專利名稱：固態(tài)攝像裝置及其制造方法和電子設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種固態(tài)攝像裝置及其制造方法和電子設(shè)備，尤其涉及 一種實施了有效的防耀斑及防重影措施的固態(tài)攝像裝置及其制造方法 和電子設(shè)備。
背景技術(shù)：
在具備固態(tài)攝像元件的固態(tài)攝像裝置中配置有用于保護固態(tài)攝像 元件的玻璃罩(透光性構(gòu)件)。在固態(tài)攝像裝置中，通過透鏡入射至玻 璃罩的側(cè)面的視野外耀斑光線(耀斑光)被玻璃罩反射后到達(dá)固態(tài)攝像 元件的受光部。其結(jié)果，由于該入射至受光部的光，導(dǎo)致在拍攝圖像上 產(chǎn)生耀斑(重影)。
對此，例如在專利文獻(xiàn)1 (日本國專利申請公開特開平8-160339號 公報，
公開日1996年6月21日)揭示了 一種已實施了防耀斑措施的 固態(tài)攝像裝置(相機模塊)。具體而言，專利文獻(xiàn)l中所揭示的固態(tài)攝 像裝置采用如下方法，即，設(shè)置玻璃罩使得玻璃罩的側(cè)面所反射的視野 外耀斑光線不入射至攝像元件的受光部。圖7是表示專利文獻(xiàn)1所揭示 的已實施防耀斑措施的固態(tài)攝像裝置的剖面圖。
如圖7所示，在專利文獻(xiàn)1所揭示的固態(tài)攝像裝置100中，基板113 上的玻璃罩112的側(cè)面與固態(tài)攝像元件Ul的受光部(實際用以攝像的 部分)llla之間形成有間隔，且當(dāng)視野外耀斑光線入射至玻璃罩112的 側(cè)面時該光線不入射至受光部llla。如圖7所示，以b，的光路入射的視 野外耀斑光線在玻璃罩112的側(cè)面的點rb，不發(fā)生反射。此外，如該圖 所示，以a，的光路入射的視野外耀斑光線在玻璃罩112的側(cè)面的點ra， 被反射后，直接反射至基板U3。
如上所述，專利文獻(xiàn)l的固態(tài)攝像裝置100具有固態(tài)掇像元件111 和用于保護固態(tài)攝像元件111的玻璃罩112，且玻璃罩112的端部和固 態(tài)攝像元件111的受光部Ula的端部lllb之間保持有一定尺寸以上的 距離。由此，避免被玻璃罩112的側(cè)面所反射的耀斑光入射至受光部 llla。然而，專利文獻(xiàn)1所揭示的固態(tài)攝像裝置IOO并不能充分防止耀斑。
因此，要求更有效的防耀斑措施。
具體而言，在專利文獻(xiàn)1所揭示的結(jié)構(gòu)中，由于在玻璃罩的側(cè)面上 并沒有實施防耀斑措施，因此其并非是一個防耀斑的根本措施。另外， 實際入射至玻璃罩的側(cè)面的光線包含有不同波長成分的光。各波長成分 的反射角各不相同，所以，設(shè)定玻璃罩時有必要考慮全波長成分的反射 角。從而，玻璃罩的設(shè)定變得非常繁瑣，而且，透鏡等光學(xué)系統(tǒng)的設(shè)計 也受到非常大的限制。
另外，固態(tài)攝像元件的芯片尺寸趨于縮小化，并且今后此縮小化的 傾向還將不斷增速。但是，當(dāng)采用專利文獻(xiàn)1所揭示的、固態(tài)攝像裝置
的防耀斑措施時，需使玻璃罩112的端部和固態(tài)攝像元件111的受光部 llla的端部lllb之間保持在一定尺寸以上的距離。因此，隨著固態(tài)攝 像元件的芯片的縮小化，將難于實施專利文獻(xiàn)1所揭示的防耀斑措施。 也就是說，基于專利文獻(xiàn)1所揭示的結(jié)構(gòu)，受光部llla和玻璃罩112 的設(shè)置將受到限制。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述問題而進行開發(fā)的，其目的在于提供一種可減小 耀斑發(fā)生的固態(tài)攝像裝置及其制造方法和電子設(shè)備。另外，本發(fā)明的目 的還在于提供一種采取了具有廣泛應(yīng)用性的防耀斑措施并能適用于固 態(tài)攝像元件的芯片縮小化的固態(tài)攝像裝置及其制造方法和電子設(shè)備。
為了解決上迷課題，達(dá)成上迷目的，本發(fā)明的固態(tài)攝像裝置包括固 態(tài)攝像元件和透光性構(gòu)件，其中，上述固態(tài)攝像元件被安裝在基板上， 上述透光性構(gòu)件與上述固態(tài)攝像元件的受光部對置，并且在上述固態(tài)攝 像元件和上迷透光性構(gòu)件之間保持有間隔，上述透光性構(gòu)件的側(cè)面形成 為凹凸形狀，使得入射至該透光性構(gòu)件的側(cè)面的光發(fā)生散射。
