專利名稱：有機(jī)el元件的制造方法及裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及有機(jī)場致發(fā)光元件(有機(jī)EL元件)的制造方法，詳細(xì)地說，涉及為了用真空蒸鍍法生成有機(jī)EL元件用的有機(jī)薄膜而將有機(jī)EL材料氣化的方法及裝置。
背景技術(shù)：
作為有機(jī)EL元件的一般構(gòu)造在由透明導(dǎo)電膜組成的陽極和陰極之間形成孔穴輸送層、發(fā)光層、電子輸送層等有機(jī)薄膜層，在從陽極經(jīng)由孔穴輸送層注入發(fā)光層的孔穴和從陰極經(jīng)由電子輸送層注入發(fā)光層的電子再結(jié)合時(shí)產(chǎn)生發(fā)光。這時(shí)，若由于蒸發(fā)速率的不穩(wěn)定性所產(chǎn)生的孔穴輸送層、發(fā)光層、電子輸送層等的有機(jī)薄膜層的厚度和組織等的質(zhì)量不均勻，那么在蒸鍍塊之間產(chǎn)生不均勻，并產(chǎn)生元件性能的分散等問題。
人們從特開2000-68055號公報(bào)等中知道，作為有機(jī)EL元件用有機(jī)薄膜生成方法之一有真空蒸鍍法。在真空蒸鍍法中，從加熱到蒸鍍材料的氣化溫度以上的蒸發(fā)源進(jìn)行氣化的蒸鍍材料在成膜用的基片上以固體形式堆積后形成薄膜。
作為蒸發(fā)源的加熱方法，除間接加熱方式外，人們還知道在1996年4月15日Appl.Phys.Lett.68(16)和特開平2000-68055號公報(bào)中所記載那樣的、在比較高的電阻的金屬容器(金屬舟(boat))中流過電流后利用電阻發(fā)熱的所謂直接電阻加熱方式。
在直接電阻加熱方式中，通常使用將熔點(diǎn)高的鎢、鉭、鉬等金屬材料加工成薄板形狀后使電阻升高的容器，但為了均勻地加熱整個(gè)容器，流經(jīng)容器的電流分布必需是變成均勻那樣的形狀。對于象舟那樣的長方形狀，通過在長度方向的兩端上設(shè)端子就能得到比較均勻的電流分布，即使那樣在中心部分和端部溫度也會產(chǎn)生偏移，而且，因?yàn)椴牧系难b入量受限制，因此與產(chǎn)量不相稱。
為了確保材料的裝入量，象坩堝那樣的形狀是合適的，但在類似坩堝的形狀中，在設(shè)端子直接加熱的場合，為使整個(gè)坩堝能均勻地加熱，使電流均勻地流過整個(gè)坩堝困難的。因此，在坩堝中溫度分布被形成，在電流密度低的部分，溫度變得比目標(biāo)溫度低，不發(fā)生蒸鍍物質(zhì)的氣化，另一方面，在電流密度高的部分引起局部的過升溫，不僅產(chǎn)生規(guī)定量以上的原料的氣化，而且還有可能引起作為原料的有機(jī)材料的熱分解，造成所生成的有機(jī)薄膜的變質(zhì)。
通常為了提高產(chǎn)量，在將材料裝入坩堝形狀的容器中的場合，不是上述那樣的直接電阻加熱，而是使用通過來自用另一方法所設(shè)置的電阻加熱發(fā)熱體的間接加熱均勻地加熱容器的方式。但是，在這樣的間接加熱方式中熱響應(yīng)性差，因此難以控制蒸發(fā)量。即，在比目標(biāo)溫度低時(shí)，蒸鍍物質(zhì)的氣化量不充分，成膜厚度變薄，另一方面，若從目標(biāo)溫度起產(chǎn)生過調(diào)節(jié)，那么成膜厚度不僅過厚，而且會使有機(jī)材料發(fā)生熱分解，帶來所生成的有機(jī)薄膜的變質(zhì)。另外，因?yàn)樵陂g接加熱方式中，與直接加熱方式比較，從升溫開始直到達(dá)到目標(biāo)溫度后能得到穩(wěn)定的有機(jī)薄膜層需要花時(shí)間，在這期間，無論是時(shí)間方面還是原料方面都將產(chǎn)生損耗?？傊?，直到蒸發(fā)速率穩(wěn)定之前，有時(shí)侯需要使用擋板等防止向基片蒸發(fā)的操作，并產(chǎn)生上述的損耗。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種在能夠均勻而且快速地加熱蒸鍍原料，并且在熱響應(yīng)性和溫度控制方面優(yōu)良的裝置的同時(shí)，提供一種能夠得到產(chǎn)品合格率和生產(chǎn)率高、質(zhì)量良好的有機(jī)EL元件用的蒸鍍膜的方法。
