專利名稱：有機(jī)發(fā)光元件缺陷修復(fù)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明關(guān)于一種有機(jī)發(fā)光元件缺陷修復(fù)裝置，特別是一種能夠修復(fù)實(shí)質(zhì)短路處的有機(jī)發(fā)光元件缺陷修復(fù)裝置。
背景技術(shù)：
在有機(jī)發(fā)光元件以及有機(jī)電致發(fā)光顯示器的制作流程中，需經(jīng)過光刻法(photolithography)定義出導(dǎo)電陽極與輔助陽極，接著于真空腔體內(nèi)進(jìn)行有機(jī)材料以及無機(jī)材料(陰極層)的鍍膜。其中，無機(jī)材料包括陰極層。由于有機(jī)發(fā)光元件對水氣與氧氣等環(huán)境因素敏感且會(huì)影響其壽命，故需經(jīng)過封裝制程以維持元件的正常運(yùn)作。
在有機(jī)發(fā)光元件的制程過程中，常由于無塵室的潔凈度不足，使得雜質(zhì)(如氣泡或微粒)掉入有機(jī)發(fā)光元件中，而產(chǎn)生實(shí)質(zhì)短路的現(xiàn)象。同樣地，由于陽極基板的表面粗糙度過大，加上有機(jī)電致發(fā)光元件結(jié)構(gòu)本身薄弱，亦可能造成實(shí)質(zhì)短路的現(xiàn)象。在此，實(shí)質(zhì)短路的產(chǎn)生使得電流僅由缺陷處通過，而無法驅(qū)動(dòng)所有像素，進(jìn)而影響了元件的發(fā)光效率以及畫面顯示效果。若能以一有機(jī)發(fā)光元件缺陷修復(fù)裝置制作新穎結(jié)構(gòu)以改進(jìn)原本結(jié)構(gòu)的不佳的裝置，直接提高產(chǎn)品良率與信賴性，則有助于量產(chǎn)技術(shù)的提升，大幅降低制造的成本。
如圖1所示，現(xiàn)有技術(shù)中有機(jī)發(fā)光元件缺陷測量裝置3包括一傳輸室31、一電氣測試室32。有機(jī)發(fā)光元件在進(jìn)行封裝制程之后，亦即蓋上封合蓋并以光固膠粘著且照光后，再利用裂片機(jī)裂片成小面積的成品，接著經(jīng)由傳輸室31中的機(jī)器手臂311傳送至電氣測試室32中進(jìn)行電氣測試。元件在經(jīng)過板面測試之后，挑選出具有短路現(xiàn)象的有機(jī)發(fā)光元件。由于元件外層已經(jīng)進(jìn)行封裝，無法對于內(nèi)部的個(gè)別像素進(jìn)行缺陷的修補(bǔ)，亦即無重工(Re-work)的可能，所以在經(jīng)過面板測試而發(fā)現(xiàn)其元件具有短路現(xiàn)象時(shí)，則必須直接淘汰整個(gè)元件?；诖嗽颍坏珪?huì)造成產(chǎn)品良率以及信賴度的下降，更會(huì)增加制造成本。
發(fā)明人本著積極創(chuàng)新的精神，亟思一種可以解決上述問題的「有機(jī)發(fā)光元件缺陷修復(fù)裝置」，幾經(jīng)研究實(shí)驗(yàn)終至完成此發(fā)明。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的提供一種能修補(bǔ)像素缺陷、減少制造成本以及增加產(chǎn)品良率與信賴度的有機(jī)發(fā)光元件缺陷修復(fù)裝置。
