技術(shù)編號：9671372
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。作為兩個(gè)示例，微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)設(shè)備包括麥克風(fēng)和揚(yáng)聲器。在MEMS麥克風(fēng)的情況下，聲能量通過聲端口進(jìn)入并振動(dòng)隔膜(diaphragm)，該行為產(chǎn)生了隔膜和設(shè)置在隔膜附近的背板之間的電勢(電壓)的相應(yīng)變化。該電壓表示已經(jīng)接收的聲能量。典型地，然后將該電壓傳送至電子電路(例如，諸如專用集成電路(ASIC)的集成電路)?？稍谠撾娮与娐飞蠄?zhí)行對信號的進(jìn)一步處理。例如，可在該集成電路處對電壓信號執(zhí)行放大或?yàn)V波功會(huì)泛。通常期望使MEMS設(shè)備盡可能小。例如，通常期望...
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