本發(fā)明是這樣的有機(jī)EL元件的制造方法，即，在使有機(jī)EL元件用的有機(jī)材料氣化，并在成膜基片上堆積后形成薄膜的有機(jī)EL薄膜蒸鍍方法中，該制造方法由以下工序構(gòu)成裝入所述有機(jī)材料的容器的至少一部分由通過電磁感應(yīng)發(fā)熱材料構(gòu)成，并通過由電磁感應(yīng)加熱直接加熱所述的容器使所裝入的有機(jī)材料氣化。
另外，本發(fā)明是這樣的有機(jī)EL薄膜蒸鍍用的裝置，即，在使容器中的有機(jī)EL元件用的有機(jī)材料氣化，并在成膜基片上堆積后形成薄膜的有機(jī)EL薄膜蒸鍍中，該裝置具備用借助電磁感應(yīng)發(fā)熱的材料構(gòu)成的所述容器和為使該有機(jī)材料氣化將所述容器進(jìn)行電磁感應(yīng)加熱的設(shè)備。
而且，本發(fā)明是這樣的有機(jī)EL元件的制造方法，該制造方法由有機(jī)EL薄膜蒸鍍裝置，以及使用該裝置使被裝入的有機(jī)材料氣化的工序構(gòu)成，該有機(jī)EL薄膜蒸鍍裝置具備與有機(jī)材料一起混入用至少一部分借助電磁感應(yīng)發(fā)熱的材料構(gòu)成的填充體的容器、以及為使該有機(jī)材料氣化對所述填充體進(jìn)行電磁感應(yīng)加熱的設(shè)備。在這種場合，也希望容器用至少一部分借助電磁感應(yīng)發(fā)熱的材料形成。


圖1是有機(jī)EL元件蒸鍍裝置的斷面模式圖。
圖2是填充體的斜視圖。
圖3是其它填充體的斜視圖。
具體實(shí)施例方式
以下，詳細(xì)說明關(guān)于本發(fā)明的有機(jī)EL薄膜蒸鍍裝置以及使用它的蒸鍍方法。圖1是表示本發(fā)明的裝置的一例的斷面模式圖，圖中，1是燃燒室，2是容器，3是線圈，4是供電裝置，5是有機(jī)材料，6是基片，7是基片支座。此外，在該例中，在燃燒室內(nèi)安裝了主要的裝置，但例如將燃燒室設(shè)定為細(xì)長的燃燒室后將線圈設(shè)置在燃燒室外的形態(tài)也是可能的。
在上述例子中的真空蒸鍍裝置具備被配置在能夠認(rèn)為是真空的燃燒室1內(nèi)、并裝入有機(jī)材料的容器2，配置在容器2的周圍的線圈3，通過線圈3的供電裝置4以及保持接受蒸鍍的基片6的基片支座7。燃燒室1除認(rèn)為借助真空泵等能減壓外，還被認(rèn)為是能夠取出放入被裝入內(nèi)部的有機(jī)材料和基片的構(gòu)造。
容器2的形狀也可以是通常的坩堝形狀，也可以是單純的筒型，但最好是所謂的坩堝形狀或其變形形狀。另外，叫做槽、諾森槽的形狀也是所希望的形狀之一。還有，在直徑大的場合在容器內(nèi)部也可以規(guī)定配設(shè)用感應(yīng)加熱能加熱的材料的構(gòu)造體。作為后者的例子，在容器內(nèi)也可以設(shè)置能感應(yīng)加熱的壁。容器2的形狀并沒有特別被限定，但最好是能迅速，而且均勻地加熱所裝入的有機(jī)材料的構(gòu)造。
在使容器2自身發(fā)熱的場合，容器由使用電磁感應(yīng)能發(fā)熱的材料形成，但也可以與發(fā)熱材料以外的材料共同形成。發(fā)熱材料可以是金屬材料、非金屬材料任何一種，但最好是導(dǎo)電性的磁體。希望包含被裝入的有機(jī)材料所接觸的容器的底面和側(cè)面的部分由使用電磁感應(yīng)能發(fā)熱的發(fā)熱材料形成。
