進行密封。由此，從封裝9內(nèi)去除在蓋92的接合時產(chǎn)生的氣體后能夠進行密封，能夠提供實現(xiàn)了高品質(zhì)的氣密密封的振子1A。此外，排氣后的第2焊接工序中的接合是在短邊的一邊進行的，因此能夠減少第2焊接工序中的接合時的氣體(剩余在內(nèi)部空間的殘留氣體)。此外，在密封工序中未使用激光等，因此能夠防止激光照射引起的底座91的損傷，并且還能夠抑制熔融物的飛散，從而能夠得到特性穩(wěn)定的振子。
[0116]另外，在第3實施方式中，對在第I焊接工序中沿著未形成槽94的3個邊進行焊接、在排氣工序后通過第2焊接工序對剩余的一邊進行焊接的方法作了說明，但是不限于此。例如也可以首先在第I焊接工序中，對沿著長邊側的兩邊的軌跡S3、軌跡S4的部分進行縫焊，然后經(jīng)過排氣工序，并通過第2焊接工序對沿著剩余的兩個短邊的軌跡S1、軌跡S2進行縫焊。通過這樣的接合，也具有與第3實施方式相同的效果。
[0117](槽的開口形狀)
[0118]這里，依照圖11，對在第I實施方式、第2實施方式和第3實施方式中使用的形成于蓋92的槽94的開口形狀進行說明。圖11是示出槽的開口形狀例、且從正面觀察到的槽的開口的主視圖。在上述實施方式中，以圖11的(e)所示那樣的、矩形的槽94為例對設置于蓋92的槽94的開口形狀進行了說明，但是不限于此，也可以是如下所示那樣的其他形狀。
[0119]圖11的(a)所示的槽94k是楔形(在反面92b側具有兩個頂點的三角形)的。通過設為這樣的楔形槽94k，能夠使得對槽94k進行成型時的利用成型工具(例如成型模具)的成型性良好。即，能夠通過使得成型工具的前端成為錐形，容易地進行成型工具的按壓。
[0120]另外，對于圖11的(b)所示的槽94e，楔形的前端部94f成為曲線的R形狀。通過這樣將前端部94f設為R形狀，除了上述良好的成型性以外，還能夠提高成型工具的前端強度，能夠實現(xiàn)成型工具的長壽命化，能夠穩(wěn)定地維持成型性。
[0121]此外，圖11的(c)所示的槽94g是楔形的前端部94h由寬度較窄的直線部分形成的、所謂的梯形形狀的槽94g。在這樣的、前端部94h由寬度較窄的直線部分形成的槽94g中，也與上述槽94e同樣，除了良好的成型性以外，還能夠提高成型工具的前端強度，能夠實現(xiàn)成型工具的長壽命化，能夠穩(wěn)定地維持成型性。
[0122]此外，對于圖11的(d)所示的槽94i，矩形形狀的底面與側面相交的部分是曲線的R形狀94j。根據(jù)這樣的槽94i，與圖11的(e)所示的槽94相比，能夠實現(xiàn)成型工具的長壽命化，并且能夠提尚成型性。
[0123]另外，在上述電子器件的說明中，以使用了所謂的雙T型的陀螺儀元件2來作為電子部件的振子1、陀螺儀傳感器200為例作了說明，然而不限于此，可以應用于在封裝內(nèi)氣密地收納元件的電子器件。作為其他電子器件，例如可以是使用了 H型或者音叉型陀螺儀元件來作為電子部件的陀螺儀傳感器、使用了振動元件的定時器件(振子、振蕩器等)、使用了壓敏元件的壓力傳感器、使用了半導體元件的半導體裝置等。
[0124]此外，作為振動元件，可適當利用使用了壓電體的MEMS元件等壓電振動元件，或者材料使用了石英的音叉型石英振動片等進行彎曲振動的石英振動片、縱振動型石英振動片、厚度剪切石英振動片等。
[0125][電子設備]
[0126]接著，根據(jù)圖12?圖14詳細說明應用了作為本發(fā)明的一個實施方式的電子器件的振子1、1A、或者作為電子器件的陀螺儀傳感器200的電子設備。另外，在說明中，示出了應用使用陀螺儀元件2的振子I的例子。