根據(jù)上述發(fā)明，上述透光性構(gòu)件的側(cè)面形成為凹凸形狀，所以，可 使得入射至該透光性構(gòu)件的側(cè)面的光發(fā)生散射。由此，可減少透光性構(gòu)
的受光部。即，可減少被透光性構(gòu)件的側(cè)面反射后口入射至受光^的光(耀 斑光)。從而，可抑制在拍攝圖像上的耀斑和重影的發(fā)生，使得在拍攝 圖像上的耀斑和重影減少到對實際使用無影響的程度。并且，根據(jù)上述發(fā)明，只需將透光性構(gòu)件的側(cè)面加工成凹凸形狀， 即可減少耀斑和重影的發(fā)生，因此可適用于固態(tài)攝像元件的芯片尺寸的 縮小化。即，即使固態(tài)攝像元件小型化，也可以通過改變透光性構(gòu)件的 側(cè)面的形狀來減少耀斑和重影的發(fā)生。因此，能夠提供采取了具有廣泛 應(yīng)用性的防耀斑措施并且可應(yīng)用于各種固態(tài)攝像元件的芯片尺寸的固 態(tài)攝像裝置。
另外，專利文獻(xiàn)l所揭示的固態(tài)攝像裝置是通過使玻璃罩(透光性 構(gòu)件)的尺寸大于通常尺寸來抑制耀斑的發(fā)生。對此，在本發(fā)明的固態(tài) 攝像裝置中，透光性構(gòu)件的側(cè)面形成為凹凸形狀。由此，無需變更透光 性構(gòu)件的尺寸即可實施防耀斑措施，使得耀斑光在受光部不發(fā)生聚光。
為了達(dá)成上述目的，在本發(fā)明的固態(tài)攝像裝置的制造方法中，該固 態(tài)攝像裝置包括固態(tài)攝像元件和透光性構(gòu)件，上述固態(tài)攝像元件被安裝 在基板上，上述透光性構(gòu)件與上迷固態(tài)攝像元件的受光部對置，并且， 在上述固態(tài)攝像元件和上述透光性構(gòu)件之間保持有間隔，該固態(tài)攝像裝
置制造方法的特征在于，包括在上述透光性構(gòu)件的側(cè)面形成凹凸的凹 凸形成步驟。
根據(jù)上迷發(fā)明，制造固態(tài)攝像裝置時，利用了側(cè)面為凹凸形狀的透
四凸形狀所散射。從而:可減-透光'^構(gòu)件的側(cè)面的二射光被該透光性
構(gòu)件的側(cè)面反射后入射至固態(tài)攝像元件的受光部。即，可減少被透光性 構(gòu)件的側(cè)面反射后入射至受光部的光(耀斑光)。從而，可抑制拍攝圖 像上的耀斑和重影的發(fā)生，使得在拍攝圖像上的耀斑和重影減少到對實 際使用無影響的程度。
并且，根據(jù)上述發(fā)明，只需將透光性構(gòu)件的側(cè)面加工成凹凸形狀， 即可減少耀斑和重影的發(fā)生，因此可適用于固態(tài)攝像元件的芯片尺寸的 縮小化。即，即使固態(tài)攝像元件縮小化，也可以通過改變透光性構(gòu)件的 側(cè)面的形狀來減少耀斑和重影的發(fā)生。因此，能夠提供實施了具有廣泛 應(yīng)用性的防耀斑措施并且可應(yīng)用于具有各種固態(tài)攝像元件的芯片尺寸 的固態(tài)攝像裝置。
此外，為了達(dá)成上述目的，本發(fā)明的電子設(shè)備的特征在于，包括上 述固態(tài)攝像裝置。根據(jù)上述發(fā)明，可提供具備了有效的防耀斑措施的電 子設(shè)備。本發(fā)明的其他目的，特征和優(yōu)點在以下的描述中會變得十分明確。 以下，參照附圖來明確本發(fā)明的優(yōu)點。


圖1是本發(fā)明的實施方式的相機模塊的剖面圖。
圖2是表示本發(fā)明的實施方式中的耀斑發(fā)生評價方法的概念的概念圖。
圖3是表示通過裁切處理(dicing)所形成的玻璃罩側(cè)面的斜視圖 以及側(cè)面圖。
圖4是表示通過激光照射所形成的玻璃罩側(cè)面的斜視圖以及側(cè)面圖。
圖5是表示通過具有圖3所示的玻璃罩的固態(tài)攝像裝置所拍攝的圖像。
圖6是表示通過具有圖4所示的玻璃罩的固態(tài)攝像裝置所拍攝的圖像。
圖7是表示專利文獻(xiàn)1所揭示的固態(tài)攝像裝置的剖面圖。
具體實施例方式
下面，根據(jù)附圖來說明本發(fā)明的實施方式。
本發(fā)明的固態(tài)攝像裝置是通過將粘合在固態(tài)攝像元件上部的玻璃 罩的側(cè)面加工成凹凸形狀來減少被玻璃罩的側(cè)面反射的耀斑光線。
