空氣清掃的清掃室，由吸嘴可從上方予以插入的孔構(gòu)成；排氣通路，使上述清掃室的下端部與清掃室外部連通；清掃用空氣的通路，設(shè)置在上述清掃室的壁面，開口位置對應(yīng)于插入該清掃室內(nèi)的吸嘴下端部的高度；空氣供給單元，向上述清掃用空氣的通路及吸嘴的吸引通路供給加壓空氣，以使空氣進入清掃室內(nèi)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的元件移載裝置，其特征在于上述清掃裝置，包括多個清掃室，上述清掃室，設(shè)置在對應(yīng)于設(shè)置有多個具有吸嘴的移載頭部的頭部單元的各個吸嘴的位置上。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的元件移載裝置，其特征在于上述清掃裝置的清掃部，包括面向上述吸嘴予以設(shè)置的洗凈槽，用于存儲洗凈液，且允許上述吸嘴的吸附部浸漬在上述洗凈液中；洗凈單元，使上述洗凈液在洗凈槽內(nèi)移動。
11.一種表面安裝機，其特征在于包括權(quán)利要求7至10中任意一項所述的元件移載裝置，該元件移載裝置將安裝用元件從元件供給部移載到印刷電路板。
12.一種元件檢查裝置，其特征在于包括權(quán)利要求7至10中任意一項所述的元件移載裝置，該元件移載裝置將被檢查電子元件從元件供給部移載到檢查部。
13.一種異常判定方法，其特征在于包括，生成顯示使用于吸附移載電子元件的元件移載裝置且未附著異物的吸嘴的從側(cè)面觀測的基準側(cè)面圖像數(shù)據(jù)的步驟；通過從側(cè)面拍攝在使用環(huán)境下的吸嘴生成實際側(cè)面圖像數(shù)據(jù)的步驟；通過比較上述基準側(cè)面圖像數(shù)據(jù)和實際側(cè)面圖像數(shù)據(jù)來判定有無異常的異常判定步驟。
14.一種異常判定方法，其特征在于包括，生成顯示使用于吸附移載電子元件的元件移載裝置且未附著異物的吸嘴以及電子元件的從側(cè)面觀測的基準側(cè)面圖像數(shù)據(jù)的步驟；通過從側(cè)面拍攝在使用環(huán)境下的吸嘴以及該吸嘴所吸附的電子元件生成實際側(cè)面圖像數(shù)據(jù)的步驟；通過比較上述基準側(cè)面圖像數(shù)據(jù)和實際側(cè)面圖像數(shù)據(jù)來判定有無吸附異常的異常判定步驟。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的異常判定方法，其特征在于上述基準側(cè)面圖像數(shù)據(jù)，由電子元件的側(cè)面圖像數(shù)據(jù)和吸嘴的側(cè)面圖像數(shù)據(jù)通過圖像處理組合而成。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的異常判定方法，其特征在于上述電子元件的側(cè)面圖像數(shù)據(jù)，通過顯示電子元件的形狀的CAD數(shù)據(jù)予以生成。
17.根據(jù)權(quán)利要求14～16中任意一項所述的異常判定方法，其特征在于還包括，從下方拍攝吸嘴所吸附的電子元件生成底面圖像的步驟；根據(jù)上述底面圖像檢測出電子元件被吸附時相對于吸嘴中心在轉(zhuǎn)動方向上的位置偏差的步驟；根據(jù)上述在轉(zhuǎn)動方向上的位置偏差來修正上述基準側(cè)面圖像數(shù)據(jù)的步驟。
18.根據(jù)權(quán)利要求14～16中任意一項所述的異常判定方法，其特征在于還包括，從下方拍攝吸嘴所吸附的電子元件生成底面圖像的步驟；根據(jù)上述底面圖像檢測出電子元件被吸附時相對于吸嘴在水平方向上的位置偏差的步驟；根據(jù)上述在水平方向上的位置偏差來修正上述基準側(cè)面圖像數(shù)據(jù)的步驟。
19.一種元件移載裝置，其特征在于包括執(zhí)行上述權(quán)利要求13～18中任意一項所述的異常判定方法的控制裝置。
全文摘要
本發(fā)明的元件移載裝置，包括存儲從側(cè)面拍攝電子元件而獲得的電子元件單體的圖像的圖像數(shù)據(jù)的存儲器(搭載信息存儲單元)；獲取吸嘴單體的圖像的第1圖像獲取單元；獲取元件吸附狀態(tài)的圖像的第2圖像獲取單元；根據(jù)元件吸附狀態(tài)的圖像與吸嘴單體的圖像差分產(chǎn)生差分圖像數(shù)據(jù)的圖像處理單元；通過比較上述差分圖像數(shù)據(jù)和上述電子元件單體的圖像數(shù)據(jù)判定吸嘴的吸附面是否良好的判定單元。采用本發(fā)明，可檢測出引起安裝不良的原因，以此防止移載效率的下降。
文檔編號H05K13/04GK1842269SQ200610071010
公開日2006年10月4日 申請日期2006年3月30日 優(yōu)先權(quán)日2005年3月30日
發(fā)明者山田剛 申請人:雅馬哈發(fā)動機株式會社