[0127]圖12是示出具有作為本發(fā)明一個實施方式的電子器件的振子I的作為電子設備的移動型(或筆記本型)的個人計算機的結構概略的立體圖。在該圖中，個人計算機1100由具有鍵盤1102的主體部1104以及具有顯示部1101的顯示單元1106構成，顯示單元1106通過鉸鏈構造部以能夠轉動的方式支承在主體部1104上。在這種個人計算機1100中內(nèi)置有振子1，該振子I使用了具有檢測角速度的功能的陀螺儀元件2。
[0128]圖13是示出具有作為本發(fā)明一個實施方式的電子器件的振子I的作為電子設備的移動電話機(也包括PHS)的結構概略的立體圖。在該圖中，移動電話機1200具有多個操作按鈕1202、接聽口 1204以及通話口 1206，在操作按鈕1202與接聽口 1204之間配置有顯示部100。在這種移動電話機1200中內(nèi)置有振子1，該振子I使用了作為角速度傳感器等發(fā)揮功能的陀螺儀元件2。
[0129]圖14是示出具有作為本發(fā)明的一個實施方式的電子器件的振子I的作為電子設備的數(shù)字靜態(tài)照相機的結構概略的立體圖。另外，在該圖中，還簡單地示出與外部設備之間的連接。這里，通常的照相機是通過被攝體的光像對銀鹽膠片進行感光，與此相對，數(shù)字靜態(tài)照相機1300則通過CCD (Charge Coupled Device:電荷親合器件)等攝像元件對被攝體的光像進行光電轉換來生成攝像信號(圖像信號)。
[0130]在數(shù)字靜態(tài)照相機1300中的外殼(機身)1302的背面設置有顯示部100，構成為根據(jù)CCD的攝像信號進行顯示，顯示部100作為將被攝體顯示為電子圖像的取景器發(fā)揮功能。并且，在外殼1302的正面?zhèn)?圖中背面?zhèn)?設置有包含光學鏡頭(攝像光學系統(tǒng))和CXD等的受光單元1304。
[0131]攝影者確認在顯示部100中顯示的被攝體像，并按下快門按鈕1306時，將該時刻的CCD的攝像信號傳輸?shù)酱鎯ζ?308內(nèi)進行存儲。并且，在該數(shù)字靜態(tài)照相機1300中，在外殼1302的側面設置有視頻信號輸出端子1312和數(shù)據(jù)通信用的輸入輸出端子1314。而且，如圖所示，根據(jù)需要，在視頻信號輸出端子1312上連接電視監(jiān)視器1430，在數(shù)據(jù)通信用的輸入輸出端子1314上連接個人計算機1440。而且，構成為通過規(guī)定操作，將存儲在存儲器1308中的攝像信號輸出到電視監(jiān)視器1430或個人計算機1440。在這種數(shù)字靜態(tài)照相機1300中內(nèi)置有振子1，該振子I使用了作為角速度傳感器等發(fā)揮功能的陀螺儀元件2。
[0132]另外，除了圖12的個人計算機(移動型個人計算機)、圖13的移動電話機、圖14的數(shù)字靜態(tài)照相機以外，本發(fā)明的一個實施方式的振子I例如還可以應用于噴墨式排出裝置(例如噴墨打印機)、膝上型個人計算機、電視、攝像機、錄像機、車載導航裝置、尋呼機、電子記事本(也包含通信功能)、電子辭典、計算器、電子游戲設備、文字處理器、工作站、視頻電話、防盜用電視監(jiān)視器、電子雙筒望遠鏡、POS終端、醫(yī)療設備(例如電子體溫計、血壓計、血糖計、心電圖計測裝置、超聲波診斷裝置、電子內(nèi)窺鏡)、魚群探測器、各種測定設備、計量儀器類(例如車輛、飛機、船舶的計量儀器類)、飛行模擬器等電子設備。
[0133][移動體]
[0134]圖15是概略地示出作為移動體的一例的汽車的立體圖。在汽車506上搭載有作為本發(fā)明的電子器件的振子I。例如，如該圖所不，在作為移動體的汽車506中，在車體507上搭載有電子控制單元508，該電子控制單元508內(nèi)置使用了陀螺儀元件2的振子I并控制輪胎509等。此外，振子I除此以外還可以廣泛應用于無鑰匙門禁、防盜器、汽車導航系統(tǒng)、汽車空調(diào)、防抱死制動系統(tǒng)(ABS)、安全氣囊、輪胎壓力監(jiān)測系統(tǒng)(TPMS:Tire PressureMonitoring System)、發(fā)動機控制器、混合動力汽車及電動汽車的電池監(jiān)視器、以及車體姿勢控制系統(tǒng)等的電子控制單元(EQJ-electronic control unit)。
