本實用新型涉及金屬有機化合物化學氣相沉淀領域，尤其涉及用于MOCVD反應的加熱器結(jié)構(gòu)改進裝置。

背景技術(shù)：

目前大多數(shù)的MOCVD的加熱器結(jié)構(gòu)中，用鎢板31’或鉬板32’作為隔熱板3’，具體的結(jié)構(gòu)（參見圖1所示）。但是，在MOCVD加熱器的結(jié)構(gòu)中，加熱絲1’的本身加熱溫度較高，可達2000℃左右，在高溫狀態(tài)下，隔熱板3’容易發(fā)生變形，加熱絲1’和支架2’均是通過孔穿過隔熱板3’,在隔熱板發(fā)生變形后,加熱絲1’和支架2’極易與隔熱板3’相接觸，而隔熱板3’具有導電性，這時就會導致加熱絲1’發(fā)生短路，造成加熱器的加熱絲1’熔斷，維修起來較麻煩，使用成本高，而且會給安裝帶來麻煩；限于支架2’不能與隔熱板3’相接觸,支架2’需穿過隔熱板3’和上基板51’通過絕緣陶瓷6’固定在下基板52’上（參見圖3所示），這樣就會使結(jié)構(gòu)變得復雜，增加鎢的使用量，而且還需要在上基板51’和下基板52’中間設置一層鉬板8’作為固定板，該結(jié)構(gòu)應用了大量的鎢、鉬金屬，鎢、鉬作為難熔解的稀有金屬，屬于不可再生資源，這樣的結(jié)構(gòu)造成資源的浪費。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

針對上述現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，本實用新型提供用于MOCVD反應的加熱器結(jié)構(gòu)改進裝置，該裝置結(jié)構(gòu)簡單,安裝和維修方便，不會發(fā)生變形,絕緣性高，而且該結(jié)構(gòu)能夠有效減少鎢鉬稀有金屬的使用，節(jié)能環(huán)保。

根據(jù)本實用新型的用于MOCVD反應的加熱器結(jié)構(gòu)改進裝置，包括：電極引腳；加熱絲：所述加熱絲與所述電極引腳相連；氮化硼板：所述氮化硼板位于所述加熱絲的下方；支架：所述支架位于所述加熱絲與所述氮化硼板之間；鎢板：所述鎢板位于所述氮化硼板的下方；基板：所述基板位于所述鎢板的下方，分為正基板與負基板，所述正基板與所述負基板位于同一水平面上，且兩個基板之間不接觸；以及連接桿：所述連接桿為圓柱體結(jié)構(gòu)，所述連接桿一端與所述氮化硼板相連，所述連接桿另一端與所述基板相連，且連接桿穿過所述鎢板。

在該技術(shù)方案中，通過在電極引腳上通電可以使加熱絲發(fā)熱，將正基板和負基板設在同一水平面上，可以有效的簡化結(jié)構(gòu)，便于安裝和維護，使用氮化硼板作為隔熱板熱反射率高，加熱器的加熱效率更高，氮化硼熱膨脹系數(shù)更小，不易發(fā)生變形，而且絕緣性高，不會發(fā)生短路，而且該改進結(jié)構(gòu)能降低50%的鎢鉬稀有金屬的使用，節(jié)能環(huán)保。

另外，根據(jù)本實用新型的用于MOCVD反應的加熱器結(jié)構(gòu)改進裝置，還可以具有如下技術(shù)特征：

進一步地，所述基板位于所述鎢板下方3mm處。

進一步地，所述加熱絲為多條，多條加熱絲共同圍成圓環(huán)狀結(jié)構(gòu)，且多條所述加熱絲之間相互并聯(lián)。

進一步地，所述氮化硼板與所述基板之間通過連接桿緊固連接。

優(yōu)選地，所述連接桿上設有外螺紋，所述氮化硼板上設有第一定位孔，所述鎢板上設有第二定位孔以及所述基板上設有第三定位孔，所述連接桿依次穿過所述第一定位孔、第二定位孔和第三定位孔，螺母與所述外螺紋配合，旋擰于所述第一定位孔、第二定位孔以及第三定位孔的兩端。

進一步地，所述連接桿的外側(cè)設有絕緣陶瓷。

優(yōu)選地，所述絕緣陶瓷分別貫穿所述鎢板與所述基板，而不貫穿所述氮化硼板。

進一步地，所述支架包括卡口和插柱，所述卡口設于支架的一端，與所述加熱絲連接，所述插柱設于支架的另一端，插入所述氮化硼板。

優(yōu)選地，所述支架為多個，且沿著所述加熱絲呈周向間隔排列。

本實用新型的附加方面和優(yōu)點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本實用新型的實踐得了解到。

