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激光鉆孔對(duì)準(zhǔn)度的監(jiān)控方法與流程

文檔序號(hào):12069296閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.激光鉆孔對(duì)準(zhǔn)度的監(jiān)控方法,其特征在于,包括以下步驟:

(1)根據(jù)激光鉆孔Target Pad Ring大小計(jì)算對(duì)準(zhǔn)度監(jiān)控大小,計(jì)算公式:對(duì)準(zhǔn)度監(jiān)控=(Target Pad Ring-Target層補(bǔ)償)/0.5;

(2)測(cè)試方法:計(jì)算出激光鉆孔對(duì)準(zhǔn)度監(jiān)控值后,電測(cè)治具下測(cè)試針至對(duì)應(yīng)Pad上;

(3)判定方法:若測(cè)試出來(lái)為OPEN,則該對(duì)準(zhǔn)度OK;若測(cè)試出來(lái)為SHORT,則該對(duì)準(zhǔn)度NG。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光鉆孔對(duì)準(zhǔn)度的監(jiān)控方法,其特征在于,步驟(1)中,Target層補(bǔ)償,是根據(jù)線路蝕刻線的蝕刻因子,以及蝕刻能力而確定的。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的激光鉆孔對(duì)準(zhǔn)度的監(jiān)控方法,其特征在于,步驟(2)中,測(cè)試方法和原理參照“四線飛針”測(cè)試。

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