本發(fā)明的固態(tài)攝像裝置適用于諸如具備攝像功能的便攜式電話、數(shù) 字靜態(tài)照相機、攝像機、監(jiān)視用攝像機等的各種可攝像的電子設(shè)備。在 本實施方式中以具備攝像功能的便攜式電話中的相機模塊(固態(tài)攝像裝 置)為例進行說明。
圖1是本實施方式的相機模塊10的剖面圖。相機模塊10包括固態(tài) 攝像元件11和玻璃罩12，其中，固態(tài)攝像元件11安裝在配線基板(基 板)13上，玻璃軍12與固態(tài)攝像元件U對置。
另外，相機模塊10包括未圖示的、用于形成被拍攝物體像的攝像 光學(xué)系統(tǒng)(透鏡)，經(jīng)該攝像光學(xué)系統(tǒng)形成的被拍攝物體像通過固態(tài)攝 像元件11被轉(zhuǎn)換成電信號。該攝像光學(xué)系統(tǒng)的光學(xué)中心與固態(tài)攝像元 件U的光學(xué)中心一致d配線基板13是形成有配線圖案(不圖示)的基板。作為配線基板 13的示例，可例舉出印刷基板、陶瓷基板等。在配線基板13的、用于 安裝固態(tài)攝像元件11的安裝面上，設(shè)有引線鍵合端子13a,安裝面的反 面(背面)設(shè)有外部連接用電極13b。引線鍵合端子13a和外部連接用 電極13b之間相互電連接。
另外，引線鍵合端子13a和固態(tài)攝像元件11之間通過引線15形成 電連接，相互間可收發(fā)電信號，其中，固態(tài)攝像元件11被疊層設(shè)置在 配線基板13的中央部。另外，通過外部連接用電極13b，相機模塊10 和搭栽有該相機模塊10的具備攝像功能的便攜式電話(電子設(shè)備)之 間可進行信號的輸入輸出。
固態(tài)攝像元件11是由半導(dǎo)體芯片構(gòu)成的固態(tài)攝像元件，將經(jīng)過攝 像光學(xué)系統(tǒng)(不圖示)形成的被拍攝物體像轉(zhuǎn)換成電信號。即，固態(tài)攝 像元件11是對于經(jīng)攝像光學(xué)系統(tǒng)入射的入射光進行光電轉(zhuǎn)換的傳感器 構(gòu)件。作為固定攝像元件ll,可例舉CCD或CMOS傳感器IC等。
利用粘合材料(不圖示)將固態(tài)攝像元件11固定在配線基板13上。 然后，通過引線15(連接部，不圖示)使得固態(tài)攝像元件11的焊盤(不 圖示)和配線基板13的引線鍵合端子13a電連接。
固態(tài)攝像元件11的表面上形成有受光部Ua(像素區(qū)域)。該受光 部Ua是經(jīng)攝像光學(xué)系統(tǒng)(不圖示)入射的光進行成像的區(qū)域(成像區(qū) 域)。固態(tài)攝像元件11將在該受光部lla形成的被拍攝物體像轉(zhuǎn)換成 電信號，并作為模擬信號輸出。即，在受光部Ua進行光電轉(zhuǎn)換。
借助于粘合層16,在固態(tài)攝像元件11的受光部lla上安裝玻璃罩 12。其中，粘合層16由粘合樹脂形成。
玻璃罩12是由玻璃或樹脂等構(gòu)成的透光性構(gòu)件。也可以在玻璃罩 12的表面(搭載攝像光學(xué)系統(tǒng)(透鏡等)的面)形成紅外線遮光膜，使 玻璃罩12具備紅外線遮光功能。
粘合層16用于粘合固態(tài)攝像元件II和玻璃軍12。粘合層16被設(shè) 置在固態(tài)攝像元件11的受光部Ua的周圍，將坡璃罩12粘合在固態(tài)攝 像元件上。因此，固態(tài)攝像元件11的受光部lla被玻璃罩12所覆 蓋。
詳細(xì)而言，在利用粘合層16來粘合固態(tài)攝像元件11和玻璃革12 時，使得玻璃罩12與固態(tài)攝像元件11的受光部Ua對置，并且在玻璃罩12與固態(tài)攝像元件U之間形成間隔。由此，固態(tài)攝像元件11與玻 璃罩12之間形成密封空間。由于形成有密封空間，所以，可防止受光 部lla受濕氣侵入、塵埃侵入和附著的影響。從而，可防止受光部Ua 發(fā)生不良現(xiàn)象。另外，在本實施方式中，受光部lla的整個外周部形成 有粘合層16,因此，玻璃罩12不易脫落。
另外，例如在固態(tài)攝像元件11上粘貼片狀的粘合材料后，可利用 光刻技術(shù)進行爆光以及顯影處理來形成圖案，由此，形成粘合層16。使 用光刻技術(shù)可精確地形成粘合層16的圖案，而且，由于利用了片狀的 粘合材料，可使得形成粘合層16的厚度均一。由此，能夠高精度地將 玻璃罩12和固態(tài)攝像元件11的受光部lla粘合在一起。
