技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種薄膜微帶濾波器的制作方法，包括：步驟a、選擇陶瓷基片；步驟b、根據(jù)濾波器指標(biāo)要求進(jìn)行電路的仿真并完成電路圖形設(shè)計(jì)；步驟c、基片鍍膜處理；步驟d、通過(guò)光刻處理將濾波器圖形轉(zhuǎn)移到基片上；步驟e、對(duì)基片進(jìn)行電鍍處理將濾波器圖形層增厚；步驟f、去除步驟d中光刻處理后在基片上留有的光刻膠；步驟g、對(duì)基片進(jìn)行刻蝕處理以去除基片正表面濾波器圖形以外的所有金屬層；步驟h、去除步驟g中刻蝕后基片表面殘留的刻蝕溶液；步驟i、將整個(gè)基片按照濾波器外形切割成單個(gè)的個(gè)體；步驟j、裝配濾波器并測(cè)試濾波器指標(biāo)。該薄膜微帶濾波器的制作方法制作合格率高、成本低，操作簡(jiǎn)單并且適合大批量生產(chǎn)以提高生產(chǎn)效率。

技術(shù)研發(fā)人員：洪火鋒;王秀平;蔡慶剛;趙影;陳在;何宏玉
受保護(hù)的技術(shù)使用者：安徽華東光電技術(shù)研究所
文檔號(hào)碼：201610779622
技術(shù)研發(fā)日：2016.08.31
技術(shù)公布日：2017.01.25