附圖說明

圖1為現(xiàn)有技術(shù)中的MOCVD加熱器部分連接結(jié)構(gòu)圖；

圖2為用于MOCVD反應的加熱器結(jié)構(gòu)改進裝置部分連接結(jié)構(gòu)圖；

圖3為現(xiàn)有技術(shù)中的MOCVD加熱器的支架連接圖；

圖4為用于MOCVD反應的加熱器結(jié)構(gòu)改進裝置支架連接圖；

附圖標記：

加熱絲1；支架2；氮化硼板3；電極引腳4；基板5；正基板51；負基板52；絕緣陶瓷6；連接桿7；鎢板8；

加熱絲1’；支架2’；隔熱板3’；鎢板31’；鉬板32’；電極引腳4’；基板5’；上基板51’；下基板52’；絕緣陶瓷6’；連接桿7’；固定板8’。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖對本實用新型作進一步說明。

如圖2所示，用于MOCVD反應的加熱器結(jié)構(gòu)改進裝置包括電極引腳4、加熱絲1、氮化硼板3、支架2、鎢板8、基板5和連接桿7。

具體而言，加熱絲1為鎢絲，與電極引腳4相連，當電極引腳4通上電后，加熱絲1就會發(fā)熱，提供MOCVD反應需要的熱量，鎢絲在發(fā)熱過程中產(chǎn)生的熱量溫度較高，可達2000℃左右。

氮化硼板3為圓環(huán)狀板，位于加熱絲1的下方，主要起到隔熱和固定支架的作用，避免因加熱絲1過高的溫度將隔熱板以下的部件毀壞，起到保護的作用；同時，氮化硼板3的熱膨脹系數(shù)很低，也就是說氮化硼板3在較高的溫度下不會發(fā)生變形，避免因變形帶來的短路問題；絕緣性高，即使構(gòu)成短路回路也不會發(fā)生短路，例如：加熱絲1在較高的溫度下，鎢絲會因溫度過高而發(fā)生變形，變形后的鎢絲可能會與氮化硼板3相接觸，這樣就會構(gòu)成短路回路，而氮化硼板3的絕緣性能很高，就可以有效避免加熱器短路熔斷的風險，而且氮化硼板3價格適中，不會提高制造成本。

支架2位于加熱絲1與氮化硼板3之間用以支撐加熱絲1，支架2的材質(zhì)為鉬，加熱絲1的溫度很高，在氮化硼板3與加熱絲1之間設置支架2這樣可以有效的將加熱絲1支撐起來，避免因加熱絲3溫度過高將氮化硼板3損壞。

鎢板8位于氮化硼板3的下方，主要起到進一步隔熱的效果，而且鎢板8對整個結(jié)構(gòu)起到加固的作用。

基板5位于所述鎢板8的下方，分為正基板51與負基板52，正基板51與負基板52位于同一水平面上，且兩個基板5之間不接觸，加熱絲1兩端的電極引腳4，一個會與正基板51相連，另一個會與負基板52相連，將正基板51與負基板52設于同一水平面上，可以有效的減小加熱器的體積，使整個結(jié)構(gòu)更加的簡單和緊湊。

值得說明的是，正基板51和負基板52上還需要分別引出電極引腳4，用以與電源（圖中未示出）相連，使電源、電極引腳4、正基板51、負基板52和加熱絲1之間構(gòu)成回路，也就是說，電源由正極輸出，經(jīng)過正基板51，再經(jīng)過與之相連的電極引腳4，經(jīng)過加熱絲1，到達加熱絲1另一端的電極引腳4，再經(jīng)過與之相連的負基板52，再由電極引腳4回到電源中，形成一個完整的回路。

連接桿7為圓柱體結(jié)構(gòu)，連接桿7一端與氮化硼板3相連，連接桿7另一端與基板5相連，且連接桿7穿過鎢板8，連接桿7穿過氮化硼板3、基板5和鎢板8，可以有效地制成起整個加熱器結(jié)構(gòu)，使整個結(jié)構(gòu)更加的穩(wěn)固。

該裝置結(jié)構(gòu)簡單易于安裝和維護，不會發(fā)生變形，絕緣性高，而且該結(jié)構(gòu)能夠有效減少50%的鎢鉬稀有金屬的使用，節(jié)能環(huán)保。

在本實用新型的一個實施例中，基板5位于鎢板8下方3mm處，這樣可以為固定基板5與鎢板8之間的固定件留有余量，而且進一步隔離熱量，起到保護基板5，延長基板5的使用壽命。

在本實用新型的一個實施例中，加熱絲1為多條，且多條加熱絲1之間相互并聯(lián)，也就是說每條加熱絲1都是一個回路，這樣可以方便加熱絲1安裝與后期的維修與維護，多條加熱絲1共同圍成圓環(huán)狀結(jié)構(gòu)，這樣可以減小加熱絲1的占用空間，使結(jié)構(gòu)更加緊湊。