【主權項】
1.一種電子器件的制造方法，該電子器件在由底座和蓋體設置而成的內(nèi)部空間中收納電子部件，該電子器件的制造方法的特征在于，包含以下工序: 準備所述蓋體的工序，在所述蓋體的與所述底座焊接一側的面上設置有槽，對于所述槽的開口面積，所述內(nèi)部空間側的開口面積比所述蓋體的外周側的開口面積大； 第I焊接工序，在所述內(nèi)部空間與外部經(jīng)由所述槽連通的狀態(tài)下，對所述底座與所述蓋體的焊接預定部位中的、除了包含所述槽的至少一部分的未焊接部位以外的部位的所述底座和所述蓋體進行焊接；以及 第2焊接工序，對所述未焊接部位的所述底座和所述蓋體進行焊接，封閉所述槽。
2.根據(jù)權利要求1所述的電子器件的制造方法，其特征在于， 在所述第I焊接工序與所述第2焊接工序之間，具有從所述槽進行所述內(nèi)部空間的排氣的工序。
3.根據(jù)權利要求1或2所述的電子器件的制造方法，其特征在于， 所述槽的開口面積從所述外周側朝向所述內(nèi)部空間側連續(xù)地增大。
4.根據(jù)權利要求1或2所述的電子器件的制造方法，其特征在于， 所述槽的開口面積從所述外周側朝向所述內(nèi)部空間側階段性增大。
5.根據(jù)權利要求1或2所述的電子器件的制造方法，其特征在于， 所述槽的所述內(nèi)部空間側的深度比所述外周側的深度深。
6.根據(jù)權利要求1或2所述的電子器件的制造方法，其特征在于， 所述槽的所述內(nèi)部空間側的寬度比所述外周側的寬度寬。
7.一種電子器件，其中，該電子器件是使用權利要求1?6中的任意一項所述的制造方法而制造出的。
8.一種電子設備，其特征在于，該電子設備具有使用權利要求1?6中的任意一項所述的電子器件的制造方法而制造出的電子器件。
9.一種移動體，其特征在于，該移動體具有使用權利要求1?6中的任意一項所述的電子器件的制造方法而制造出的電子器件。
10.一種蓋體，其通過與底座焊接而形成內(nèi)部空間，該蓋體的特征在于， 在與所述底座焊接一側的面上設置有槽， 在與所述底座的焊接預定部位中的、除了包含所述槽的至少一部分的未焊接部位以外的部位，被焊接到所述底座， 所述槽的所述內(nèi)部空間側的開口面積比所述蓋體的外周側的開口面積大。
【專利摘要】提供電子器件及其制造方法、電子設備、移動體以及蓋體，能夠容易地進行腔體內(nèi)的脫氣和密封。電子器件在由底座(91)和作為蓋體的蓋(92)設置而成的內(nèi)部空間(14)中收納作為電子部件的陀螺儀元件(2)，其制造方法包含以下工序：準備蓋(92)的工序，在蓋(92)的與底座(91)焊接一側的反面(92b)上設置有槽(94)，對于槽(94)的開口面積，內(nèi)部空間(14)側的開口面積比蓋(92)的外周側的開口面積大；第1焊接工序，對底座(91)與蓋(92)的焊接預定部位中的、除了包含槽(94)的至少一部分的未焊接部位以外的部位的底座(91)和蓋(92)進行焊接；以及第2焊接工序，對未焊接部位的底座(91)和蓋(92)進行焊接，從而封閉槽(94)。
【IPC分類】H03H9-02, H03H3-02
【公開號】CN104601135
【申請?zhí)枴緾N201410586752
【發(fā)明人】川內(nèi)修, 青木信也, 松澤壽一郎, 三上賢
【申請人】精工愛普生株式會社
【公開日】2015年5月6日
【申請日】2014年10月28日
【公告號】US20150116951