其位置。
[0089]在此，在用X軸和Y軸的二維坐標(biāo)表示時(shí)，周邊點(diǎn)標(biāo)記I位于第二象限，在用X軸和Y軸的二維坐標(biāo)表示時(shí)，周邊點(diǎn)標(biāo)記2位于第一象限，在用X軸和Y軸的二維坐標(biāo)表示時(shí)，周邊點(diǎn)標(biāo)記3位于第三象限，在用X軸和Y軸的二維坐標(biāo)表示時(shí)，周邊點(diǎn)標(biāo)記4位于第四象限。
[0090]然后，為了能夠識(shí)別周邊點(diǎn)標(biāo)記I?4，在樣品圖案部120中與各周邊點(diǎn)標(biāo)記I?4對(duì)應(yīng)地設(shè)定了周邊點(diǎn)標(biāo)記識(shí)別區(qū)域1-1?1-4。
[0091]此外，為了能夠識(shí)別周邊點(diǎn)標(biāo)記I?4,與周邊點(diǎn)標(biāo)記I?4對(duì)應(yīng)地具備用于識(shí)別周邊點(diǎn)標(biāo)記I?4的基準(zhǔn)標(biāo)記(fiducial mark) 2-1?2-4。
[0092]中心點(diǎn)提取部210在抖動(dòng)修正功能未發(fā)揮作用的狀態(tài)下對(duì)這樣的樣品圖案部120進(jìn)行攝影的第一攝影影像中，提取各點(diǎn)標(biāo)記I?4的中心點(diǎn)作為初始中心點(diǎn)。關(guān)于算出這樣的點(diǎn)標(biāo)記I?4的中心點(diǎn)的方法，可以使用已公開(kāi)的多種方法，不局限于特定方法。
[0093]另一方面，當(dāng)在通過(guò)振動(dòng)臺(tái)130對(duì)攝影裝置170傳遞振動(dòng)的狀態(tài)下并且在抖動(dòng)修正功能發(fā)揮作用的狀態(tài)下對(duì)圖3所示的樣品圖案部120的各點(diǎn)標(biāo)記I?4進(jìn)行攝影時(shí)，即，在第二攝影圖像中，只要對(duì)各點(diǎn)標(biāo)記I?4中的一個(gè)點(diǎn)標(biāo)記進(jìn)行攝影即可。
[0094]但是，當(dāng)實(shí)際進(jìn)行攝影時(shí)，如圖4所示，會(huì)由于振動(dòng)而造成多個(gè)副點(diǎn)標(biāo)記散布在點(diǎn)標(biāo)記識(shí)別區(qū)域中被攝影。因而，考慮到多個(gè)副點(diǎn)標(biāo)記，需要對(duì)各點(diǎn)標(biāo)記I?4設(shè)定修正中心點(diǎn)。
[0095]對(duì)于中心點(diǎn)提取部220在如上所述的多個(gè)副點(diǎn)標(biāo)記中設(shè)定中心的方法，如圖4所示，在求出多個(gè)副點(diǎn)標(biāo)記的各副中心點(diǎn)之后，求出在X軸上相對(duì)于多個(gè)副中心點(diǎn)處于最遠(yuǎn)距離的最大中心點(diǎn)距離，將對(duì)其進(jìn)行平均的平均點(diǎn)作為修正X軸中心點(diǎn)。
[0096]與此相同地，中心點(diǎn)提取部220如圖4所示，在求出多個(gè)副點(diǎn)標(biāo)記的各副中心點(diǎn)之后，求出在Y軸上相對(duì)于多個(gè)副中心點(diǎn)處于最遠(yuǎn)距離的最大中心點(diǎn)距離，將對(duì)其進(jìn)行平均的平均點(diǎn)作為修正Y軸中心點(diǎn)。
[0097]與此不同，對(duì)于中心點(diǎn)提取部220在多個(gè)副點(diǎn)標(biāo)記中設(shè)定中心的方法，也可以如圖4所示，在求出多個(gè)副點(diǎn)標(biāo)記的各副中心點(diǎn)之后，求出在X軸上(Y軸也相同)處于最遠(yuǎn)距離的副點(diǎn)標(biāo)記間的副中心點(diǎn)間的距離，然后，求出處于第二遠(yuǎn)距離的中心點(diǎn)間的距離，然后反復(fù)這樣的過(guò)程而求出多個(gè)副中心點(diǎn)間的距離，然后按距離大的順序提取一定個(gè)數(shù)(作為一個(gè)例子，是5個(gè))求出平均副中心點(diǎn)間距離，然后取平均副中心點(diǎn)間距離的1/2 (進(jìn)行平均)而求出修正X軸中心點(diǎn)(修正Y軸中心點(diǎn)也相同)。