在本實用新型的一些實施例中，如圖2所示，氮化硼板3與基板5之間通過連接桿7緊固連接，例如，連接桿7上設有外螺紋，氮化硼板3上設有第一定位孔，鎢板8上設有第二定位孔以及基板5上設有第三定位孔，連接桿7依次穿過第一定位孔、第二定位孔和第三定位孔，螺母與外螺紋配合，旋擰于第一定位孔、第二定位孔以及第三定位孔的兩端，通過這樣的連接方式，可以簡化氮化硼板3、基板5和鎢板8之間的連接方式，使裝配起來更加的簡單快捷，而且這樣方便拆卸，便于后期的維修。

在本實用新型的一個實施例中，連接桿7的外側(cè)設有絕緣陶瓷6，例如，如圖2所示，絕緣陶瓷6貫穿鎢板8與所述基板5，而不貫穿氮化硼板3，也就是說，每根連接桿7上套有兩段絕緣陶瓷6，分別套在鎢板8和基板5處，使連接桿7無法與鎢板8和基板5相接觸，這樣可以有效的避免氮化硼板3和基板5、鎢板8之間發(fā)生短路。

在本實用新型的一個實施例中，如圖4所示，支架2包括卡口和插柱，支架2為一體成型件，例如，在支架2生產(chǎn)加工過程中，卡口與插柱可以通過鍛壓或者壓鑄工藝一體形成?？谠O于支架2的一端，為一個凹型的口，適于與加熱絲1配合用以支撐加熱絲1，插柱設于支架2的另一端，插柱上設有外螺紋，插入氮化硼板3的插孔中，插孔上設有與插柱外螺紋相配合的內(nèi)螺紋，使插柱旋擰在氮化硼板3中使支架2固定的更加牢固，值得說明的是氮化硼板3的絕緣性極高，不會使加熱絲1發(fā)生短路。

在本實用新型的一些實施例中，支架2為多個，且沿著加熱絲1呈周向間隔排列，這樣設置可以更加有效的支撐起加熱絲1。

根據(jù)本實用新型第二方面實施例的MOCVD反應系統(tǒng)具有上述的用于MOCVD反應的加熱器結(jié)構(gòu)改進裝置。由于本實用新型第一方面的實施例的用于MOCVD反應的加熱器結(jié)構(gòu)改進裝置具有結(jié)構(gòu)簡單易于安裝和維護，不會發(fā)生變形，絕緣性高，而且該結(jié)構(gòu)能夠有效減少50%的鎢鉬稀有金屬的使用，節(jié)能環(huán)保。因此，根據(jù)本實用新型第二方面實施例的MOCVD反應系統(tǒng)具有制造效率高、成本低，綠色環(huán)保等優(yōu)點。

在本實用新型的描述中,需要理解的是,術(shù)語“上”、“下”、“下方”等指示的方位或位置關系，僅是為了便于描述本實用新型和簡化描述，而不是指示或者暗示所示的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本實用新型的限制。

此外，術(shù)語“第一”、“第二”僅用于描述目的，而不能理解為指示或者暗示相對重要性或者隱含指明所指示的技術(shù)特征的數(shù)量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隱含地包括一個或者多個該特征。在本實用新型的描述中，“多個”的含義是兩個或者兩個以上，除非另有明確具體的限定。

在本實用新型中，除非另有明確的規(guī)定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一特征與第二特征直接接觸，或者第一和第二特征通過中間媒介間接接觸。

在本實用新型中，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“相連”、“連接”、“固定”等術(shù)語應作廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或者一體成型；可以是機械連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個元件內(nèi)部的連通或者兩個元件的相互作用關系。對于本領域的普通技術(shù)人員而言，可以根據(jù)具體情況理解上述術(shù)語在本實用新型中的具體含義。

在本實用新型的說明書的描述中，參考術(shù)語“一個實施例”、“一些實施例”等的描述意指結(jié)合該實施例或示例描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點包含于本實用新型的至少一個實施例或者示例中。在本說明書中，對上述術(shù)語的示意性表述不必須針對的是相同的實施例或者示例。而且，描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點可以在任一個或多個實施例或示例中以合適的方式結(jié)合。此外，在不相互矛盾的情況下，本領域的技術(shù)人員可以將本說明書中描述的不同實施例或示例以及不同實施例或者示例的特征進行結(jié)合和組合。

盡管上面已經(jīng)示出和描述了本實用新型的實施例，可以理解的是，上述實施例是示例性的，不能理解為對本實用新型的限制，本領域的普通技術(shù)人員在本實用新型的范圍內(nèi)可以對上述實施例進行變化、修改、替換和變型。