另外，即使在形成容器的材料是使用電磁感應(yīng)沒有發(fā)熱的材料的場合，象在特開平3-98286號公報(bào)和特開平8-264272號公報(bào)中所提議的那樣也可以在容器內(nèi)配置用電磁感應(yīng)加熱能發(fā)熱的構(gòu)造的填充體，并將該填充體的發(fā)熱作為加熱源使用。在這種場合，容器不一定需要用借助電磁感應(yīng)發(fā)熱的材料構(gòu)成，但容器是借助電磁感應(yīng)發(fā)熱的容器，并且若配置能電磁感應(yīng)加熱的填充體，那么在均勻加熱方面是有利的。例如，若容器尺寸變大，那么有時(shí)侯在與容器內(nèi)壁接觸的有機(jī)材料和與它分離的有機(jī)材料中將形成溫度梯度，并在均勻的溫度控制中發(fā)生問題。為了回避這樣的問題，在容器內(nèi)配置用電磁感應(yīng)能加熱的填充體，并用電磁感應(yīng)加熱直接加熱填充體，或與容器一起直接加熱的方法用于抑制溫度梯度的發(fā)生是有效果的。
此處，上述的填充體本身為了也用電磁感應(yīng)加熱而均勻地被加熱，它的形狀、填充體的厚度、間隔、材料的透磁率、電導(dǎo)率、所供給的交流電流的頻率等在設(shè)計(jì)上進(jìn)行各種因數(shù)的最佳化是很重要的。為此，將用能電磁感應(yīng)加熱的材料形成的鐵絲網(wǎng)的材料規(guī)定為積層了的積層體，或用鐵絲網(wǎng)和金屬絲的材料制成多個(gè)小的筒狀物，并在其周圍、間隙和內(nèi)部存在有機(jī)材料粉末，這一點(diǎn)也是有利的。此外，填充體也可以是沒有特別成型的粒狀、板狀、塊狀等。
例如，在有機(jī)材料是形成發(fā)光層的材料的場合，大多數(shù)使用有機(jī)金屬絡(luò)合物，但若在高溫下絡(luò)合物金屬與異種金屬接觸，那么就會以某種比例發(fā)生金屬交換。因此絡(luò)合物純度降低，有時(shí)，還能引起使原料純度不夠標(biāo)準(zhǔn)。當(dāng)金屬絡(luò)合物在高溫下升華精制時(shí)，在大部分場合將同時(shí)發(fā)生分解。在分解中生成的配位基若與異種金屬材料接觸，當(dāng)然就形成它的絡(luò)合物。有機(jī)材料在包含酸類、硫磺化合物、鹵素化合物等的場合，若使用金屬裝置，將擔(dān)心這些不純物產(chǎn)生由金屬腐蝕、金屬的催化劑作用引起的分解、由分解物引起的污染等。
如所述那樣的容器2不管是用1種金屬材料構(gòu)成，或是由2層以上的材料構(gòu)成都沒有防礙，即使容器本身因?yàn)殡姶鸥袘?yīng)不發(fā)熱，但配置在其中的填充物能發(fā)熱就行，但必需至少1部分是發(fā)熱材料，如所述那樣，當(dāng)在起因于金屬材料的有機(jī)材料中發(fā)生污染和變質(zhì)的場合，對于容器內(nèi)表面和填充物的表面被氣化的有機(jī)材料最好假定是惰性材料。作為希望的發(fā)熱材料，通常使用鐵和鐵合金等鐵族金屬，但從耐熱性和防腐性的觀點(diǎn)出發(fā)也可使用不銹鋼、石墨和氮化鈦等磁性陶瓷。發(fā)熱材料在鐵等金屬的場合，對于氣化物質(zhì)和微量殘留的氧氣等大多數(shù)并不是惰性，但在這樣的場合，對這些有機(jī)材料和氣體等可以將內(nèi)層(與有機(jī)材料接觸的面的表面層)作為惰性材料層。