在本實施方式中，在配線基板13上除安裝有固態(tài)攝像元件11之外， 也可以在配線基板13上另外增設(shè)安裝IC和芯片構(gòu)件等。例如，可以增 設(shè)IC芯片以構(gòu)成疊層結(jié)構(gòu)。在這種情況下，固態(tài)攝像元件ll作為最上 層進行疊層。另外，配線基板13上還可以設(shè)置諸如DSP (digital signal processor:數(shù)字信號處理器)、用于根據(jù)程序進行各種演算處理的CPU、 用于存儲上迷程序的ROM、用于存儲各種處理步驟的數(shù)據(jù)等的RAM等 的電子構(gòu)件，其中，DSP用于控制固態(tài)攝像元件U的動作并對固態(tài)攝 像元件11的輸出信號進行處理。此時，通過各電子構(gòu)件實施對相機模 塊10的整體控制。
在本實施方式的相機模塊10中，通過成型樹脂14,對在配線基板 13上的上述各個構(gòu)件進行封閉。換而言之，相機模塊IO是所謂的CSP (Chip Scale Package:芯片級封裝)的構(gòu)造。即，在相機模塊10中， 固態(tài)攝像元件11以及用于電連接固態(tài)攝像元件11和配線基板13的引 線15被成型樹脂14所封閉。因此，相機模塊IO是適用于超小型化， 超薄型化的結(jié)構(gòu)。
此外，由于只對相機模塊10的透光區(qū)域之外的區(qū)域進行成型樹脂 14封閉。因此，玻璃罩12的表面并未覆蓋成型樹脂，光線可透射至固 態(tài)攝像元件11的受光部lla。
以下，對相機模塊10的特征部分進行說明。相機模塊10的最大特 點在于其玻璃罩12的側(cè)面的形狀。具體而言，相機模塊10的玻璃罩12 的側(cè)面為凹凸形狀。
通常，利用激光照射法裁切玻璃基板來形成相機模塊的玻璃罩。這是由于激光具有較好的直線性，利用激光照射來實施玻璃的裁切時，所 形成的玻璃軍的形狀安定，且在裁切時發(fā)生的粉塵量也少。但是，本發(fā) 明者探討發(fā)現(xiàn)，激光照射形成的裁切面大致平坦(如后所迷)。在玻璃 罩的側(cè)面為平坦的情況下，入射至玻璃軍側(cè)面的耀斑光在坡璃側(cè)面均一 地被反射(全反射)后，導(dǎo)致光集中到固態(tài)攝像元件的受光部。其結(jié)果， 導(dǎo)致在拍攝圖像中發(fā)生耀斑和重影。由此，現(xiàn)有的相機模塊不能充分防 止耀斑的發(fā)生。
對此，本實施方式的相機模塊IO的玻璃罩12的側(cè)面形成為凹凸形 狀。由此，被玻璃罩反射后入射至固態(tài)攝像元件U的受光部lla的、 導(dǎo)致耀斑和重影發(fā)生的光(耀斑光)被該凹凸形狀的側(cè)面散射。從而， 可避免在受光部Ua收束有耀斑光。即，可減少耀斑光。從而，可有效 地抑制使得在拍攝圖像上發(fā)生的耀斑和重影減輕到對實際使用無影響 的程度。
如上所述，通過使得相機模塊10的玻璃罩12的側(cè)面形成為凹凸形 狀，入射至玻璃罩12的側(cè)面的光被散射，從而，可減少玻璃罩12的側(cè) 面的入射光經(jīng)反射后入射至固態(tài)攝像元件11的受光部lla(攝像面)的 光的入射量。從而，可減低被玻璃罩12的側(cè)面所反射的不要的耀斑光 線。
上述凹凸形狀只要可以對入射至玻璃罩12的側(cè)面的光進行散射即 可，并不特別限定。但是，優(yōu)選的是該凹凸形狀在玻璃罩12的側(cè)面不 規(guī)則地形成。即，優(yōu)選在玻璃罩12的側(cè)面任意地形成無規(guī)則的凹凸形 狀。由此，可使入射至玻璃罩12的側(cè)面的光發(fā)生散射。從而，能夠更 有效地確保防止被玻璃罩12的側(cè)面反射后的光入射至固態(tài)攝像元件U 的受光部Ua。即，可更有效地減少被玻璃罩12的側(cè)面反射后入射至固 態(tài)攝像元件11的受光部Ua的光(耀斑光)。
另外，對于該凹凸形狀，優(yōu)選在玻璃罩12的側(cè)面形成的凸部的高 度為0.9pm以上5nm以下 由此，玻璃罩12的側(cè)面的凹凸形狀可有效 地散射耀斑光。從而，能夠有效地抑制在拍攝圖像中發(fā)生耀斑和重影9 在此，"凸部的高度"是指凹部的最低位置(谷)與凸部的最高位置(峰) 之間的距離。換而言之，此凸部的高度是TTV( Total Thickness Variation: 總厚度差)。