為達(dá)上述目的，本發(fā)明提供一種有機(jī)發(fā)光元件缺陷修復(fù)裝置，用以修復(fù)具有實(shí)質(zhì)短路現(xiàn)象的有機(jī)發(fā)光元件，此有機(jī)發(fā)光元件缺陷修復(fù)裝置包含一傳輸室、一電氣測試室以及一隔絕層形成室。其中，傳輸室用以進(jìn)行有機(jī)發(fā)光元件的傳遞；電氣測試室設(shè)有一電源端，電源端提供一電流或電壓于有機(jī)發(fā)光元件中，以使有機(jī)發(fā)光元件的實(shí)質(zhì)短路處形成斷路；隔絕層形成室于有機(jī)發(fā)光元件的斷路處形成一隔絕層。本發(fā)明亦提供上述有機(jī)發(fā)光元件缺陷修復(fù)裝置的另一實(shí)施例，該實(shí)施例與上述有機(jī)發(fā)光元件缺陷修復(fù)裝置的不同之處，在于更包含一光電性檢測室；其中，光電性檢測室為檢測電氣室中有機(jī)發(fā)光元件亮度的強(qiáng)度和均勻度、色純度和短路程度，當(dāng)所檢測的短路處的比例少于一定值時(shí)或是漏電流低于一定值時(shí)，于后續(xù)的隔絕層形成室中，在斷路處形成一隔絕層。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，在本發(fā)明中提供一種有機(jī)發(fā)光元件缺陷修復(fù)裝置，此裝置能夠在進(jìn)行封裝步驟之前，修復(fù)有機(jī)發(fā)光元件中具有像素缺陷的部分。修復(fù)的方法使具有像素缺陷的部分喪失其導(dǎo)電性質(zhì)，讓原本具有缺陷處的像素能夠與相鄰無缺陷的像素具有同等的發(fā)光能力。本發(fā)明能夠修復(fù)具有缺陷的有機(jī)發(fā)光元件，并無需直接淘汰整個(gè)面板，進(jìn)而降低了產(chǎn)品的制造成本，更進(jìn)一步增加了產(chǎn)品的良率以及信賴度。


圖1現(xiàn)有技術(shù)中的有機(jī)發(fā)光元件缺陷量測裝置的示意圖。
圖2本實(shí)施例的有機(jī)發(fā)光元件缺陷修復(fù)裝置的示意圖。
圖3為本發(fā)明另一實(shí)施例的有機(jī)發(fā)光元件缺陷修復(fù)裝置的示意圖。
圖中符號說明1 有機(jī)發(fā)光元件缺陷修復(fù)裝置11傳輸室12電氣測試室13隔絕層形成室14固膠涂布室15封合蓋設(shè)置室16光照室或加熱室21傳輸室22電氣測試室23光電性檢測室24隔絕層形成室25固膠涂布室26封合蓋設(shè)置室27光照室或加熱室3 有機(jī)發(fā)光元件缺陷量測裝置31傳輸室311 機(jī)器手臂32電氣測試室
具體實(shí)施例方式
以下將參照相關(guān)附圖，說明依據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的一種有機(jī)發(fā)光元件缺陷修復(fù)裝置。
如圖2所示，本發(fā)明提供一種有機(jī)發(fā)光元件缺陷修復(fù)裝置1，用以修復(fù)具有實(shí)質(zhì)短路現(xiàn)象的一有機(jī)發(fā)光元件，有機(jī)發(fā)光元件包含一基板、一第一電極、一有機(jī)發(fā)光層以及一第二電極，此有機(jī)發(fā)光元件缺陷修復(fù)裝置1包含一傳輸室11、一電氣測試室12以及一隔絕層形成室13。
其中，傳輸室11用以進(jìn)行有機(jī)發(fā)光元件的傳遞；電氣測試室12設(shè)有一電源端(未顯示圖中)，電源端提供一電流或電壓于有機(jī)發(fā)光元件的第一電極與第二電極，以使有機(jī)發(fā)光元件的實(shí)質(zhì)短路處形成斷路；隔絕層形成室13于有機(jī)發(fā)光元件的斷路處形成一隔絕層。
本實(shí)施例的傳輸室11為一多邊形的配置構(gòu)造(于圖2中為六邊形)，且設(shè)有一機(jī)器手臂111。在進(jìn)行有機(jī)發(fā)光元件缺陷修復(fù)使，利用手臂111連續(xù)地將有機(jī)發(fā)光元件搬送至于電氣測試室12或是隔絕層形成室13中，用以進(jìn)行電氣測試步驟或是隔絕層形成步驟。
