專利名稱：壓電振動(dòng)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及例如用于壓電致動(dòng)器、壓電發(fā)聲體等中的壓電振動(dòng)裝置，更詳細(xì)而言，涉及使壓電元件與支承構(gòu)件接合并且利用了彎曲模式的壓電振動(dòng)裝置。
背景技術(shù)：
以往，壓電振動(dòng)裝置用于壓電致動(dòng)器、壓電發(fā)聲體或者觸覺(jué)設(shè)備(Haptics)等。作為壓電發(fā)聲體，例如存在壓電揚(yáng)聲器。在下述的專利文獻(xiàn)I中，公開(kāi)了一種用于壓電發(fā)聲體的壓電振動(dòng)裝置。在該壓電振動(dòng)裝置中，在殼體內(nèi)容納了多個(gè)壓電振子。圖17是表示多個(gè)壓電振子1001、1002容納在殼體1003中的部分的主要部分的部分放大剖視圖。這里，僅圖示了殼體1003的一部分。在設(shè)置在殼體1003中的容納部1003a內(nèi)，容納了壓電振子1001、1002。壓電振子1001、1002隔著間隔物1004而層疊。而且，按照夾著層疊在間隔物1004的兩側(cè)的壓電振子1001、1002的方式，安裝有由金屬構(gòu)成的箝位部1005。通過(guò)箝位部1005，夾持壓電振子1001、1002，并且通過(guò)箝位部1005實(shí)現(xiàn)了與壓電振子1001、1002的外側(cè)面的電極的電連接。壓電振子1001、1002的另一側(cè)的端部也由同樣的構(gòu)造支承。在先技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)I JP特開(kāi)2006-324893號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的課題在專利文獻(xiàn)I所記載的壓電振動(dòng)裝置中，為了將壓電振子1001、1002進(jìn)行電連接而使用了上述箝位部1005。因此，可以省略基于接合線的接合等。但是，在壓電振動(dòng)裝置中，在使壓電振子1001、1002的厚度變薄的情況下，被箝位部1005夾著從而被支承的壓電振子1001、1002存在如下問(wèn)題:由于使壓電振動(dòng)裝置振動(dòng)時(shí)所產(chǎn)生的振動(dòng)，應(yīng)力集中在支承壓電振子1001、1002的部分，從而產(chǎn)生壓電振子1001、1002的破損、變形。另一方面，以往也采用了將接合線與壓電振子的驅(qū)動(dòng)電極電連接的方法，但是伴隨壓電振子的振動(dòng)，在接合線的接合部分處會(huì)產(chǎn)生接合線脫落。此外，若提高接合線的接合部分的強(qiáng)度，則由于接合件的剛性與壓電振子的驅(qū)動(dòng)電極的剛性的差異，會(huì)因?yàn)閼?yīng)力集中而導(dǎo)致壓電振子破損。而且，也會(huì)產(chǎn)生驅(qū)動(dòng)電極、布線電極的剝離。本發(fā)明的目的在于提供一種壓電振動(dòng)裝置，使用了在壓電板的兩主面形成有驅(qū)動(dòng)電極的壓電元件，并且難以產(chǎn)生驅(qū)動(dòng)電極的電氣連接部分處的導(dǎo)通不良，難以產(chǎn)生壓電元件等的破壞，而且難以產(chǎn)生電極的剝離，可靠性優(yōu)異。用于解決課題的手段本發(fā)明所涉及的壓電振動(dòng)裝置具備壓電元件，其具有:壓電體，其具有相互對(duì)置的第I主面以及第2主面；第I驅(qū)動(dòng)電極，其與第I主面平行地形成在壓電體的第I主面?zhèn)?；和?驅(qū)動(dòng)電極，其與第2主面平行地形成在壓電體的第2主面?zhèn)?，并且與第I驅(qū)動(dòng)電極對(duì)置，第I驅(qū)動(dòng)電極、第2驅(qū)動(dòng)電極在壓電體的厚度方向上對(duì)置的區(qū)域設(shè)為活性區(qū)域，第I驅(qū)動(dòng)電極和第2驅(qū)動(dòng)電極未對(duì)置的區(qū)域設(shè)為非活性區(qū)域；以及支承構(gòu)件，其具有接合壓電元件的壓電元件接合面。在本發(fā)明中，支承構(gòu)件具有第I布線電極，該第I布線電極形成在壓電元件接合面，并且與壓電元件的第I驅(qū)動(dòng)電極電連接。此外，在本發(fā)明中，壓電振動(dòng)裝置還具備第I接合件層，該第I接合件層將壓電元件的第I驅(qū)動(dòng)電極與支承構(gòu)件的第I布線電極電連接，并且將壓電元件的第I主面與支承構(gòu)件的壓電元件接合面接合。在本發(fā)明所涉及的壓電振動(dòng)裝置的某特定方面，壓電元件還具有連接電極，該連接電極在壓電體的非活性區(qū)域中形成在壓電體的第I主面，并且與形成在第2主面的第2驅(qū)動(dòng)電極電連接。此外，支承構(gòu)件還具有第2布線電極，該第2布線電極形成在壓電元件接合面，并且與第2驅(qū)動(dòng)電極電連接。進(jìn)而，壓電振動(dòng)裝置還具備第2接合件層，該第2接合件層將連接電極與第2布線電極電連接，并且將壓電元件的第I主面與支承構(gòu)件的壓電元件接合面接合。