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多波長混合集成接收器的制作方法

文檔序號:11959343閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種多波長混合集成接收器,包括襯底,在襯底上設(shè)置有陣列波導(dǎo)光柵,第一輸入光纖固定在陣列波導(dǎo)光柵上并與陣列波導(dǎo)光柵一端的輸入波導(dǎo)連接;陣列波導(dǎo)光柵的另一端在與輸出波導(dǎo)末端相對應(yīng)的位置設(shè)置有斜面,輸出波導(dǎo)通過斜面與探測器陣列的接收窗口配合;探測器陣列的輸出電極與跨阻放大器陣列的輸入電極連接;跨阻放大器陣列的輸出電極與過渡塊陣列的輸入電極連接;探測器陣列、跨阻放大器陣列和過渡塊陣列間隔設(shè)置在襯底上,且跨阻放大器陣列位于探測器陣列和過渡塊陣列之間;探測器陣列位于輸出波導(dǎo)的下方;探測器與輸出波導(dǎo)一一對應(yīng);跨阻放大器與探測器一一對應(yīng);過渡塊與跨阻放大器一一對應(yīng)。本發(fā)明工藝簡單、低成本。

技術(shù)研發(fā)人員:安俊明;張家順;尹小杰;王亮亮;李建光;吳遠(yuǎn)大;王紅杰;王玥;胡雄偉
受保護(hù)的技術(shù)使用者:河南仕佳光子科技股份有限公司
文檔號碼:201610535194
技術(shù)研發(fā)日:2016.07.08
技術(shù)公布日:2016.12.07

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