[0098]或者，與此不同，對(duì)于中心點(diǎn)提取部220在多個(gè)副點(diǎn)標(biāo)記中設(shè)定中心的方法，也可以如圖4所示，在求出多個(gè)副點(diǎn)標(biāo)記的各副中心點(diǎn)之后，求出在X軸(Y軸也相同)處于最遠(yuǎn)距離的副中心點(diǎn)間的距離，然后求出處于第二遠(yuǎn)距離的副中心點(diǎn)間的距離，然后反復(fù)這樣的過(guò)程求出多個(gè)副中心點(diǎn)間距離，然后按距離大的順序排除一定個(gè)數(shù)(作為一個(gè)例子，是5個(gè))，然后從剩余部分提取一定個(gè)數(shù)(作為一個(gè)例子，是5個(gè))進(jìn)行平均而求出平均副中心點(diǎn)間距離，然后取平均副中心點(diǎn)間距離的1/2(進(jìn)行平均)而求出修正X軸中心點(diǎn)(修正Y軸中心點(diǎn)也相同)。這樣的修正X軸中心點(diǎn)和修正Y軸中心點(diǎn)稱為修正中心點(diǎn)。
[0099]另一方面，在這樣的樣品圖案部120中，評(píng)價(jià)值生成部230在抖動(dòng)修正功能未發(fā)揮作用的狀態(tài)下利用處于坐標(biāo)軸上的第二象限的周邊點(diǎn)標(biāo)記I和在相同Y軸上位于相同地點(diǎn)的處于坐標(biāo)軸上的第一象限的周邊點(diǎn)標(biāo)記2的初始中心點(diǎn)求出第一X軸間距離(換種表現(xiàn)方式，可以稱為第一水平距離)并利用處于坐標(biāo)軸上的第二象限的周邊點(diǎn)標(biāo)記3和位于Y軸上的相同地點(diǎn)的處于坐標(biāo)軸上的第四象限的周邊點(diǎn)標(biāo)記4的初始中心點(diǎn)求出第二 X軸間距離(換種表現(xiàn)方式，可以稱為第二水平距離)之后，求出第一 X軸間距離與第二 X軸間距離的平均，設(shè)定為初始X軸間距離(換種表現(xiàn)方式，可以稱為初始水平距離)。
[0100]然后，在這樣的樣品圖案部120中，評(píng)價(jià)值生成部230在抖動(dòng)修正功能未發(fā)揮作用的狀態(tài)下利用處于坐標(biāo)軸上的第二象限的周邊點(diǎn)標(biāo)記I和位于相同的X軸上的相同地點(diǎn)的處于坐標(biāo)軸上的第三象限的周邊點(diǎn)標(biāo)記3的初始中心點(diǎn)求出第一Y軸間距離(換種表現(xiàn)方式，可以稱為第一垂直距離)并利用處于坐標(biāo)軸上的第一象限的周邊點(diǎn)標(biāo)記2和位于X軸上的相同地點(diǎn)的處于坐標(biāo)軸上的第四象限的周邊點(diǎn)標(biāo)記4的初始中心點(diǎn)求出第二Y軸間距離(換種表現(xiàn)方式，可以稱為第二垂直距離)之后，求出第一 Y軸間距離與第二 Y軸間距離的平均，設(shè)定為初始Y軸間距離(可以稱為初始垂直距離)。
[0101]在這樣的樣品圖案部120中，評(píng)價(jià)值生成部230在抖動(dòng)修正功能未發(fā)揮作用的狀態(tài)下利用處于坐標(biāo)軸上的第二象限的周邊點(diǎn)標(biāo)記I和在相同的Y軸上位于相同的地點(diǎn)的處于坐標(biāo)軸上的第一象限的周邊點(diǎn)標(biāo)記2的初始中心點(diǎn)求出初始第一 X軸間距離(換種表示方式，可以稱為初始第一水平距離)并利用處于坐標(biāo)軸上的第二象限的周邊點(diǎn)標(biāo)記3和位于Y軸上的相同地點(diǎn)的處于坐標(biāo)軸上的第四象限的周邊點(diǎn)標(biāo)記4的初始中心點(diǎn)求出初始第二 X軸間距離(換種表現(xiàn)方式，可以稱為初始第二水平距離)之后，求出初始第一 X軸間距離與初始第二 X軸間距離的平均，設(shè)定為初始X軸間距離(換種表現(xiàn)方式，可以稱為初始水平距離)。
[0102]然后，在這樣的樣品圖案部120中，評(píng)價(jià)值生成部230在抖動(dòng)修正功能未發(fā)揮作用的狀態(tài)下利用處于坐標(biāo)軸上的第二象限的周邊點(diǎn)標(biāo)記I和在相同的X軸上位于相同的地點(diǎn)的處于坐標(biāo)軸上的第三象限的周邊點(diǎn)標(biāo)記3的初始中心點(diǎn)求出初始第一Y軸間距離(換種表現(xiàn)方式，可以稱為初始第一垂直距離)并利用處于坐標(biāo)軸上的第一象限的周邊點(diǎn)標(biāo)記2和位于X軸上的相同地點(diǎn)的處于坐標(biāo)軸上的第四象限的周邊點(diǎn)標(biāo)記4的初始中心點(diǎn)求出初始第二 Y軸間距離(換種表現(xiàn)方式，可以稱為初始第二垂直距離)之后，求出初始第一 Y軸間距離與初始第二 Y軸間距離的平均，設(shè)定為初始Y軸間距離(可以稱為初始垂直距離)。