在該情況下，不僅利用第I接合件層，還利用第2接合件層將壓電元件牢固地接合到壓電元件接合面。同時(shí)，第1、第2驅(qū)動(dòng)電極與設(shè)置在支承構(gòu)件的第1、第2布線電極電連接。在本發(fā)明所涉及的壓電振動(dòng)裝置的某特定方面，支承構(gòu)件存在用于從外部支承該支承構(gòu)件的彎曲模式支承部，使得壓電元件以彎曲模式進(jìn)行振動(dòng)時(shí)，支承構(gòu)件與該壓電元件一起以相同頻率的彎曲模式進(jìn)行振動(dòng)。在該情況下，僅通過(guò)彎曲模式支承部從外部如上所述地對(duì)支承構(gòu)件進(jìn)行支承，就能夠使壓電元件以及支承構(gòu)件以彎曲模式振動(dòng)。優(yōu)選，彎曲模式支承部位于周邊部，該周邊部位于接合了壓電元件的區(qū)域的外側(cè)，第I布線電極到達(dá)周邊部。在該情況下，能夠容易地將第I布線電極與外部進(jìn)行電連接。此外，優(yōu)選，支承構(gòu)件中的至少I次彎曲模式的節(jié)點(diǎn)位于彎曲模式支承部。在該情況下，基于彎曲模式的振動(dòng)難以受到阻礙。在本發(fā)明所涉及的壓電振動(dòng)裝置的另一特定方面，壓電元件還具有保護(hù)層，該保護(hù)層形成在壓電體的第I主面，并且由絕緣性材料構(gòu)成。所述保護(hù)層與支承構(gòu)件的壓電元件接合面接合。在該情況下，通過(guò)保護(hù)層在壓電元件的第I主面?zhèn)饶軌蚩煽康胤乐沟贗驅(qū)動(dòng)電極和第2驅(qū)動(dòng)電極的短路。此外，通過(guò)保護(hù)層，能夠?qū)弘娫喂痰亟雍系街С袠?gòu)件的壓電元件接合面。在本發(fā)明所涉及的壓電振動(dòng)裝置的另一特定方面，壓電元件還具有按照覆蓋第2驅(qū)動(dòng)電極的方式形成在壓電體的第2主面并且由絕緣性材料構(gòu)成的保護(hù)層。在該情況下，第2驅(qū)動(dòng)電極由保護(hù)層覆蓋，所以能夠防止第2驅(qū)動(dòng)電極與手指直接接觸。因此，能夠防止觸電。在本發(fā)明所涉及的壓電振動(dòng)裝置的另一特定方面，保護(hù)層由與壓電體相同的材料構(gòu)成。在該情況下，能夠提供一種不增加材料的種類而設(shè)置了保護(hù)層的壓電振動(dòng)裝置。在本發(fā)明所涉及的壓電振動(dòng)裝置的另一特定方面，支承構(gòu)件具有相對(duì)置的第I壓電元件接合面、第2壓電元件接合面，在第I壓電元件接合面、第2壓電元件接合面分別接合了壓電元件。在該情況下，因?yàn)樵谥С袠?gòu)件的兩面接合了壓電元件，所以能夠獲得較大的位移量，并且能夠提高聲壓。在本發(fā)明所涉及的壓電振動(dòng)裝置的另一特定方面，壓電體以及支承構(gòu)件具有矩形的平面形狀，該矩形具有短邊和長(zhǎng)邊。支承構(gòu)件的矩形的短邊的長(zhǎng)度與壓電體的矩形的短邊的長(zhǎng)度相等。第I驅(qū)動(dòng)電極、第2驅(qū)動(dòng)電極形成為跨壓電體的短邊方向全長(zhǎng)。在該情況下，通過(guò)將層疊母壓電體以及母支承構(gòu)件而構(gòu)成的母層疊體以與上述支承構(gòu)件的矩形的短邊的長(zhǎng)度以及壓電體的矩形的短邊的長(zhǎng)度相等的間隔進(jìn)行切斷，從而能夠容易地獲得壓電振動(dòng)裝置。因此，能夠提高壓電振動(dòng)裝置的量產(chǎn)性。在本發(fā)明所涉及的壓電振動(dòng)裝置的另一特定方面，第I驅(qū)動(dòng)電極形成在壓電體的第I主面，第2驅(qū)動(dòng)電極形成在壓電體的第2主面的整個(gè)面。壓電元件還具有在壓電體的非活性區(qū)域中形成在壓電體的第I主面上并且與第2驅(qū)動(dòng)電極電連接的連接電極。該連接電極形成為從壓電體的第I主面到達(dá)壓電體的側(cè)面，并且在壓電體的側(cè)面和第2主面構(gòu)成的棱線處與第2驅(qū)動(dòng)電極連接。在該情況下，能夠不降低壓電元件的驅(qū)動(dòng)效率地，容易地在支承構(gòu)件的壓電元件接合面使第I驅(qū)動(dòng)電極與第2布線電極接合。在本發(fā)明所涉及的壓電振動(dòng)裝置的另一特定方面，支承構(gòu)件的矩形的長(zhǎng)邊的長(zhǎng)度比壓電元件的矩形的長(zhǎng)邊的長(zhǎng)度長(zhǎng)，第I布線電極到達(dá)支承構(gòu)件的接合了壓電元件的部分的側(cè)方區(qū)域。在該情況下，能夠容易地將第I布線電極與外部電連接。在本發(fā)明所涉及的壓電振動(dòng)裝置的另一特定方面，將支承構(gòu)件的矩形的長(zhǎng)邊的長(zhǎng)度設(shè)為L(zhǎng)I，將壓電體中的活性區(qū)域的沿支承構(gòu)件的矩形的長(zhǎng)邊方向的長(zhǎng)度設(shè)為L(zhǎng)2時(shí)，(L2/LI) X 100%為75%以上。在該情況下，能夠不降低以彎曲模式進(jìn)行振動(dòng)的壓電元件的位移量的方式，使壓電元件與支承構(gòu)件接合并且實(shí)現(xiàn)壓電構(gòu)件的電連接。發(fā)明效果本發(fā)明所涉及的壓電振動(dòng)裝置`因?yàn)閴弘娫牡贗驅(qū)動(dòng)電極通過(guò)第I接合件層與支承構(gòu)件的第I布線電極電連接，并且通過(guò)第I接合件層，壓電元件接合在支承構(gòu)件的壓電元件接合面，所以壓電元件牢固地接合于支承構(gòu)件。因此，在使壓電振動(dòng)裝置以彎曲模式進(jìn)行了振動(dòng)的情況下，難以產(chǎn)生電連接部分的破壞、電極的剝落，能夠有效地提高壓電振動(dòng)裝置的可靠性。


