1.一種用于MOCVD反應(yīng)的加熱器結(jié)構(gòu)改進(jìn)裝置,其特征在于,包括:
電極引腳(4);
加熱絲(1):所述加熱絲(1)與所述電極引腳(4)相連;
氮化硼板(3):所述氮化硼板(3)位于所述加熱絲(1)的下方;
支架(2):所述支架(2)位于所述加熱絲(1)與所述氮化硼板(3)之間;
鎢板(8):所述鎢板(8)位于所述氮化硼板(3)的下方;
基板(5):所述基板(5)位于所述鎢板(8)的下方,分為正基板(51)與負(fù)基板(52),所述正基板(51)與所述負(fù)基板(52)位于同一水平面上,且兩個基板(5)之間不接觸;以及
連接桿(7):所述連接桿(7)為圓柱體結(jié)構(gòu),所述連接桿(7)一端與所述氮化硼板(3)相連,所述連接桿(7)另一端與所述基板(5)相連,且連接桿(7)穿過所述鎢板(8)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于MOCVD反應(yīng)的加熱器結(jié)構(gòu)改進(jìn)裝置,其特征在于,所述基板(5)位于所述鎢板(8)下方3mm處。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于MOCVD反應(yīng)的加熱器結(jié)構(gòu)改進(jìn)裝置,其特征在于,所述加熱絲(1)為多條,多條加熱絲(1)共同圍成圓環(huán)狀結(jié)構(gòu),且多條所述加熱絲(1)之間相互并聯(lián)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于MOCVD反應(yīng)的加熱器結(jié)構(gòu)改進(jìn)裝置,其特征在于,所述氮化硼板(3)與所述基板(5)之間通過連接桿(7)緊固連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于MOCVD反應(yīng)的加熱器結(jié)構(gòu)改進(jìn)裝置,其特征在于,所述連接桿(7)上設(shè)有外螺紋,所述氮化硼板上設(shè)有第一定位孔,所述鎢板(8)上設(shè)有第二定位孔以及所述基板(5)上設(shè)有第三定位孔,所述連接桿(7)依次穿過所述第一定位孔、第二定位孔和第三定位孔,螺母與所述外螺紋配合,旋擰于所述第一定位孔、第二定位孔以及第三定位孔的兩端。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于MOCVD反應(yīng)的加熱器結(jié)構(gòu)改進(jìn)裝置,其特征在于,所述連接桿(7)的外側(cè)設(shè)有絕緣陶瓷(6)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于MOCVD反應(yīng)的加熱器結(jié)構(gòu)改進(jìn)裝置,其特征在于,所述絕緣陶瓷(6)分別貫穿所述鎢板(8)與所述基板(5),而不貫穿所述氮化硼板(3)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于MOCVD反應(yīng)的加熱器結(jié)構(gòu)改進(jìn)裝置,其特征在于,所述支架(2)包括卡口和插柱,所述卡口設(shè)于支架(2)的一端,與所述加熱絲(1)連接,所述插柱設(shè)于支架(2)的另一端,插入所述氮化硼板(3)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的用于MOCVD反應(yīng)的加熱器結(jié)構(gòu)改進(jìn)裝置,其特征在于,所述支架(2)為多個,且沿著所述加熱絲(1)呈周向間隔排列。