由于有機(jī)發(fā)光元件的材料對于水分非常敏感，在與大氣接觸后容易產(chǎn)生暗點(diǎn)(Dark Spot)，所以傳輸室11能進(jìn)行排氣而成真空狀態(tài)，讓制程在真空環(huán)境下進(jìn)行，減少暗點(diǎn)的產(chǎn)生。傳輸室11中的排氣系統(tǒng)(未顯示圖中)可由油回轉(zhuǎn)泵、機(jī)械式泵、渦輪分子泵(Turbo molecularpump)、低溫泵所構(gòu)成，使傳輸室11能在短時(shí)間內(nèi)達(dá)到真空的狀態(tài)。
為減少有機(jī)發(fā)光元件暗點(diǎn)的產(chǎn)生，亦可將傳輸室11中充填惰性氣體(例如氮?dú)獾?，使制程在惰性氣氛下進(jìn)行。
首先，機(jī)器手臂111將有機(jī)發(fā)光元件搬至電氣測試室12中。在此，電氣測試室12設(shè)有一電源端，電源端提供一電流或電壓于有機(jī)發(fā)光元件的第一電極與第二電極，亦即在第一電極與第二電極間分別施以一正電壓及一負(fù)電壓，以使有機(jī)發(fā)光元件的實(shí)質(zhì)短路處形成斷路。相同地，在第一電極與第二電極間亦可分別施以一負(fù)電壓以及一正電壓。
電氣測試室為一緩沖腔體(buffer chamber)或是單一腔體(singlechamber)的環(huán)境，其內(nèi)部為真空，同時(shí)亦能充填(vent)惰性氣氛。
在有機(jī)發(fā)光元件中，實(shí)質(zhì)斷路會(huì)造成漏電流、耗電以及像素不良的情形。在此，實(shí)質(zhì)短路指真正短路或是接近短路的情況。造成有機(jī)發(fā)光元件實(shí)質(zhì)短路的情況主要有二其一于有機(jī)發(fā)光元件的制程中，不管如何控制無塵室環(huán)境的潔凈度，總會(huì)有少量的雜質(zhì)(如氣泡或微粒)掉入有機(jī)發(fā)光元件中，而使在形成第二電極時(shí)，導(dǎo)致第二電極接觸或?qū)嵸|(zhì)接觸第一電極，進(jìn)而造成有機(jī)發(fā)光元件的實(shí)質(zhì)短路。另外，當(dāng)?shù)谝浑姌O表面的粗糙度過大時(shí)，例如在第一電極的表面上形成有尖端時(shí)，亦有可能產(chǎn)生實(shí)質(zhì)短路的情況。
在電氣測試室中，因?yàn)槭┘佣妷翰欢娏鲿r(shí)，有缺陷的面板在正向電壓下所耗用的電流會(huì)比正常電流值為高，而在負(fù)向電壓下，有缺陷的面板則會(huì)產(chǎn)生較高的漏電流。而施加正向的定電流不定電壓時(shí)，面板的亮度會(huì)比較低或不均勻，如果配合光電二極管(photodiode)轉(zhuǎn)換成電壓值或圖像來比對，誤差值會(huì)增加。
接著，機(jī)器手臂111將形成斷路的有機(jī)發(fā)光元件搬至隔絕層形成室13中，在有機(jī)發(fā)光元件的斷路處以真空鍍膜方式形成一隔絕層。由于在電氣測試室12中，短路處因?yàn)楹须s質(zhì)而產(chǎn)生氣爆的情形，使得有機(jī)發(fā)光元件的有機(jī)發(fā)光層與第二電極形成向外翹曲的情形；或是短路處因第一電極表面的尖端受熱融化，使得有機(jī)發(fā)光層與第二電極同樣形成翹曲。由于在有機(jī)發(fā)光元件制程步驟中，基板鍍膜面多為向下，因此，斷路處若不即時(shí)形成一隔絕層，在往后的制作步驟中，只要基板鍍膜面有機(jī)會(huì)被翻轉(zhuǎn)向上，翹曲的第二電極可能又接觸到第一電極而再次形成短路。