圖1的(a)以及(b)是用于說(shuō)明本發(fā)明的第I實(shí)施方式所涉及的壓電振動(dòng)裝置的立體圖以及分解立體圖。圖2是表示本發(fā)明的第I實(shí)施方式所涉及的壓電振動(dòng)裝置中壓電元件的活性區(qū)域的長(zhǎng)度L2與支承構(gòu)件的長(zhǎng)邊的長(zhǎng)度LI之比仏2/11)\100%、和位移量的關(guān)系的圖。圖3是表示本發(fā)明的第I實(shí)施方式所涉及的壓電振動(dòng)裝置中壓電元件的活性區(qū)域的長(zhǎng)度L2與支承構(gòu)件的長(zhǎng)邊的長(zhǎng)度LI之比仏2/11)父100%、和發(fā)生力的關(guān)系的圖。圖4是本發(fā)明的第2實(shí)施方式所涉及的壓電振動(dòng)裝置的立體圖。圖5是本發(fā)明的第2實(shí)施方式所涉及的壓電振動(dòng)裝置的分解立體圖。圖6是表示由本發(fā)明的壓電振動(dòng)裝置使用的壓電元件的第I變形例的正面剖視圖。
圖7是表示由本發(fā)明的壓電振動(dòng)裝置使用的壓電元件的第2變形例的正面剖視圖。圖8是表示由本發(fā)明的壓電振動(dòng)裝置使用的壓電元件的第3變形例的正面剖視圖。圖9是本發(fā)明的第3實(shí)施方式所涉及的壓電振動(dòng)裝置的立體圖。圖10是本發(fā)明的第4實(shí)施方式所涉及的壓電振動(dòng)裝置的正面剖視圖。圖11是設(shè)置了多個(gè)本發(fā)明的壓電振動(dòng)裝置的振動(dòng)模塊的示意性分解立體圖。圖12是用于說(shuō)明本發(fā)明的第I實(shí)施方式所涉及的壓電振動(dòng)裝置的變形例的立體圖。圖13是圖12所示的變形例所涉及的壓電振動(dòng)裝置的分解立體圖。圖14是用于說(shuō)明由本發(fā)明的第I實(shí)施方式所涉及的壓電振動(dòng)裝置的其他變形例使用的支承構(gòu)件的立體圖。圖15是用于說(shuō)明本發(fā)明的第I實(shí)施方式所涉及的壓電振動(dòng)裝置的另一變形例的立體圖。圖16是圖15所示的變形例所涉及的壓電振動(dòng)裝置的分解立體圖。圖17是表示現(xiàn)有壓電振動(dòng)裝置的主要部分的部分放大剖視圖。
具體實(shí)施例方式以下，參照附圖來(lái)說(shuō)明本發(fā)明的具體的實(shí)施方式，由此使本發(fā)明變清楚。圖1(a)以及(b)是本發(fā)明的第I實(shí)施方式所涉及的壓電振動(dòng)裝置I的立體圖以及分解立體圖。壓電振動(dòng)裝置I是單壓電晶片型的壓電振動(dòng)裝置。壓電振動(dòng)裝置I具有發(fā)揮振動(dòng)板的功能的矩形板狀的支承構(gòu)件2。在本實(shí)施方式中，支承構(gòu)件2通過(guò)由絕緣性材料構(gòu)成的矩形板狀的基板構(gòu)成。作為這種由絕緣性材料構(gòu)成的基板，在本實(shí)施方式中，使用了玻璃環(huán)氧基板。玻璃環(huán)氧基板具有優(yōu)異的切削性。因此，如后述那樣，能夠容易且準(zhǔn)確地從母基體切出。因此，能夠高精度地量產(chǎn)壓電振動(dòng)裝置I。當(dāng)然，可以由實(shí)現(xiàn)較大的位移量的合適的絕緣性材料構(gòu)成支承構(gòu)件2。此外，支承構(gòu)件2也可以由金屬板構(gòu)成，在該情況下，為了防止后述的第1、第2布線電極間的短路，可以在金屬板的上表面設(shè)置絕緣層。上述支承構(gòu)件2具有矩形板狀的形狀，將該矩形的平面形狀的長(zhǎng)度方向尺寸設(shè)為L(zhǎng)I，將寬度方向尺寸設(shè)為W。支承構(gòu)件2的上表面是壓電元件接合面2a。在支承構(gòu)件2的上表面形成有第I布線電極3和第2布線電極4。第1、第2布線電極3、4相互電絕緣，隔著間隙對(duì)置。在上述第1、第2布線電極3、4通過(guò)第1、第2接合件層5、6接合了壓電元件7。第1、第2接合件層5、6由含有導(dǎo)電性填料的適當(dāng)?shù)膶?dǎo)電性粘合劑構(gòu)成。當(dāng)然，即使使用不含有導(dǎo)電性填料的粘合劑，若電極彼此部分直接接觸則可以確保導(dǎo)通。因此，也可以使用絕緣性粘合劑。或者，在第1、第2接合件層5、6，若施加給壓電元件7的交流電場(chǎng)具有可以傳遞能夠驅(qū)動(dòng)壓電元件7的電能的交流阻抗值，則可以電極彼此未必相互直接接觸，也可以利用電容器那樣的電磁場(chǎng)f禹合。
