技術(shù)總結(jié)
微機(jī)電麥克風(fēng)包括：襯底(2)；傳感器芯片(5)，集成微機(jī)電電聲換能器(35)；以及控制芯片(6)，操作性地耦合至傳感器芯片(5)。傳感器芯片(5)和控制芯片(6)接合至襯底(2)，并且傳感器芯片(5)與控制芯片(6)部分重疊。

技術(shù)研發(fā)人員：R·布廖斯基;A·格里蒂;K·弗莫薩;P·A·巴巴拉
受保護(hù)的技術(shù)使用者：意法半導(dǎo)體股份有限公司;意法半導(dǎo)體（馬耳他）有限公司
文檔號(hào)碼：201610165187
技術(shù)研發(fā)日：2016.03.22
技術(shù)公布日：2017.01.11