技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種用于水平電化或濕式化學工藝線的除污模塊(1)，所述水平電化或濕式化學工藝線用于在待處理襯底上進行金屬沉積、尤其是銅沉積，除污模塊(1)用于移除沉淀物，除污模塊(1)包括可連接到除污單元(3)的除污容器(2)、泵(4)及用于將泵與除污單元連接的至少第一液體連接元件(5)，其中泵是通過至少第一液體連接元件與除污單元結(jié)合；且其中在除污模塊內(nèi)部提供處理液位(6)，處理液位(6)高于泵的進水區(qū)(7)；其中除污模塊進一步包括至少第一液體區(qū)域(9)、包括泵的進水區(qū)的至少相鄰第二液體區(qū)域(10)，及被布置在至少第一液體區(qū)域與至少第二液體區(qū)域之間的至少第一分離元件(11)。本發(fā)明進一步涉及一種用于從此除污模塊選擇性分離及隨后移除除污顆粒的方法。

技術(shù)研發(fā)人員：安德烈亞斯·斯庫平;斯特凡·格魯斯納
受保護的技術(shù)使用者：德國艾托特克公司
技術(shù)研發(fā)日：2015.10.15
技術(shù)公布日：2017.08.29