上述壓電元件7具有矩形板狀的平面形狀。壓電元件7的寬度方向尺寸設(shè)為與支承構(gòu)件2的寬度方向尺寸W相等。更具體而言，壓電元件7具有矩形板狀的壓電體8。壓電體8具有作為第I主面的下表面8a、和作為第2主面的上表面8b。壓電體8由鋯鈦酸鉛(PZT)或者不含鉛壓電體例如鈮酸鉀鈉(KNN系)等的壓電體構(gòu)成，在本發(fā)明的第I實(shí)施方式中由壓電陶瓷構(gòu)成，在厚度方向上被進(jìn)行極化處理。在壓電體8的下表面8a上形成了第I驅(qū)動(dòng)電極9。在壓電體8的上表面8b的整個(gè)表面形成了第2驅(qū)動(dòng)電極10。第I驅(qū)動(dòng)電極9與第2驅(qū)動(dòng)電極10隔著壓電體8對(duì)置的壓電體部分是通過(guò)壓電效果而被驅(qū)動(dòng)的活性區(qū)域。壓電體8的活性區(qū)域以外的部分是非活性區(qū)域。在本實(shí)施方式中，第I驅(qū)動(dòng)電極9沒(méi)有形成在下表面8a的整個(gè)面上，所以在壓電體8存在上述活性區(qū)域和非活性區(qū)域。在下表面8a上按照隔著間隙與第I驅(qū)動(dòng)電極9對(duì)置的方式形成了連接電極10a。連接電極IOa從壓電體8的下表面8a經(jīng)過(guò)側(cè)面到達(dá)側(cè)面與上表面Sb形成的棱線。在該棱線上，連接電極IOa連接于第2驅(qū)動(dòng)電極10。上述第1、第2驅(qū)動(dòng)電極9、10以及連接電極IOa可以由適當(dāng)?shù)膶?dǎo)電性材料形成。即，可以通過(guò)由Ag、Cu、N1、Cr、Pd或者它們的合金等構(gòu)成的I個(gè)以上的導(dǎo)電層，形成第1、第2驅(qū)動(dòng)電極9、10以及連接電極10a。在壓電元件7中，第1、第2驅(qū)動(dòng)電極9、10隔著壓電體8對(duì)置，所以通過(guò)從第1、第2驅(qū)動(dòng)電極9、10施加交流或者 任意波形的電壓，能夠使壓電元件7與作為振動(dòng)板的支承構(gòu)件2的層疊體以彎曲模式進(jìn)行振動(dòng)。另一方面，第I驅(qū)動(dòng)電極9通過(guò)第I接合件層5與第I布線電極3接合。同樣地，連接電極IOa通過(guò)第2接合件層6與第2布線電極4接合。在作為壓電元件接合面2a的支承構(gòu)件2的上表面進(jìn)行基于第I接合件層5以及第2接合件層6的接合。因此，可以通過(guò)第1、第2接合件層5、6將壓電元件7牢固地固定到第1、第2布線電極3、4。而且，第1、第2接合件層5、6如上所述由導(dǎo)電性粘合劑構(gòu)成。因此，能夠使第I驅(qū)動(dòng)電極9可靠地電連接于第I布線電極3，并且能夠使連接電極IOa以及第2驅(qū)動(dòng)電極10可靠地電連接于第2布線電極4。在圖17所示的現(xiàn)有壓電振動(dòng)裝置中，因?yàn)槭褂皿槲徊?005來(lái)實(shí)現(xiàn)電連接，所以存在產(chǎn)生壓電振子1001、1002的破損、變形的問(wèn)題。與此相對(duì)，在本實(shí)施方式中，通過(guò)第1、第2接合件層5、6，壓電元件7與支承構(gòu)件2接合，并且實(shí)現(xiàn)了電連接。因此，在壓電元件7中振動(dòng)難以受阻礙，所以難以產(chǎn)生位移量的降低等，能夠獲得良好的振動(dòng)特性。加之，因?yàn)殡y以產(chǎn)生由箝位部等引起的應(yīng)力集中，所以還難以產(chǎn)生第1、第2驅(qū)動(dòng)電極9、10的剝離、壓電體8以及支承構(gòu)件2的破壞等。此外，通過(guò)印刷法，能夠高精度且廉價(jià)地形成第1、第2驅(qū)動(dòng)電極9、10。加之，不需要在壓電元件7的第1、第2驅(qū)動(dòng)電極9、10進(jìn)行焊接等，所以能夠?qū)崿F(xiàn)壓電元件 的薄型化。進(jìn)而，因?yàn)樯鲜鲋С袠?gòu)件2由絕緣性材料構(gòu)成，所以難以產(chǎn)生漏電，也難以產(chǎn)生操作搭載了壓電振動(dòng)裝置I的電子設(shè)備的人的觸電。加之，在現(xiàn)有的壓電振動(dòng)裝置中，作為支承構(gòu)件使用了由金屬構(gòu)成的振動(dòng)板，所以需要形成絕緣層，而在本實(shí)施方式中，因?yàn)橹С袠?gòu)件2由絕緣性材料構(gòu)成，所以不需要形成這種絕緣層。在上述支承構(gòu)件2中，優(yōu)選存在彎曲模式支承部，在壓電元件7以彎曲模式進(jìn)行了振動(dòng)時(shí)，按照與壓電元件7 —起以彎曲模式振動(dòng)的方式從外部支承支承構(gòu)件2。自外部對(duì)支承構(gòu)件2進(jìn)行支承的構(gòu)造是任意的，例如:懸梁或者雙懸梁等。無(wú)論哪種方式，通過(guò)利用彎曲模式支承部對(duì)支承構(gòu)件2進(jìn)行支承，從而支承構(gòu)件2與壓電元件7 —起以具有相同頻率的彎曲模式進(jìn)行振動(dòng)。在本實(shí)施方式中，上述彎曲模式支承部存在于延長(zhǎng)部2b、2c，即位于接合了壓電元件7的區(qū)域的外側(cè)的周邊部。而且，第1、第2布線電極3、4到達(dá)延長(zhǎng)部2b、2c。此外，在本實(shí)施方式中，優(yōu)選支承構(gòu)件2中的至少一次彎曲模式的節(jié)點(diǎn)(node)位于上述彎曲模式支承部。據(jù)此，至少難以阻礙一次彎曲模式的振動(dòng)。接下來(lái)，說(shuō)明本實(shí)施方式的壓電振動(dòng)裝置I的制造方法的一例。