作為惰性材料有貴重金屬、合金等金屬類、氟化乙烯樹脂、聚酰亞胺樹脂、硅樹脂等耐熱性樹脂類、石英玻璃、硼硅酸鹽玻璃、氧化鋁、氮化硅、瓷器等陶瓷類等。作為合適的惰性材料可以舉出金屬類、琺瑯等玻璃類、氟化乙烯樹脂以及陶瓷類等。在它們中間，不具有強(qiáng)度，可以用薄膜蒸鍍和電鍍等方法將成形困難的材料和貴重材料作為內(nèi)層。而且，作為內(nèi)層使用不論是發(fā)熱材料，還是惰性材料的氮化鈦等磁性陶瓷也是有利的。而且，也可以使用SiC、石墨、氮化鈦等發(fā)熱材料并且還是惰性材料制成的容器取代作為多層構(gòu)造。線圈3是用來對容器或填充體進(jìn)行感應(yīng)加熱，并被設(shè)置在容器2的周圍。在設(shè)置在容器周圍的線圈中通過流過交流電流直接使容器和填充體產(chǎn)生發(fā)熱。向線圈3供給的電流從供電裝置4供給，但供電裝置4與商用電源等連接，產(chǎn)生規(guī)定頻率的交流。從供電裝置4向線圈3供給的電流頻率考慮到發(fā)熱體的厚度和電流滲透深度可以從數(shù)十～100kHz的范圍任意選擇，但從發(fā)熱效率考慮最好是10kHz以上的高頻。
加熱通過給線圈3供給電流進(jìn)行，但為了在盡可能短時(shí)間內(nèi)達(dá)到氣化溫度而控制電流供給量。此外，減小容器的熱容量為加快氣化速度也是有利的，因此使容器加大到必要以上，或不增加壁厚是有利的，但通過加大投入電流量也能與任何大小對應(yīng)。供電裝置4能夠具有將升溫速度和設(shè)定溫度維持在規(guī)定范圍內(nèi)的溫度調(diào)節(jié)器等控制機(jī)構(gòu)。因此，在容器中也可以配置熱電偶等。一般認(rèn)為，供電裝置4與商用電源連接，最好將它變換成高頻電流后向感應(yīng)線圈輸出。同時(shí)通過來自熱電偶等的信號可以控制供給電流。
在將作為升華性物質(zhì)那樣的有機(jī)材料氣化后使它蒸鍍的場合，容器的形狀如果是舟形，那么先蒸發(fā)中心部分，為使它的周圍的原料蒸發(fā)就提高舟溫度，但在槽的場合由于從槽內(nèi)表面附近的原料蒸發(fā)，并在那里形成空隙，因此為使中心部分的原料蒸發(fā)也可以提高槽溫度。這時(shí)，可以進(jìn)行監(jiān)視，設(shè)定蒸發(fā)速率和實(shí)際的膜厚，以此控制來自供電裝置4的供給電力，確保均勻的膜厚。
有機(jī)EL元件如所述那樣在陽極和陰極之間具有孔穴輸送層、發(fā)光層、電子輸送層等有機(jī)薄膜層，但在本發(fā)明中所蒸鍍的有機(jī)材料5是形成這樣的有薄膜層的至少1種有機(jī)材料。
作為用本發(fā)明的電磁感應(yīng)加熱氣化的有機(jī)EL用的有機(jī)材料，也能夠適用于孔穴輸送材料、發(fā)光材料、電子輸送材料等任何1種。對于這樣的材料，作為孔穴輸送材料有卟啉化合物、芳香族叔胺化合物、苯乙烯基胺化合物等，作為發(fā)光材料有三(8-キノリノラト)鋁絡(luò)合物、雙(ベンゾキノリノラト)鈹絡(luò)合物、三(聯(lián)苯酰甲基)菲繞啉銪絡(luò)合物等，作為電子輸送材料有1，3，4-氧氮雜茂衍生體和1，2，4-三氮雜茂衍生體，但不受它們限制，若是用蒸鍍法形成薄膜的有機(jī)EL用的有機(jī)化合物不管什么都能使用。另外，在有機(jī)材料的多元蒸鍍那樣正確的蒸鍍量控制中本發(fā)明的方法也有效。
基片支座7在燃燒室內(nèi)，在容器的大致正上方隔著規(guī)定的間隔而被設(shè)置。在基片支座7上，設(shè)置構(gòu)成EL元件的基片，并將氣化的有機(jī)材料蒸鍍在被設(shè)定的基片6的表面上?；ё?可以采用眾所周知的設(shè)備，即保持基片6的機(jī)構(gòu)是吸引法和卡爪保持的方法等。此外，根據(jù)需要也可以在基片支座7的內(nèi)部設(shè)置冷卻機(jī)構(gòu)等?；?的大小沒有特別限制，但最大長度可以超過500mm。
接著，說明關(guān)于使用本發(fā)明的裝置進(jìn)行蒸鍍的方法。
在容器2中，裝入規(guī)定量的被蒸鍍的有機(jī)材料5。另外，在基片支座7上，可以通過蒸鍍等已經(jīng)設(shè)置了若干層的基片6面對容器一側(cè)設(shè)置被蒸鍍的表面。