在此，在相機模塊10中，可利用在玻璃罩12的側(cè)面形成的凹凸形狀(換而言之，增大玻璃罩12的側(cè)面的粗糙度)來抑制耀斑光的發(fā)生， 該耀斑是指通過玻璃罩12內(nèi)部的光被玻璃罩12的側(cè)面全反射(正反射) 后，投影在拍攝圖像上形成的光斑。在幾何光學(xué)中，根據(jù)經(jīng)驗法則導(dǎo)出 全反射條件。但是，在幾何光學(xué)中，是以折射率變化的界面為光滑的鏡 面作為前提。為了簡單化，本實施方式的玻璃罩12的凹凸形狀為玻璃 罩12的側(cè)面(反射的界面)，并設(shè)定入射至玻璃罩12的側(cè)面的光線為 直射光。由于在玻璃罩12上形成凹凸形狀，近似于光線在反射的界面 附近發(fā)生散射(界面附近有妨礙光線直進的物體)，從而妨礙全反射。 即，玻璃軍12的凹凸形狀成為在反射的界面附近對光線進行散射的散 光體。因此，在該凹凸形狀成為大于波長的障礙物的條件下，可防止光 線的直進。
由于光的波長范圍為360nm (0.36nm)至830nm (0.83nm),所以 將凸部的高度設(shè)為0.9pm以上，可以在玻璃罩12的側(cè)面防止光線直進， 使得引起非選擇性的散射。另外，當(dāng)凸部的高度不足0.9nm時，由于米 氏散射(Mie scattering)、雷氏散射(Rayleigh scattering)，可能發(fā)生 分光、偏光的現(xiàn)象。
另外，當(dāng)凸部的高度為0.9nm至5nm時，如后所述，易于對用于 裁切玻璃罩12的裁切刀片，(嵌入有極小的金剛石的如砂紙的工具)的 金剛石的顆粒直徑進行設(shè)定。
另外，由于玻璃罩12的側(cè)面的凹凸形狀可使得耀斑光發(fā)生亂反射 (擴散散射)，因此，也可在考慮反射的本質(zhì)條件(電磁學(xué)和量子力學(xué)) 的基礎(chǔ)上來設(shè)定玻璃罩12的側(cè)面的凹凸形狀。
如上所述，本發(fā)明的相機模塊10著眼于對玻璃罩12的側(cè)面的形狀 實施了防耀斑措施。即，玻璃罩12的側(cè)面成為可對入射至該玻璃罩12 的側(cè)面的光進行散射的凹凸形狀。因此，入射至玻璃軍12的側(cè)面的光 被玻璃罩12的側(cè)面所散射。由此，可減少玻璃罩12的側(cè)面的入射光被 該玻璃罩12的側(cè)面反射后入射至固態(tài)攝像元件11的受光部lla。即， 可減少被玻璃罩12的側(cè)面反射后入射至固態(tài)攝像元件11的受光部Ua 的光(耀斑光)。從而，可將在拍攝圖像上的耀斑和重影減少到對實際 使用無影響的程度。
并且，只需要使玻璃罩12的側(cè)面形成為凹凸形狀，即可抑制耀斑 和重影的發(fā)生，因此，也可適用于固態(tài)攝像元件U的芯片尺寸縮小化。即，能夠與固態(tài)攝像元件11的芯片尺寸無關(guān)地，提供已實施具有廣泛
應(yīng)用性的防耀斑措施的固態(tài)攝像裝置10。
關(guān)于玻璃罩12的側(cè)面的凹凸形狀的形求方法，并不特別限制，例 如，可采用后述的裁切處理來形成。具體而言，通過裁切處理將玻璃基 板(透光性基板)裁切成多個玻璃罩12時，以通過裁切處理所形成的 裁切面作為玻璃罩12的側(cè)面。通過裁切處理所形成的裁切面是相對粗 糙的表面，其與激光照射所形成的平坦裁切面不同。即，通過裁切處理 使得所形成的裁切面為凹凸形狀。因此，可簡單地形成如上所述的玻璃 罩12的凹凸形狀。
另外，玻璃罩12的側(cè)面的凹凸形狀也可使用裁切處理以外的方法 來形成。例如，可通過蝕刻來形成凹凸形狀，還可對激光照射所形成的 平坦的玻璃罩側(cè)面施以化學(xué)處理來形成凹凸形狀，也可通過銼、砂或金 剛石等的微粒的作用來形成凹凸形狀。
另夕卜，對于玻璃罩的厚度，由于在側(cè)面的凹凸形狀各不相同，所以， 并不特別限定。例如，只要在玻璃罩的側(cè)面的凹凸為高密度的情況下， 入射至側(cè)面的光線則易于被散射，因此，可以減小玻璃罩的厚度。
在相機模塊10中，除了在玻璃罩12的側(cè)面具有凹凸形狀以外，其 它構(gòu)造與現(xiàn)有的相機模塊相同。因此，基本上可利用通常的制造步驟來 制造。即，對于相機模塊10，除了使玻璃罩12的側(cè)面形成為凹凸形狀 的步驟以外，可以利用通常的相機模塊制造方法(例如，日本國專利申 請公開特開2004-296453號公報所揭示的步驟)來制造。