在制造壓電振動(dòng)裝置I時(shí)，準(zhǔn)備母支承構(gòu)件和母壓電元件。即，準(zhǔn)備將多個(gè)支承構(gòu)件2以及壓電元件7集合為矩陣狀的母支承構(gòu)件以及母壓電元件。在該母支承構(gòu)件中，在上表面形成用于形成第1、第2布線電極3、4的母的第1、第2布線電極。該母的第1、第2布線電極的形成，可以通過(guò)如下適當(dāng)?shù)姆椒▉?lái)進(jìn)行，S卩:準(zhǔn)備帶銅箔的玻璃環(huán)氧基板，對(duì)銅箔進(jìn)行圖案形成的方法；在玻璃環(huán)氧基板上通過(guò)絲網(wǎng)印刷、薄膜形成法形成母的第1、第2布線電極的方法等。同樣地，在獲得母的壓電元件時(shí)，也可以在母壓電體的上表面以及下表面使用同樣的方法來(lái)形成母體的第1、第2驅(qū)動(dòng)電極。然后，將母壓電元件和母支承構(gòu)件通過(guò)用于構(gòu)成第1、第2接合件層5、6的導(dǎo)電性粘合劑進(jìn)行粘結(jié)。通過(guò)這種方法來(lái)獲得母層疊體。沿厚度方向切斷該母層疊體。然后，在壓電體8的側(cè)面形成連接電極IOa的側(cè)面部分。通過(guò)這種方法，可以容易地量產(chǎn)壓電振動(dòng)裝置I。S卩，在本實(shí)施方式中，因?yàn)槭咕匦伟鍫畹闹С袠?gòu)件2的短邊的長(zhǎng)度方向的尺寸即寬度方向尺寸W與壓電元件7的寬度方向尺寸相等，所以如上所述通過(guò)從母層疊體進(jìn)行切斷，能夠容易且高精度地量產(chǎn)許多壓電振動(dòng)裝置I。上述支承構(gòu)件2的長(zhǎng)度方向尺寸LI被設(shè)為比壓電元件7的長(zhǎng)度方向尺寸長(zhǎng)。而且，如圖1(a)所示，在支承構(gòu)件2的壓電元件接合面2a中，支承構(gòu)件2延伸到層疊了壓電元件7的部分的側(cè)方。按照到達(dá)延長(zhǎng)部2b、2c的方式分別形成了第1、第2布線電極3、4，其中該延長(zhǎng)部2b、2c到達(dá)該側(cè)方。因此，延長(zhǎng)部2b、2c從外部被支承并且導(dǎo)通，由此因?yàn)楸恢С械牡胤讲皇菈弘娫?，尤其因?yàn)椴皇菈弘娫?的活性區(qū)域，所以不會(huì)使由電場(chǎng)施加產(chǎn)生的壓電體的應(yīng)力和集中于支承部的振動(dòng)的應(yīng)力相加從而在壓電元件7產(chǎn)生裂紋等破損或者變形，并且不會(huì)在壓電元件7的活性區(qū)域的局部的電連接地方產(chǎn)生應(yīng)力集中，能夠容易地將第1、第2布線電極3、4電連接于外部端子。例如，作為外部端子可以使用金屬夾(clip)。若金屬夾被形成在延長(zhǎng)部2b、2c的第1、第2布線電極3、4的每一個(gè)夾持,則通過(guò)第1、第2布線電極3、4，可以容易地將第1、第2驅(qū)動(dòng)電極9、10電連接于外部端子。在該情況下，因?yàn)榻饘賷A夾持延長(zhǎng)部2b、2c而進(jìn)行支承，所以壓電元件7由于基于金屬夾的振動(dòng)的應(yīng)力集中而產(chǎn)生破損、變形的問(wèn)題被改善，此外，由金屬夾的剛性與壓電振子的驅(qū)動(dòng)電極的剛性的差異導(dǎo)致的產(chǎn)生驅(qū)動(dòng)電極、布線電極的剝離的問(wèn)題被改善。將上述壓電元件7中的上述活性區(qū)域長(zhǎng)度方向尺寸設(shè)為L(zhǎng)2。S卩，將第1、第2驅(qū)動(dòng)電極9、10對(duì)置的活性區(qū)域的上述矩形的長(zhǎng)邊方向的尺寸設(shè)為L(zhǎng)2。使上述活性區(qū)域的長(zhǎng)度方向尺寸L2對(duì)上述支承構(gòu)件2的長(zhǎng)度方向尺寸LI的比(L2/L1)X100(% )進(jìn)行各種變化，制作了許多上述實(shí)施方式的壓電振動(dòng)裝置1，并且測(cè)量了其位移量以及發(fā)生力。另外，這里，通過(guò)按照在厚度方向上利用邊緣(edge)狀的構(gòu)件夾著支承構(gòu)件2的兩端部從而從支承構(gòu)件2的端面到壓電元件7的端面的2個(gè)延長(zhǎng)部2b、2c的距離相等的方式，在支承構(gòu)件2的中央部固定壓電元件7，從而約束為該部分在厚度方向上不發(fā)生位移，將構(gòu)件間的間隔設(shè)為L(zhǎng)I，施加給定電壓(200V)，并且利用激光位移計(jì)測(cè)量向構(gòu)件間中央部的厚度方向的位移量，將該值設(shè)為位移量。此外，所謂發(fā)生力，是指施加與測(cè)量位移量時(shí)相同的電壓，并且按照位移量為零的方式在構(gòu)件中央部向支承構(gòu)件的厚度方向按壓邊緣狀的構(gòu)件，并且利用推挽儀表測(cè)量該力而求出的值。