之后，進(jìn)行減壓和加熱，開始蒸鍍。容器2及其周圍的蒸發(fā)部分溫度可以是能得到有機(jī)材料5的規(guī)定的蒸氣壓的溫度。通常，該蒸氣壓為從數(shù)個(gè)Torr到10-8Torr左右(約1×102Pa到1×10-6Pa左右)，但為了使氣化分子的平均自由行程變長，希望在燃燒室內(nèi)將該氣壓設(shè)定在10-5Torr以下。蒸發(fā)部分的溫度控制通過用溫度計(jì)和溫度調(diào)節(jié)器對交流電流進(jìn)行開、關(guān)，或進(jìn)行變換器控制等保持設(shè)定溫度。
裝入容器的有機(jī)材料在規(guī)定的真空度和溫度下進(jìn)行氣化，例如，通過配置在容器上部的縫隙，附著、堆積在作為被蒸鍍體的基片表面上形成蒸鍍薄膜。
以下，根據(jù)實(shí)施例說明本發(fā)明的具體例子。
通過圖1所示的蒸鍍裝置蒸鍍8-羥基喹啉鋁(以下叫做Alq3)。
在容器2中，在內(nèi)徑15mmφ、高度25mm的碳鋼管的內(nèi)表面，使用施行了熔化鍍鋁的筒狀坩堝。電磁感應(yīng)的交流電源設(shè)定為200V，60Hz，在具備溫度調(diào)節(jié)器的供電裝置4中使用變換器變換成高頻。
在容器2中裝入Alg3，將容器2的外壁溫度設(shè)定為360℃進(jìn)行加熱，在燃燒室1的外周與室溫的空氣接觸，在大致維持室溫的同時(shí)通過真空泵將燃燒室內(nèi)氣壓減壓到5×10-7Torr。
作為基片6使用100mm×100mm的大小的玻璃基片，放置在容器2的正上方約350mm的地方，并使它旋轉(zhuǎn)。另外，配置膜厚監(jiān)視器，測定膜厚變化率。在通過膜厚監(jiān)視器使膜厚變化率穩(wěn)定之前，用擋板覆蓋基片，在膜厚變化率恒定的時(shí)刻取下?lián)醢澹_始蒸鍍。為使膜厚變化率為0.3nm/sec，調(diào)整來自電源的供給電力。在約170秒后得到50nm的Alg膜。膜厚在整個(gè)面積中在±5％的幅度內(nèi)，而在靠近中心的50mm×50mm的面積中在±1％的幅度內(nèi)。
作為容器2使用內(nèi)徑15mmφ、高度25mm的氧化鋁族陶瓷制成的坩堝。而且，在容器2的內(nèi)部不僅裝入將借助電磁感應(yīng)發(fā)熱的鐵氧體族不銹鋼制的7根細(xì)管(外徑4.8mmφ，內(nèi)徑3.0mmφ，高度25mm)捆綁起來的填充體，而且裝入0.3g的Alg3，在與實(shí)施例1同樣的條件下進(jìn)行蒸鍍。蒸鍍后，在測定膜厚時(shí)，與實(shí)施例1一樣示出了良好的結(jié)果。圖2是所述填充體的斜視圖，表示細(xì)管8的配置狀況。
作為容器2，使用將內(nèi)徑15mmφ、高度25mm、上部5mm的材料設(shè)定為鐵氧體族不銹鋼，而將下部20mm的材料設(shè)定為氧化鋁族陶瓷的不銹鋼-陶瓷制的坩堝。并且，在容器2的內(nèi)部不僅使將100網(wǎng)孔的金屬網(wǎng)設(shè)置間隔后疊層9塊的填充體(具有連接容器2的內(nèi)壁的直徑，高度20mm)與底部連接后填充，而且裝入0.3g的Alg3，在與實(shí)施例1同樣的條件下進(jìn)行蒸鍍。蒸鍍后，在測定膜厚時(shí)，與實(shí)施例1一樣示出了良好的結(jié)果。圖3是所述填充體的斜視圖，表示金屬網(wǎng)9的疊層狀況。
象以上那樣，若依據(jù)本發(fā)明，就能夠通過電磁感應(yīng)加熱，均勻且快速地將能大量地裝入蒸鍍原料的類似坩堝等容器和填充體加熱，并且在熱響應(yīng)性和溫度控制方面很出色，因此能得到質(zhì)量良好的蒸鍍膜，并能提高產(chǎn)品合格率和產(chǎn)量。結(jié)果，使高質(zhì)量的有機(jī)EL元件穩(wěn)定，并能以高的合格率得到它。
