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一種金手指引線的去除方法與流程

文檔序號:12280696閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種金手指引線的去除方法,其特征在于,包括步驟:

A、在金手指的引線需要鉆斷處設(shè)計開窗;

B、蝕刻去除開窗位置處的銅,從而形成開窗;

C、利用所述開窗的引導(dǎo)作用采用鉆頭鉆斷金手指的引線,所述鉆頭的直徑為N,引線的寬度為M,N比M大2~5mil。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金手指引線的去除方法,其特征在于,所述開窗的寬度比引線寬度小3-6mil。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金手指引線的去除方法,其特征在于,所述開窗為圓環(huán)形開窗。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金手指引線的去除方法,其特征在于,所述引線的寬度為3~20mil。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金手指引線的去除方法,其特征在于,所述鉆頭為錐形鉆頭。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金手指引線的去除方法,其特征在于,所述步驟B中,采用化學(xué)方法蝕刻去除開窗位置處的銅。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的金手指引線的去除方法,其特征在于,所述步驟B中,在蝕刻前,先將開窗位置處的干膜去除。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金手指引線的去除方法,其特征在于,所述步驟B之后,通過顯影的方式使金手指以外的裸銅處覆蓋抗鍍濕膜。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的金手指引線的去除方法,其特征在于,所述抗鍍濕膜的厚度為20~30μm。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的金手指引線的去除方法,其特征在于,然后進行退膜處理,漏出銅面。

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