[0103]另一方面，在這樣的樣品圖案部120中，評(píng)價(jià)值生成部230在抖動(dòng)修正功能發(fā)揮作用的狀態(tài)下利用處于坐標(biāo)軸上的第二象限的周邊點(diǎn)標(biāo)記I和在相同Y軸上位于相同地點(diǎn)的處于坐標(biāo)軸上的第一象限的周邊點(diǎn)標(biāo)記2的修正中心點(diǎn)求出修正第一X軸間距離(換種表現(xiàn)方式，可以稱為修正第一水平距離)并利用處于坐標(biāo)軸上的第二象限的周邊點(diǎn)標(biāo)記3和位于Y軸上的相同地蛋的處于坐標(biāo)軸上的第四象限的周邊點(diǎn)標(biāo)記4的修正中心點(diǎn)求出修正第二 X軸間距離(換種表現(xiàn)方式，可以稱為修正第二水平距離)之后，求出修正第一 X軸間距離與修正第二 X軸間距離的平均，設(shè)定為修正X軸間距離(換種表現(xiàn)方式，可以稱為修正水平距離)。
[0104]然后，在這樣的樣品圖案部120中，評(píng)價(jià)值生成部230在抖動(dòng)修正功能發(fā)揮作用的狀態(tài)下利用處于坐標(biāo)軸上的第二象限的周邊點(diǎn)標(biāo)記I和在相同X軸上位于相同地點(diǎn)的處于坐標(biāo)軸上的第三象限的周邊點(diǎn)標(biāo)記3的修正中心點(diǎn)求出修正第一 Y軸間距離(換種表現(xiàn)方式，可以稱為修正第一垂直距離)并利用處于坐標(biāo)軸上的第一象限的周邊點(diǎn)標(biāo)記2和位于X軸上的相同地點(diǎn)的處于坐標(biāo)軸上的第四象限的周邊點(diǎn)標(biāo)記4的修正中心點(diǎn)求出修正第二Y軸間距離(換種表現(xiàn)方式，可以稱為修正第二垂直距離)之后，求出修正第一 Y軸間距離與修正第二 Y軸間距離的平均，設(shè)定為修正Y軸間距離(可以稱為修正垂直距離)。
[0105]像這樣，評(píng)價(jià)值生成部230算出在抖動(dòng)修正功能未發(fā)揮作用的狀態(tài)下求出的初始X軸間距離(初始水平距離)與在抖動(dòng)修正功能發(fā)揮作用的狀態(tài)下求出的修正X軸間距離(修正水平距離)的差，并算出在抖動(dòng)修正功能未發(fā)揮作用的狀態(tài)下求出的初始Y軸間距離(初始垂直距離)與在抖動(dòng)修正功能發(fā)揮作用的狀態(tài)下求出的修正Y軸間距離(修正垂直距離)的差，作為用于評(píng)價(jià)抖動(dòng)修正的評(píng)價(jià)值，其值越小，抖動(dòng)修正的準(zhǔn)確度越高。此時(shí)，其準(zhǔn)確度可以按每個(gè)軸進(jìn)行評(píng)價(jià)或進(jìn)行相加而作為整體進(jìn)行評(píng)價(jià)。
[0106]根據(jù)如上所述的本發(fā)明，使用點(diǎn)標(biāo)記來(lái)評(píng)價(jià)抖動(dòng)修正的準(zhǔn)確度，只找尋點(diǎn)標(biāo)記的中心，因此，即使嚴(yán)重模糊(Blur)，也能相對(duì)于以往方式更準(zhǔn)確地評(píng)價(jià)抖動(dòng)修正功能的準(zhǔn)確度。
[0107]圖5是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的抖動(dòng)修正評(píng)價(jià)方法的流程圖。
[0108]參照?qǐng)D5，在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的抖動(dòng)修正評(píng)價(jià)方法中，首先，對(duì)固定于振動(dòng)臺(tái)130的攝影裝置170設(shè)定距樣品圖案部120的距離、曝光時(shí)間、視角、靈敏度等用于進(jìn)行攝影的條件(步驟SI 11)。
[0109]然后，振動(dòng)臺(tái)130通過(guò)來(lái)自控制部160的控制而被設(shè)定為靜止?fàn)顟B(tài)，振動(dòng)臺(tái)130進(jìn)行靜止處理(步驟SI 12)。
[0110]接下來(lái)，當(dāng)攝影裝置170的快門按鈕被快門按鈕部140按下時(shí)，進(jìn)行生成攝影圖像(第一攝影圖像)的攝影處理(步驟S113)。
[0111]此后，該生成的攝影圖像(第一攝影圖像)被記錄在攝影裝置170具備的存儲(chǔ)卡(步驟 SI 14)。
[0112]此后，由控制部160從抖動(dòng)模式波形記錄部150獲取抖動(dòng)模式波形和按下時(shí)刻信息(步驟SI 15)。
[0113]然后，基于該獲取的模式波形，控制部