對(duì)于該測(cè)量，作為實(shí)施方式的一例，使用了在LI為53mm、W為5_、厚度為0.2mm的矩形狀的由帶銅箔的玻璃環(huán)氧基板構(gòu)成的支承構(gòu)件2上搭載了壓電元件7的壓電振動(dòng)裝置I，該壓電元件7具有在L2為50mm、W為5mm、厚度為0.2mm的矩形狀的由PZT構(gòu)成的壓電體8利用濺射法形成的第1、第2驅(qū)動(dòng)電極9、10。在圖2以及圖3示出結(jié)果。另外，圖2以及圖3的位移量以及發(fā)生力是相對(duì)值，將(L2/L1) X100(% )等于100%的情況設(shè)為100%來(lái)求出。由圖2以及圖3可知，若(L2/L1) X100(% )為75%以上，則位移量以及發(fā)生力能夠足夠大地獲得90%以上，并且與不足75%相比，位移量以及發(fā)生力的值相對(duì)于L2/L1的比的變動(dòng)也比較穩(wěn)定。因此，即使由于壓電振動(dòng)裝置I的制作工序中的變動(dòng)，而支承構(gòu)件2的長(zhǎng)度方向尺寸LI與活性區(qū)域的長(zhǎng)度方向尺寸L2的比發(fā)生變動(dòng)，也具有位移量以及發(fā)生力的值穩(wěn)定在足夠大的值的效果，所以(L2/L1) X100(% )優(yōu)選為75%以上。圖4以及圖5是本發(fā)明的第2實(shí)施方式所涉及的壓電振動(dòng)裝置21的立體圖以及分解立體圖。第2實(shí)施方式的壓電振動(dòng)裝置21除了支承構(gòu)件2的下表面2d也作為壓電元件接合面，在該下表面2d上也隔著第1、第2接合件層5、6層疊壓電元件7之外，與第I實(shí)施方式相同。因此，對(duì)于同一部分，標(biāo)注同一參考編號(hào)，由此引用第I實(shí)施方式中的說(shuō)明。在第2實(shí)施方式的壓電振動(dòng)裝置21中，因?yàn)樵谥С袠?gòu)件2的兩面層疊了壓電元件
7、7，所以不僅能夠獲得與第I實(shí)施方式同樣的效果，而且與第I實(shí)施方式的壓電振動(dòng)裝置I相比，能夠獲得較大的位移量、較大的聲壓。如此，在本發(fā)明中，可以將支承構(gòu)件的兩面作為壓電元件接合面。此外，在一個(gè)壓電元件接合面分別可以層疊2個(gè)以上的壓電元件7。在本發(fā)明的壓電振動(dòng)裝置所使用的壓電元件不限定于壓電元件7。圖6示出在本發(fā)明的壓電振動(dòng)裝置使用的壓電元件的第I變形例。層疊型壓電元件31具有壓電體32。壓電體32具有相對(duì)置的第1、第2主面32a、32b。壓電體32具有多個(gè)壓電體層。在壓電體32的第I主面32a上形成有第I驅(qū)動(dòng)電極33，在第2主面32b上形成有第2驅(qū)動(dòng)電極34。進(jìn)而，在壓電體32內(nèi)形成有在第I驅(qū)動(dòng)電極33和壓電體32的端面公共連接的多個(gè)第I內(nèi)部驅(qū)動(dòng)電極35。此外，按照隔著壓電體層與第I驅(qū)動(dòng)電極33或者第I內(nèi)部驅(qū)動(dòng)電極35重疊的方式，形成了多個(gè)第2內(nèi)部驅(qū)動(dòng)電極36。多個(gè)第2內(nèi)部驅(qū)動(dòng)電極36在壓電體32的端面上與第2驅(qū)動(dòng)電極34公共連接。如此，在本發(fā)明中，可以使用具有多個(gè)內(nèi)部驅(qū)動(dòng)電極的層疊型壓電元件31。通過(guò)使用層疊型壓電元件31，能夠以較低的驅(qū)動(dòng)電壓獲得較大的位移量。即，基于壓電效果的位移與所施加的電場(chǎng)強(qiáng)度成比例。在層疊型壓電元件31中，因?yàn)槟軌蚴惯B接于不同的電位的驅(qū)動(dòng)電極間的壓電體層的厚度變薄，所以能夠以更低的電壓獲得較大的位移量。此外，圖7示出在本發(fā)明的壓電振動(dòng)裝置所使用的壓電元件的第2變形例。在圖7所示的壓電元件41中，具有壓電體42。壓電體42具有相對(duì)置的第1、第2主面42a、42b。壓電體42具有多個(gè)壓電體層。在壓電體42內(nèi)按照隔著壓電體層對(duì)置的方式形成了第1、第2驅(qū)動(dòng)電極43、44。第I驅(qū)動(dòng)電極43在壓電體42的第I主面42a側(cè)與第I主面42a平行地形成。同樣地，第2驅(qū)動(dòng)電極44在壓電體42的第2主面42b側(cè)與第2主面42b平行地形成。即，在本發(fā)明中，第1、第2驅(qū)動(dòng)電極也可以不直接形成在壓電體的第1、第2主面上。在第1、第2驅(qū)動(dòng)電極43、44的外側(cè)形成有不活潑層42c、42d。如此，可以使用具有不活潑層42c、42d的壓電元件41。在圖7所示的壓電元件41中，因?yàn)樵O(shè)置有不活潑層42c、42d，所以能夠抑制壓電體42內(nèi)部的活性區(qū)域的箝位部。此外，在壓電元件41中，因?yàn)橛刹换顫妼?2c、42d覆蓋第1、第2驅(qū)動(dòng)電極43、44，所以難以暴露于外部的水分中。因此，能夠延長(zhǎng)產(chǎn)品的壽命。加之，難以產(chǎn)生漏電，還能夠難以產(chǎn)生操作搭載了壓電振動(dòng)裝置的電子設(shè)備的人的觸電。進(jìn)而，圖8示出在本發(fā)明的壓電振動(dòng)裝置所使用的壓電元件的第3變形例。圖8所示的層疊型壓電元件51具有壓電體52。壓電體52具有相對(duì)置的第1、第2主面52a、52b。壓電體52具有多個(gè)壓電體層。在壓電體52內(nèi)，按照隔著壓電體層而對(duì)置的方式形成了第