在此，隔絕層的材料可為構(gòu)成有機(jī)發(fā)光層的有機(jī)材料，例如空穴注入層、空穴傳遞層、發(fā)光層、電子傳遞層以及電子注入層的材料，或是具有高電阻的無機(jī)材料如氮化硅、氧化硅以及氮氧化硅。另外，與鈍化保護(hù)層鍍膜系統(tǒng)(passivation coating system)連結(jié)時(shí)，更可用具有高電阻的高分子當(dāng)作隔絕層材料，如氟化樹脂、Parylene。此外，隔絕層亦可于在一不含水氣的含氧氣氛中氧化第二電極而形成，亦即隔絕層為一金屬氧化層物。
有機(jī)發(fā)光元件缺陷修復(fù)裝置1更包含一個(gè)膠涂布室14，其依照預(yù)定的圖案將一光固膠或熱固膠形成于具有隔絕層的有機(jī)發(fā)光元件基板上。其中，光固膠為一紫外光膠，照射紫外光可將光固膠固化。另外，光固膠或熱固膠需已進(jìn)行氣泡脫泡的處理，確定已無水分的存在。
接著，有機(jī)發(fā)光元件缺陷修復(fù)裝置1更包含一封合蓋設(shè)置室15，將一封合蓋設(shè)置于形成有固膠的基板上。封合蓋內(nèi)注有一干燥劑，亦用以去除封合后有機(jī)發(fā)光元件內(nèi)的水分，增長元件的使用壽命。
再者，有機(jī)發(fā)光元件缺陷修復(fù)裝置1更包含一光照室或加熱室16，照射紫外光于光固膠用以固化光固膠，或?qū)峁棠z加熱用以固化熱固膠，而將封合蓋封合。
如圖3所示，本發(fā)明提供的另一實(shí)施例的一種有機(jī)發(fā)光元件缺陷修復(fù)裝置，用以修復(fù)具有實(shí)質(zhì)短路現(xiàn)象的一有機(jī)發(fā)光元件，該有機(jī)發(fā)光元件包含一基板、一第一電極、一有機(jī)發(fā)光層以及一第二電極，此有機(jī)發(fā)光元件缺陷修復(fù)裝置1包含一傳輸室21、一電氣測試室22、一光電性檢測室23以及一隔絕層形成室24。
其中，不同于上述實(shí)施例，光電性檢測室23檢測于電氣測試室22中有機(jī)發(fā)光元件的短路程度。在此，短路程度為短路處除以斷路處的比例，或是漏電流的程度。當(dāng)光電性檢測室23中所檢測短路程度為短路處除以斷路處的比例少于一定值時(shí)，或是漏電流低于一定值時(shí)，則于隔絕層形成室24中在斷路處形成一隔絕層。
在光電性檢測室23中，當(dāng)有機(jī)發(fā)光元件的短路程度大于一定值，亦即利用漏電流平均值或亮度檢測所得的誤差結(jié)果大于可接受值時(shí)，在隔絕層形成室24中，將不在有機(jī)發(fā)光元件的斷路處形成一隔絕層。而當(dāng)有機(jī)發(fā)光元件的短路程度少于一定值時(shí)，在隔絕層形成室24中，將在有機(jī)發(fā)光元件的斷路處形成一隔絕層。當(dāng)光電性檢測室23中進(jìn)行的檢測步驟能夠減少隔絕層材料的損失，而只讓需要修補(bǔ)的有機(jī)發(fā)光元件繼續(xù)進(jìn)行隔絕層形成步驟。
本實(shí)施例的有機(jī)發(fā)光元件缺陷修復(fù)裝置更包含一固膠涂布室25、一封合蓋設(shè)置室26，以及一光照室或加熱室27。在本實(shí)施例中，除了光電性檢測室23與隔絕層形成室24與第一實(shí)施例不同之外，其余的元件以及特征皆與第一實(shí)施例相同。