權(quán)利要求
1.一種有機(jī)EL元件的制造方法，將有機(jī)EL元件用的有機(jī)材料氣化，并在成膜基片上堆積后形成薄膜，其特征在于，裝入所述有機(jī)材料的容器的至少一部分由借助電磁感應(yīng)發(fā)熱的材料構(gòu)成，通過電磁感應(yīng)加熱直接加熱所述的容器，使所裝入的有機(jī)材料氣化。
2.一種有機(jī)EL薄膜蒸鍍用裝置，將容器中的有機(jī)EL元件用的有機(jī)材料氣化，并在成膜基片上堆積后形成薄膜，其特征在于，具備至少一部分由借助電磁感應(yīng)發(fā)熱的材料構(gòu)成的所述容器、以及為了將該有機(jī)材料氣化而對所述容器進(jìn)行電磁感應(yīng)加熱的設(shè)備。
3.如權(quán)利要求2記載的有機(jī)EL薄膜蒸鍍用裝置，其特征在于，是容器的至少內(nèi)表面由相對氣化的有機(jī)材料而言惰性材料構(gòu)成的容器。
4.如權(quán)利要求2記載的有機(jī)EL薄膜蒸鍍用裝置，其特征在于，是容器的至少底部和側(cè)面的材料由借助電磁感應(yīng)發(fā)熱的材料構(gòu)成的容器。
5.一種有機(jī)EL元件的制造方法，將有機(jī)EL元件用的有機(jī)材料氣化，并在成膜基片上堆積后形成薄膜，其特征在于，在裝入所述有機(jī)材料的容器的內(nèi)部混入至少一部分由借助電磁感應(yīng)發(fā)熱的材料構(gòu)成的填充體，通過借助電磁感應(yīng)加熱來直接加熱所述的填充體，使被裝入的有機(jī)材料氣化。
6.一種有機(jī)EL薄膜蒸鍍用裝置，將容器中的有機(jī)EL元件用的有機(jī)材料氣化，并在成膜基片上堆積后形成薄膜，其特征在于，具備與有機(jī)材料一起裝入至少一部分由借助電磁感應(yīng)發(fā)熱的材料構(gòu)成的填充體的所述容器、以及為了將該有機(jī)材料氣化而借助電磁感應(yīng)加熱所述填充體的設(shè)備。
7.如權(quán)利要求1記載的有機(jī)EL元件的制造方法，其特征在于，與有機(jī)材料一起將至少一部分由借助電磁感應(yīng)發(fā)熱的材料構(gòu)成的填充體裝入容器中。
8.如權(quán)利要求2記載的有機(jī)EL薄膜蒸鍍用裝置，其特征在于，與有機(jī)材料一起將至少一部分由借助電磁感應(yīng)發(fā)熱的材料構(gòu)成的填充體裝入容器中。
全文摘要
本發(fā)明涉及借助電磁感應(yīng)加熱，均勻且快速地加熱裝入了蒸鍍原料的容器，得到生產(chǎn)率高，質(zhì)量良好的有機(jī)EL元件蒸鍍膜的方法。本發(fā)明的裝置是這樣的裝置，即，在使容器中的有機(jī)EL元件用的有機(jī)材料(5)氣化，并在成膜基片(6)上堆積后形成薄膜的有機(jī)EL薄膜蒸鍍中，具備用借助電磁感應(yīng)發(fā)熱的材料構(gòu)成的所述容器，以及為使該有機(jī)材料氣化，將所述容器進(jìn)行電磁感應(yīng)加熱的設(shè)備。另外，本發(fā)明是使用該裝置的有機(jī)EL元件的制造方法。而且，也能夠用由借助電磁感應(yīng)發(fā)熱的材料構(gòu)成的所述容器(2)或代替它將由借助電磁感應(yīng)發(fā)熱的材料制成的填充材料裝入容器(2)中。
文檔編號H05B6/02GK1446268SQ01813994
公開日2003年10月1日 申請日期2001年8月9日 優(yōu)先權(quán)日2000年8月10日
發(fā)明者石井和男, 宮崎浩, 堀田修平, 內(nèi)堀義隆 申請人:新日鐵化學(xué)株式會社, 大阪油化工業(yè)株式會社, 株式會社瀨田技研