1、第2驅(qū)動(dòng)電極53、54。第I驅(qū)動(dòng)電極53在壓電體52的第I主面52a側(cè)與第I主面52a平行地形成。同樣地，第2驅(qū)動(dòng)電極54在壓電體52的第2主面52b側(cè)與第2主面52b平行地形成。此外，如圖7所示的壓電元件41那樣，層疊型壓電元件51在壓電體52的第1、第2主面52a、52b側(cè)具有不活潑層52c、52d。而且，在第1、第2驅(qū)動(dòng)電極53、54間形成了多個(gè)內(nèi)部驅(qū)動(dòng)電極55。如圖6 圖8所示，在本發(fā)明的壓電振動(dòng)裝置中使用的壓電元件既可以是在第I驅(qū)動(dòng)電極以及第2驅(qū)動(dòng)電極的外側(cè)具有不活潑層的元件，也可以是在第1、第2驅(qū)動(dòng)電極間還形成有其他驅(qū)動(dòng)電極的層疊型壓電元件。圖9是本發(fā)明的第3實(shí)施方式所涉及的壓電振動(dòng)裝置的立體圖。在第3實(shí)施方式的壓電振動(dòng)裝置61中，在壓電元件7上形成了由絕緣性材料構(gòu)成的保護(hù)層62。其他地方，壓電振動(dòng)裝置61與第I實(shí)施方式的壓電振動(dòng)裝置I相同。因此，對(duì)于同一部分標(biāo)注同一參考編號(hào)，從而引用壓電振動(dòng)裝置I的說(shuō)明。保護(hù)層62由絕緣性材料構(gòu)成，按照覆蓋第2驅(qū)動(dòng)電極10的整個(gè)上表面的方式設(shè)置。因此，能夠防止操作搭載了壓電振動(dòng)裝置的電子設(shè)備的人產(chǎn)生基于第2驅(qū)動(dòng)電極10的觸電。另外，構(gòu)成上述保護(hù)層62的絕緣性材料不做特別限定，能夠使用合成樹(shù)脂、絕緣性陶瓷等。當(dāng)然，為了不抑制壓電元件7的位移，優(yōu)選使用彈性優(yōu)異的絕緣性材料。
當(dāng)然，保護(hù)層62也可以由與壓電體8相同的壓電材料形成。在該情況下，不用增加用于形成壓電振動(dòng)裝置61的材料的種類，并且不用導(dǎo)致制造工序的繁雜，就能夠形成保護(hù)層62。圖10是表示本發(fā)明的第4實(shí)施方式所涉及的壓電振動(dòng)裝置的正面剖視圖。在第4實(shí)施方式的壓電振動(dòng)裝置71中，代替第3實(shí)施方式的保護(hù)層62，在壓電元件7的下表面?zhèn)刃纬闪吮Ｗo(hù)層72。而且，上述保護(hù)層72由絕緣性的接合件構(gòu)成。此外，壓電振動(dòng)裝置71具有伴隨形成了保護(hù)層72而比第1、第2接合件層5、6較厚地形成的第1、第2接合件層5A、6A。因此，如圖10所示，通過(guò)上述保護(hù)層72，還將壓電元件7與支承構(gòu)件2的壓電元件接合面2a接合。因此，使第I接合件層5A的面積變小。如此，在設(shè)置了保護(hù)層72的情況下，即便使第I接合件層5A的面積變小，也能夠?qū)弘娫?牢固地接合到支承構(gòu)件2。在設(shè)置了保護(hù)層72的情況下，通過(guò)作為保護(hù)層72使用耐濕性優(yōu)異的絕緣性粘合齊U，從而能夠抑制由來(lái)自壓電元件7的下表面?zhèn)鹊乃诌M(jìn)入而導(dǎo)致的特性劣化。作為保護(hù)層72，在使用能夠使第I驅(qū)動(dòng)電極9和連接電極IOa電絕緣的構(gòu)件，例如絕緣性的粘合劑、各向異性導(dǎo)電性粘合劑等的情況下，可以在支承構(gòu)件2與壓電元件7之間沒(méi)有間隙地配置保護(hù)層72。另外，也可以形成圖9所示的保護(hù)層62和圖10所示的保護(hù)層72的雙方。在該情況下，在壓電元件7的上表面以及下表面的任一側(cè)，都能夠通過(guò)保護(hù)層62、72實(shí)現(xiàn)保護(hù)。本發(fā)明所涉及的壓電振動(dòng)裝置能夠用作各種壓電致動(dòng)器、壓電揚(yáng)聲器等的壓電發(fā)聲體。此外，近年來(lái)，作為便攜式電子設(shè)備的一種輸入裝置，觸摸面板式輸入裝置被廣泛使用。在該觸摸面板式輸入裝置中，與人的輸入相對(duì)的反力給予點(diǎn)擊感的被稱為觸覺(jué)設(shè)備的裝置受到關(guān)注。本發(fā)明的壓電振動(dòng)裝置能夠適于用作這種觸覺(jué)設(shè)備中給予反力的致動(dòng)器。圖12是用于說(shuō)明作為第I實(shí)施方式的壓電振動(dòng)裝置I的變形例的壓電振動(dòng)裝置IA的立體圖，圖13是其分解立體圖。