在此，優(yōu)選的是玻璃罩12形成為凹凸形狀的凹凸形成步驟包括 通過裁切處理將玻璃基板裁切成多個玻璃罩12的裁切步驟，在上述裁 切步驟中，裁切透光性基板使得通過裁切處理所得到的裁切面形成為玻 璃罩12的側(cè)面。在該裁切步驟中，通過裁切處理將1塊玻璃基板裁切 成多個玻璃罩12。另外，在裁切步驟中，通過裁切處理所得到的裁切面 為玻璃罩12的側(cè)面。
在此，通過裁切處理所形成的裁切面是粗糙的面，而不是如通過激 光照射所形成的平坦的面。由此，在裁切步驟中，以通過裁切處理所形 成的粗糙的面作為玻璃罩12的側(cè)面。因此，在裁切步驟中的l個階段， 既可由玻璃基板裁切形成多個玻璃軍12，也可在玻璃基板12的側(cè)面形 成凹凸形狀。另外，相機模塊10也可通過下述方法來制造，即，形成晶圓并配 置使得側(cè)面已形成凹凸形狀的各玻璃罩12與各固態(tài)攝像元件11的受光 部lla對置，其中，該晶圓具有多個配線基板13和被安裝于各配線基 板13的固態(tài)攝像元件11。
另外，也可以通過下述來形成凹凸，即，配置使得其形狀相同于晶 圓的玻璃基板和固態(tài)攝像元件的受光部lla對置后，通過裁切處理來裁 切玻璃基板，形成各個玻璃罩12，并在各玻璃罩12的側(cè)面形成凹凸形 狀。另外，也可以通過裁切處理裁切晶圓來形成各攝像模塊10。在此情 況下，能夠通過同一步驟實施以下處理，即，通過裁切處理形成玻璃罩 12、在玻璃罩12的側(cè)面形成凹凸形狀以及從晶圓分割形成相機模塊10。
在下述實施例中，利用側(cè)面形成有凹凸形狀的玻璃罩12和側(cè)面為 平坦的現(xiàn)有技術(shù)的玻璃罩分別拍攝圖像，并對各拍攝所形成的拍攝圖像 中所發(fā)生耀斑進行了評價。
圖2是表示本實施方式的耀斑評價方法的概念圖。如圖2所示，在 熒光燈下，視野角外的光入射至玻璃罩的側(cè)面，該入射光被玻璃罩的側(cè) 面反射。由此，視野角外的光易于入射至固態(tài)攝像元件的受光部，從而 易于發(fā)生耀斑。在本實施例中，在易于發(fā)生耀斑的條件下所拍攝的拍攝 圖像進行了比較。
圖3是表示通過裁切處理所形成的玻璃罩的側(cè)面的斜視圖以及側(cè)面 圖。與此相比，圖4是表示通過激光照射所形成的玻璃軍的側(cè)面的斜視 圖以及側(cè)面圖。
如圖3所示，玻璃罩的側(cè)面為通過裁切處理所形成的裁切面時，玻 璃罩的側(cè)面形成有粗糙的凹凸形狀。圖3的斜視圖的縮尺為50nm,可 知在該玻璃罩的側(cè)面隨機地形成了 5nm以下的凹凸形狀。
另一方面，如圖4所示，玻璃罩的側(cè)面為通過激光照射所形成的裁 切面時，玻璃罩的側(cè)面是平坦的。
圖5是表示利用具有圖3所示的玻璃罩的固態(tài)攝像裝置所拍攝的圖 像，圖6是表示利用具有圖4所示的玻璃罩的固態(tài)攝像裝置所拍攝的圖 像。在圖5所示的拍攝圖像中未發(fā)現(xiàn)光班，而在圖6所示的拍攝圖像的 上部發(fā)現(xiàn)有耀斑。其原因在于本發(fā)明使得從^f見野角外入射至玻璃罩側(cè) 面的視野角外的光被本發(fā)明的玻璃罩側(cè)面反射后入射至固態(tài)攝像元件的受光部的光的量得到抑制。
根椐上述可知將玻璃罩的側(cè)面制成凹凸形狀具有減小耀斑的作用。
如上所述，本發(fā)明的固態(tài)攝像裝置的透光性構(gòu)件的側(cè)面形成為可使 入射至上述透光性構(gòu)件的側(cè)面的光發(fā)生散射的凹凸形狀。因此，具有以 下效果，即，可將發(fā)生在拍攝圖像上的耀斑和重影減少到對實際使用無 影響的程度。另外，還具有以下效果，即，能夠提供已實施防耀斑措施 的固態(tài)攝像裝置，其中，該防耀斑措施具有廣范應(yīng)用性，可應(yīng)用于各種 固態(tài)攝像元件的芯片尺寸。
在本發(fā)明的固態(tài)攝像裝置中，優(yōu)選上述透光性構(gòu)件的側(cè)面形成有不 規(guī)則的凹凸形狀。
根據(jù)上述發(fā)明，在透光性構(gòu)件的側(cè)面隨機地形成有不規(guī)則的凹凸形 狀。由此，能夠使得入射至透光性構(gòu)件的側(cè)面的光發(fā)生亂反射。從而， 可更有效地減少通過透光性構(gòu)件的側(cè)面反射后的反射光入射至固態(tài)攝 像元件的受光部。即，可更有效地減少被透光性構(gòu)件的側(cè)面反射后入射 至固態(tài)攝像元件的受光部的光(耀斑光)。
