技術(shù)編號(hào):8085661
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及有機(jī)場致發(fā)光元件(有機(jī)EL元件)的制造方法,詳細(xì)地說,涉及為了用真空蒸鍍法生成有機(jī)EL元件用的有機(jī)薄膜而將有機(jī)EL材料氣化的方法及裝置。背景技術(shù) 作為有機(jī)EL元件的一般構(gòu)造在由透明導(dǎo)電膜組成的陽極和陰極之間形成孔穴輸送層、發(fā)光層、電子輸送層等有機(jī)薄膜層,在從陽極經(jīng)由孔穴輸送層注入發(fā)光層的孔穴和從陰極經(jīng)由電子輸送層注入發(fā)光層的電子再結(jié)合時(shí)產(chǎn)生發(fā)光。這時(shí),若由于蒸發(fā)速率的不穩(wěn)定性所產(chǎn)生的孔穴輸送層、發(fā)光層、電子輸送層等的有機(jī)薄膜層的厚度和組織等的質(zhì)量不均勻,那么在蒸鍍塊之間產(chǎn)生不均勻,并產(chǎn)生元件性能的...
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