本發(fā)明所提供的有機(jī)發(fā)光元件缺陷修復(fù)裝置，是將有機(jī)發(fā)光元件中具有實(shí)質(zhì)短路缺陷處加以修復(fù)，使得原本因?qū)嵸|(zhì)短路而無法驅(qū)動(dòng)的像素能夠與相鄰無缺陷的像素具有相等的發(fā)光能力，如效率、亮度以及色純度等。與現(xiàn)有技術(shù)中相比，本裝置解決了因?qū)嵸|(zhì)短路而造成的漏電流、耗電以及畫質(zhì)不佳的現(xiàn)象。再者，在封裝步驟之前即測試出短路的現(xiàn)象并加以修補(bǔ)，而無須負(fù)擔(dān)如現(xiàn)有技術(shù)中在封裝步驟之后雖發(fā)現(xiàn)實(shí)質(zhì)短路卻無法修補(bǔ)而只能淘汰的有機(jī)發(fā)光元件面板成品的制造成本，降低了制造成本，更進(jìn)一步提高了產(chǎn)品良率以及信賴度。
上述僅為舉例的實(shí)施例，而非為限制性。任何未脫離本發(fā)明的精神與范圍，而對其進(jìn)行的等效修改或變更，均應(yīng)包含于所述的權(quán)利要求范圍中。
權(quán)利要求
1.一種有機(jī)發(fā)光元件缺陷修復(fù)裝置，用以修復(fù)具有實(shí)質(zhì)短路現(xiàn)象的一有機(jī)發(fā)光元件，其特征在于，該有機(jī)發(fā)光元件缺陷修復(fù)裝置包含一傳輸室，用以進(jìn)行該有機(jī)發(fā)光元件的傳遞；一電氣測試室，設(shè)有一電源端，該電源端提供一電流或電壓于該有機(jī)發(fā)光元件中，以使該有機(jī)發(fā)光元件的實(shí)質(zhì)短路處形成斷路；以及一隔絕層形成室，于該有機(jī)發(fā)光元件的斷路處上形成一隔絕層。
2.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)發(fā)光元件缺陷修復(fù)裝置，其特征在于，該有機(jī)發(fā)光元件包含一基板、一第一電極、一有機(jī)發(fā)光層以及一第二電極，該第一電極與該第二電極分別電連接于該電源端。
3.如權(quán)利要求2所述的有機(jī)發(fā)光元件缺陷修復(fù)裝置，其特征在于，更包含一固膠涂布室，依照預(yù)定的圖案將一光固膠或熱固膠形成于該基板上。
4.如權(quán)利要求3所述的有機(jī)發(fā)光元件缺陷修復(fù)裝置，其特征在于，該光固膠為一紫外光膠。
5.如權(quán)利要求3所述的有機(jī)發(fā)光元件缺陷修復(fù)裝置，其特征在于，更包含一封合蓋設(shè)置室，將一封合蓋設(shè)置于形成有該光固膠或熱固膠的基板上；以及一光照室或加熱室，照射紫外光于該光固膠，或?qū)υ摕峁棠z加熱。
6.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)發(fā)光元件缺陷修復(fù)裝置，其特征在于，該傳輸室設(shè)有一機(jī)器手臂。
7.如權(quán)利要求2所述的有機(jī)發(fā)光元件缺陷修復(fù)裝置，其特征在于，于該隔絕層形成室中，在一不含水的含氧氣氛中氧化該第二電極。
8.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)發(fā)光元件缺陷修復(fù)裝置，其特征在于，該隔絕層材料與該有機(jī)發(fā)光層材料相同。
9.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)發(fā)光元件缺陷修復(fù)裝置，其特征在于，該隔絕層材料選自具有高電阻的有機(jī)以及無機(jī)材料的至少其一。
10.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)發(fā)光元件缺陷修復(fù)裝置，其特征在于，該隔絕層材料為一具有高電阻的高分子材料。