在本發(fā)明的固態(tài)攝像裝置中，在上述透光性構(gòu)件的側(cè)面所形成的凸 部的高度優(yōu)選為0.9nm以上5nm以下。
根據(jù)上述發(fā)明，透光性構(gòu)件的側(cè)面形成有高度為0.9pm至5pm的 凸部。因此，能夠可靠地使入射至透光性構(gòu)件的側(cè)面的光發(fā)生散射。從 而，可以更有效地抑制在拍攝圖像中的耀斑和重影的發(fā)生。
凸部的高度是指凹部的最低位置(谷)和凸部的最高位置(峰)之 間的距離。換而言之，該凸部的高度為TTV(Total Thickness Variation),
在本發(fā)明的固態(tài)攝像裝置中，上述透光性構(gòu)件的凹凸形狀優(yōu)選是通 過裁切處理所裁切形成的裁切面。
通過裁切處理所裁切形成的裁切面是粗糙的表面，而不是通過激光 照射所形成的平坦的裁切面。根據(jù)上迷發(fā)明，如上所述地通過裁切處理 所裁切形成的粗糙的表面為透光性構(gòu)件的側(cè)面的凹凸形狀。因此，能夠 提供可簡單地形成具有透光性構(gòu)件的固態(tài)攝像裝置，其中，該透光性構(gòu) 件具備防耀斑及防重影的凹凸形狀。
在本發(fā)明的固態(tài)攝像裝置中，優(yōu)選的是，上述透光性構(gòu)件通過粘合 層被設(shè)置在上述固態(tài)攝像元件上。根據(jù)上述發(fā)明，因為透光性構(gòu)件通過粘合層被設(shè)置在固態(tài)攝像元件 上，所以，可提供薄型的固態(tài)攝像裝置。
在本發(fā)明的固態(tài)攝像裝置的制造方法中，該固態(tài)攝像裝置包括固態(tài) 攝像元件和透光性構(gòu)件，上述固態(tài)攝像元件被安裝在基板上，上述透光 性構(gòu)件與上述固態(tài)攝像元件的受光部對置，并且，在上述固態(tài)攝像元件 和上述透光性構(gòu)件之間保持有間隔，本發(fā)明的固態(tài)攝像裝置制造方法的
特征在于，包括在上述透光性構(gòu)件的側(cè)面形成凹凸的凹凸形成步驟。
根據(jù)上述發(fā)明，制造固態(tài)攝像裝置時，利用了側(cè)面為凹凸形狀的透 光性構(gòu)件。因此，入射至透光性構(gòu)件的側(cè)面的光將被透光性構(gòu)件的側(cè)面 的凹凸形狀所散射。由此，可更有效地減少被透光性構(gòu)件的側(cè)面反射后 的光入射至固態(tài)攝像元件的受光部。即，可更有效地減少被透光性構(gòu)件 的側(cè)面反射后入射至固態(tài)攝像元件的受光部的光(耀斑光)。從而，可 將在拍攝圖像上的耀斑和重影減少到對實際使用無影響的程度。
并且，根據(jù)上述方法，只需將透光性構(gòu)件的側(cè)面加工成凹凸形狀， 即可減少耀斑和重影的發(fā)生，由此，也能夠適用于固態(tài)攝像元件的芯片 大小的縮小化。即，能夠制造已實施防耀斑和防重影措施的固態(tài)攝像裝 置，其中，該防耀斑和防重影措施具有廣范應(yīng)用性，可應(yīng)用于各種固態(tài) 攝像元件的芯片尺寸。
在本發(fā)明的固態(tài)攝像裝置的制造方法中，優(yōu)選的是，上述凹凸形成 步驟包括裁切步驟，在該裁切步驟中通過裁切處理對透光性基板進行裁 切從而形成多個透光性構(gòu)件；并且，在上述裁切步驟中通過裁切處理所 得到的裁切面為透光性構(gòu)件的側(cè)面。
根據(jù)上述發(fā)明，在裁切步驟中，通過裁切處理將1塊透光性基板裁 切形成多個透光性構(gòu)件。另外，在裁切步驟中，通過裁切處理所形成的 裁切面為透光性構(gòu)件的側(cè)面。
在此，通過裁切處理所裁切形成的裁切面是粗糙的表面，而不是通 過激光照射所形成的平坦的裁切面。根據(jù)上述發(fā)明，以通過裁切處理形 成的粗糙的裁切面作為透光性構(gòu)件的側(cè)面。因此，在裁切步驟的1階段 中，可以同時在玻璃基板形成多個透光性構(gòu)件，在透光性構(gòu)件的側(cè)面形 成的凹凸形狀。
本發(fā)明作為防耀斑措施可應(yīng)用于諸如具備攝像功能的便攜式電話、 數(shù)字靜態(tài)照相機、監(jiān)視用攝像機、便攜式電話用/車栽用/內(nèi)部通信用的攝像機等各種的攝像裝置(電子設(shè)備)。另外，根據(jù)本發(fā)明，可有效防 止各種攝像裝置的耀斑，并且不妨礙裝置的小型化。
