算機或蜂窩電話(作為兩個示例)相關聯(lián)的設備或電路。
[0025]環(huán)氧樹脂附接環(huán)104將MEMS裸片106附接到基板102。MEMS裸片106可包括任意數(shù)量的聲學電動機。每個電動機包括隔膜和背板。聲能量振動隔膜以(利用背板)產(chǎn)生代表聲能量的變化電壓。在一個示例中，兩個電動機可用于具有不同頻率范圍的聲能量。雖然在此描述了兩個電動機裸片，但是將會意識到可使用任意數(shù)量的電動機。在此處示出的示例中，MEMS裸片106包括第一電動機115和第二電動機117。
[0026]聲音通過使麥克風100成為底部端口設備的端口 120進入麥克風100。雖然在本文中描述的設備是底部端口設備，但是將會意識到在本文中描述的原理也可應用到頂部端口設備(例如，其中端口延伸穿過蓋體116)。
[0027]環(huán)氧樹脂裸片附接部108將集成電路110附接到基底102。集成電路110可對經(jīng)由連線112從MEMS設備接收的信號執(zhí)行任何處理功能。
[0028]在一個示例中，封裝114被用來包住集成電路110以保護集成電路110免受環(huán)境影響。蓋體或罩體116連接到基板102并封閉MEMS裸片106和集成電路110。蓋體116使得MEMS裸片106聲學地密封。
[0029]在圖1-5的系統(tǒng)的操作的一個示例中，聲能量通過聲端口 120進入并振動MEMS裸片106中的電動機中的隔膜。該行為產(chǎn)生了隔膜和設置在各個電動機中的隔膜附近的背板之間的電勢(電壓)的相應變化。該電壓表示已經(jīng)接收的聲能量。然后將該電壓通過連線112傳送至集成電路110。
[0030]可通過集成電路110執(zhí)行對信號的進一步處理。例如，可在集成電路110處對電壓信號執(zhí)行放大或濾波功能。集成電路通過連線113連接至基板102中的墊122。墊122連接至基板102內的內部跡線，這些內部跡線連接至集成電路110的底部上的墊140、142、144、146 和 148。
[0031 ] 墊140、142、144、146和148用于多種不同目的。墊140從集成電路110接收數(shù)據(jù)。墊142向集成電路110提供電力。墊144向集成電路110提供時鐘信號。墊146是選擇管腳，其用于選擇集成電路110。墊148是接地管腳，其用于將集成電路110接地。還可使用其他功能示例，并且將會意識到此處描述的管腳的數(shù)量和功能僅是示例性的，其他示例是可能的。
[0032]如所述的，MEMS裸片106包括兩個隔膜/背板(電動機)結構(第一電動機115和第二電動機117)，并且可具有長尺寸130和短尺寸132。MEMS裸片106被布置為使得MEMS裸片的長尺寸130與基板102的長尺寸134平行或近似平行(不垂直)?；?02具有更短的尺寸136。選擇集成電路110以安裝在這種類型的封裝內。這樣做時，可以減小基板的短尺寸132 (在一個示例中從大約3mm減小到大約2mm)，從而減小了 MEMS麥克風100的尺寸。因為減小了 MEMS麥克風100的尺寸，所以針對設置有MEMS麥克風100的設備(例如蜂窩電話或個人計算機)可以獲得更小的尺寸。
[0033]將會意識到麥克風組件100可具有多種不同尺寸。例如，使用在本文中描述的方法，長尺寸134可以是大約4mm并且短尺寸136可以是大約2mm，盡管其他尺寸是可能的。相對窄小的尺寸使得MEMS麥克風100可以用于許多應用中。同時，使用魯棒的雙電動機MEMS裸片。從而，小的MEMS設備可用于需要其的應用，而沒有舍棄組成麥克風的MEMS組件的性會κ。
[0034]還將會意識到基板102上的元件的布置的其他變型是可能的。例如，可以相對于基板102的長尺寸134按照預選擇的角度來傾斜、布置或設置MEMS裸片106，以減小麥克風100的任意整體尺寸。
[0035]在本文中描述了本發(fā)明的優(yōu)選實施方式，其包括發(fā)明人已知的用于實現(xiàn)本發(fā)明的最佳模式。應當理解，示出的實施方式僅僅是示意性的，并不應當視為對本發(fā)明的范圍的限制。
【主權項】
1.一種麥克風組件，其包括: 基板，其具有大體矩形的頂面，所述頂面包括具有基板寬度的第一邊和具有基板長度的第二邊，所述基板長度大于所述基板寬度； 微機電系統(tǒng)MEMS裸片，該MEMS裸片具有形狀大體為矩形的底面，所述底面包括具有裸片長度的第三邊和具有裸片寬度的第四邊，所述裸片長度大于所述裸片寬度，所述MEMS裸片的所述底面與所述基板的所述頂面相接觸； 其中，所述MEMS裸片布置在所述基板上以使得所述裸片的所述第三邊與所述基板的所述第一邊平行，從而使得至少一個集成電路可安裝在所述基板的頂面中未被所述MEMS裸片占用的區(qū)域內。2.根據(jù)權利要求1所述的麥克風組件，其中，所述基板寬度為大約2_并且基板長度為大約4mm。3.根據(jù)權利要求1所述的麥克風組件，其中，所述MEMS裸片包括第一聲學電動機結構和第二聲學電動機結構。4.根據(jù)權利要求1所述的麥克風組件，其中，所述第一聲電動結構和所述第二聲學電動機結構中的每一個都包括隔膜和背板。5.根據(jù)權利要求1所述的麥克風組件，其中，所述麥克風組件設置在蜂窩電話或個人計算機中。6.根據(jù)權利要求1所述的麥克風組件，其中所述至少一個集成電路是單個集成電路。7.根據(jù)權利要求1所述的麥克風組件，其中，所述至少一個集成電路是多個物理上分開的集成電路。
【專利摘要】MEMS麥克風組件。一種麥克風組件，其包括基板和微機電系統(tǒng)MEMS裸片。所述基板具有大體矩形的頂面。所述頂面包括具有基板寬度的第一邊和具有基板長度的第二邊。所述基板長度大于所述基板寬度。所述MEMS裸片包括形狀大體為矩形的底面。所述底面包括具有裸片長度的第三邊和具有裸片寬度的第四邊。所述裸片長度大于所述裸片寬度。所述MEMS裸片的所述底面與所述基板的所述頂面相接觸。所述MEMS裸片布置在所述基板上以使得所述裸片的所述第三邊與所述基板的所述第一邊平行，從而使得至少一個集成電路可安裝在所述基板的頂面未被所述MEMS裸片占用的區(qū)域內。
【IPC分類】H04R19/04
【公開號】CN105430582
【申請?zhí)枴緾N201510364102
【發(fā)明人】R·M·麥考爾
【申請人】美商樓氏電子有限公司
【公開日】2016年3月23日
【申請日】2015年6月4日