11.一種有機(jī)發(fā)光元件缺陷修復(fù)裝置，用以修復(fù)具有實(shí)質(zhì)短路現(xiàn)象的一有機(jī)發(fā)光元件，其特征在于，該有機(jī)發(fā)光元件缺陷修復(fù)裝置包含一傳輸室，系用以進(jìn)行該有機(jī)發(fā)光元件的傳遞；一電氣測試室，設(shè)有一電源端，該電源端提供一電流或電壓于該有機(jī)發(fā)光元件中，以使該有機(jī)發(fā)光元件的實(shí)質(zhì)短路處形成斷路；一光電性檢測室，檢測于該電氣測試室中該有機(jī)發(fā)光元件的光學(xué)特性及/或短路程度；以及一隔絕層形成室，當(dāng)該光電性檢測室中所檢測的光學(xué)特性及/或短路程度小于一定值時(shí)，于該斷路處形成一隔絕層。
12.如權(quán)利要求11所述的有機(jī)發(fā)光元件缺陷修復(fù)裝置，其特征在于，該有機(jī)發(fā)光元件包含一基板、一第一電極、一有機(jī)發(fā)光層以及一第二電極，該第一電極與該第二電極系分別電連接于該電源端。
13.如權(quán)利要求12所述的有機(jī)發(fā)光元件缺陷修復(fù)裝置，其特征在于，更包含一固膠涂布室，依照預(yù)定的圖案將一光固膠或熱固膠形成于該基板上。
14.如權(quán)利要求11所述的有機(jī)發(fā)光元件缺陷修復(fù)裝置，其特征在于，該光學(xué)特性包括但不限于強(qiáng)度、均勻度與色純度的至少其一。
15.如權(quán)利要求13所述的有機(jī)發(fā)光元件缺陷修復(fù)裝置，其特征在于，更包含一封合蓋設(shè)置室，將一封合蓋設(shè)置于形成有該光固膠或熱固膠的基板上；以及一光照室或加熱室，照射紫外光于該光固膠，或?qū)υ摕峁棠z加熱。
16.如權(quán)利要求11所述的有機(jī)發(fā)光元件缺陷修復(fù)裝置，其特征在于，該短路程度為短路處除以斷路處的比例。
17.如權(quán)利要求11所述的有機(jī)發(fā)光元件缺陷修復(fù)裝置，其特征在于，該短路程度為漏電流程度。
18.如權(quán)利要求12所述的有機(jī)發(fā)光元件缺陷修復(fù)裝置，其特征在于，該隔絕層形成室中，在一不含水的含氧氣氛中氧化該第二電極。
19.如權(quán)利要求11所述的有機(jī)發(fā)光元件缺陷修復(fù)裝置，其特征在于，該隔絕層材料與該有機(jī)發(fā)光層材料相同。
20.如權(quán)利要求11所述的有機(jī)發(fā)光元件缺陷修復(fù)裝置，其特征在于，該隔絕層材料選自具有高電阻的有機(jī)以及無機(jī)材料的至少其一。
21.如權(quán)利要求11所述的有機(jī)發(fā)光元件缺陷修復(fù)裝置，其特征在于，該隔絕層材料為一具有高電阻的高分子材料。
全文摘要
本發(fā)明提供一種有機(jī)發(fā)光元件缺陷修復(fù)裝置，用以修復(fù)具有實(shí)質(zhì)短路現(xiàn)象的有機(jī)發(fā)光元件，此有機(jī)發(fā)光元件缺陷修復(fù)裝置包含一傳輸室、一電氣測試室以及一隔絕層形成室。其中，傳輸室用以進(jìn)行有機(jī)發(fā)光元件的傳遞；電氣測試室設(shè)有一電源端，電源端提供一電流或電壓于有機(jī)發(fā)光元件中，以使有機(jī)發(fā)光元件的實(shí)質(zhì)短路處形成斷路；隔絕層形成室于有機(jī)發(fā)光元件的斷路處形成一隔絕層。本發(fā)明亦提供上述有機(jī)發(fā)光元件缺陷修復(fù)裝置的另一實(shí)施例，該實(shí)施例與上述裝置的不同之處，在于更包含一光電性檢測室。
文檔編號H05B33/10GK1568101SQ0314103
公開日2005年1月19日 申請日期2003年6月16日 優(yōu)先權(quán)日2003年6月16日
發(fā)明者郭志明 申請人:錸寶科技股份有限公司