本發(fā)明并不限于上迷各實施方式，可以根據(jù)本發(fā)明請求保護的技術(shù) 方案所示的范圍進行各種變化，適當(dāng)?shù)亟M合不同實施方式記述的技術(shù)手 段而得到的實施方式也包含于本發(fā)明的技術(shù)范圍之內(nèi)。
以上，對本發(fā)明進行了詳細(xì)的說明，上述具體實施方式
或?qū)嵤├齼H 僅是揭示本發(fā)明的技術(shù)內(nèi)容的示例，本發(fā)明并不限于上述具體示例，不 應(yīng)對本發(fā)明進行狹義的解釋，可在本發(fā)明的精神和本發(fā)明請求保護的技 術(shù)方案的范圍內(nèi)進行各種變更來實施之。
權(quán)利要求
1. 一種固態(tài)攝像裝置，包括固態(tài)攝像元件和透光性構(gòu)件，其中，上述固態(tài)攝像元件被安裝在基板上，上述透光性構(gòu)件與上述固態(tài)攝像元件的受光部對置，并且在上述固態(tài)攝像元件和上述透光性構(gòu)件之間保持有間隔，該固態(tài)攝像裝置的特征在于上述透光性構(gòu)件的側(cè)面形成為凹凸形狀，使得該透光性構(gòu)件的側(cè)面的入射光發(fā)生散射。
2. 根椐權(quán)利要求1所述的固態(tài)攝像裝置，其特征在于 在上述透光性構(gòu)件的側(cè)面形成有不規(guī)則的凹凸形狀。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的固態(tài)攝像裝置，其特征在于 在上述透光性構(gòu)件的側(cè)面形成的凸部的高度為0.9pm以上5pm以下。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的固態(tài)攝像裝置，其特征在于 上述透光性構(gòu)件的凹凸形狀由裁切面構(gòu)成，該裁切面是通過裁切處理所得到的面。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的固態(tài)攝像裝置，其特征在于 上述透光性構(gòu)件設(shè)置在上述固態(tài)攝像元件上，并且在上述透光性構(gòu)件與上述固態(tài)攝像元件之間形成有粘合層。
6. —種固態(tài)攝像裝置制造方法，其中，該固態(tài)攝像裝置包括固態(tài) 攝像元件和透光性構(gòu)件，上述固態(tài)攝像元件被安裝在基板上，上述透光 性構(gòu)件與上迷固態(tài)攝像元件的受光部對置，并且，在上述固態(tài)攝像元件 和上述透光性構(gòu)件之間保持有間隔，該固態(tài)攝像裝置制造方法的特征在 于，包括在上述透光性構(gòu)件的側(cè)面形成凹凸的凹凸形成步驟。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的固態(tài)攝像裝置制造方法，其特征在于 上述凹凸形成步驟包括裁切步驟，在該裁切步驟中通過裁切處理對透光性基板進行裁切從而形成多個透光性構(gòu)件；并且，在上述裁切步驟中通過裁切處理所得到的裁切面為透光性構(gòu) 件的側(cè)面。
8. —種電子設(shè)備，其特征在于具備固態(tài)攝像裝置，其中，該固態(tài)攝像裝置包括固態(tài)攝像元件和透 光性構(gòu)件，上述固態(tài)攝像元件被安裝在基板上，上述透光性構(gòu)件與上述固態(tài)攝像元件的受光部對置，并且，在上述固態(tài)攝像元件和上述透光性 構(gòu)件之間保持有間隔，上述透光性構(gòu)件的側(cè)面形成為凹凸形狀，使得該 透光性構(gòu)件的側(cè)面的入射光發(fā)生散射。
全文摘要
本發(fā)明涉及固態(tài)攝像裝置及其制造方法和電子設(shè)備。相機模塊(10)包括玻璃罩(12)，玻璃罩(12)覆蓋固態(tài)攝像元件(11)的受光部(11a)。玻璃罩(12)的側(cè)面形成為凹凸形狀，通過使得玻璃罩(12)的側(cè)面的入射光發(fā)生散射來減少耀斑光。由此，本發(fā)明能夠提供一種采取了具有廣泛應(yīng)用性的防耀斑措施并能適用于固態(tài)攝像元件的芯片縮小化的相機模塊(10)。
文檔編號H04N5/335GK101435905SQ20081017333
公開日2009年5月20日 申請日期2008年11月13日 優(yōu)先權(quán)日2007年11月13日
發(fā)明者寺田啟二 申請人:夏普株式會社