技術(shù)編號(hào)：11451889
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉淀領(lǐng)域，尤其涉及用于MOCVD反應(yīng)的加熱器結(jié)構(gòu)改進(jìn)裝置。背景技術(shù)目前大多數(shù)的MOCVD的加熱器結(jié)構(gòu)中，用鎢板31’或鉬板32’作為隔熱板3’，具體的結(jié)構(gòu)（參見(jiàn)圖1所示）。但是，在MOCVD加熱器的結(jié)構(gòu)中，加熱絲1’的本身加熱溫度較高，可達(dá)2000℃左右，在高溫狀態(tài)下，隔熱板3’容易發(fā)生變形，加熱絲1’和支架2’均是通過(guò)孔穿過(guò)隔熱板3’,在隔熱板發(fā)生變形后,加熱絲1’和支架2’極易與隔熱板3’相接觸，而隔熱板3’具有導(dǎo)電性，這時(shí)就會(huì)導(dǎo)致加熱絲1’發(fā)生短路，造成...
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該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。
該類(lèi)技術(shù)注重原理思路，無(wú)完整電路圖，適合研究學(xué)習(xí)。