本變形例的壓電振動(dòng)裝置IA具有支承構(gòu)件2A來(lái)代替第I實(shí)施方式的支承構(gòu)件2。在本變形例中，使用了與第I實(shí)施方式相同的壓電元件7。當(dāng)然，支承構(gòu)件2A的寬度被設(shè)定為比壓電元件7的寬度要寬。如圖13所示，在該支承構(gòu)件2A的上表面形成了第I布線電極3A和第2布線電極4A。第1、第2布線電極3A、4A相互電絕緣，隔著間隙對(duì)置。壓電元件7通過(guò)第1、第2接合件層5、6與第1、第2布線電極3A、4A接合。第I布線電極3A具有接合部3a、端子部3b和連結(jié)部3c。在接合部3a層疊第I接合件層5。接合部3a遍及支承構(gòu)件2A的整個(gè)寬度方向。端子部3b設(shè)置在第2布線電極4A偵U。端子部3b在支承構(gòu)件2A的寬度方向上隔著間隙與第2布線電極4A對(duì)置。此外，與第2布線電極4A同樣地，端子部3b形成在靠支承構(gòu)件2A的一端側(cè)。接合部3a和端子部3b通過(guò)連結(jié)部3c進(jìn)行連接。而且，如圖12所示，端子部3b以及第2布線電極4A在該支承構(gòu)件2A的一端側(cè)露出。因此，能夠容易地進(jìn)行與外部的電連接。圖14是用于說(shuō)明在本發(fā)明的第I實(shí)施方式所涉及的壓電振動(dòng)裝置的其他變形例所使用的支承構(gòu)件2B的立體圖。在圖13所示的壓電振動(dòng)裝置IA中，為了防止端子部3b與第2布線電極4A的短路，支承構(gòu)件2A的寬度被設(shè)定為比壓電元件7的寬度要寬。當(dāng)然，如圖14所示，也可以具有第I布線電極3B，并且使用與壓電元件7的寬度相同寬度的支承構(gòu)件2B。在該情況下，第I布線電極3B具有接合部3d、端子部3e和連結(jié)部3f。在接合部3d層疊第I接合件層5。接合部3d遍及支承構(gòu)件2B的整個(gè)寬度方向。端子部3e設(shè)置在第2布線電極4A側(cè)。端子部3e在支承構(gòu)件2B的寬度方向上隔著間隙與第2布線電極4A對(duì)置。此外，與第2布線電極4A同樣地，端子部3e形成為靠支承構(gòu)件2A的一端側(cè)。接合部3d和端子部3e通過(guò)從支承構(gòu)件2B的一個(gè)端面經(jīng)過(guò)下表面到另一個(gè)端面的連結(jié)部3e而進(jìn)行連接。另外，在圖14所示的支承構(gòu)件2B中，其幅寬也可以比壓電元件7的寬度大。圖15是用于說(shuō)明第I實(shí)施方式的壓電振動(dòng)裝置I的變形例即壓電振動(dòng)裝置IB的立體圖，圖16是其分解立體圖。壓電振動(dòng)裝置IB通過(guò)將圖8所示的層疊型壓電元件51層疊到支承構(gòu)件2A而構(gòu)成。支承構(gòu)件2A與圖13所示的支承構(gòu)件2A大體相同。當(dāng)然，雖然這里使支承構(gòu)件2A的寬度為與層疊型壓電元件51的寬度相同的尺寸，但是與圖13的情況同樣地，也可以使用寬度比層疊型壓電元件51寬的支承構(gòu)件2A。在圖15以及圖16所示的變形例中，第I布線電極3A的端子部3b和第2布線電極4A設(shè)置為靠支承構(gòu)件2A的長(zhǎng)度方向一端側(cè)。因此，在支承構(gòu)件2A的長(zhǎng)度方向一端側(cè)能夠容易地進(jìn)行與外部的電連接。加之，如圖15所示，因?yàn)槎俗硬?b以及第2布線電極4A在支承構(gòu)件2A的一端側(cè)露出，所以能夠進(jìn)一步容易地進(jìn)行與外部的連接。圖11是使用了本發(fā)明的壓電振動(dòng)裝置的振動(dòng)模塊81的示意性分解立體圖。在該振動(dòng)模塊81中，第I實(shí)施方式的多個(gè)壓電振動(dòng)裝置1、I通過(guò)接合件層83、84安裝在基板82的上表面。而且，在多個(gè)壓電振動(dòng)裝置1、1的上方，配置由觸摸面板式輸入裝置使用的可撓性基板85。這種振動(dòng)模塊能夠適于用于觸覺(jué)設(shè)備。另外，在上述實(shí)施方式的壓電振動(dòng)裝置I中，使用了矩形板狀的壓電體，但是本發(fā)明的壓電振動(dòng)裝置的壓電體也可以是矩形板狀以外的形狀，例如圓板狀等其他形狀。同樣地，對(duì)于支承構(gòu)件，也不限于作為單壓電晶片振動(dòng)裝置的振動(dòng)板發(fā)揮功能，不限于矩形板狀，也可以具有圓板狀等的形狀。符號(hào)說(shuō)明1、1A、1B…壓電振動(dòng)裝置2、2A、2B…支承構(gòu)件2a…壓電元件接合面2b、2c…延長(zhǎng)部2cl...下表面3、3A、3B…第I布線電極3a…接合部3b...端子部3c…連結(jié)部3d…接合部3e...端子部3f…連結(jié)部4、4A…第2布線電極

5…第I接合件層5A…第I接合件層
6…第2接合件層7…壓電元件8…壓電體8a…第I主面8b…第2主面9…第I驅(qū)動(dòng)電極10…第2驅(qū)動(dòng)電極IOa…連接電極21…壓電振動(dòng)裝置31…壓電元件32…壓電體32a…第I主面32b… 第2主面33…第I驅(qū)動(dòng)電極34…第2驅(qū)動(dòng)電極35…第I內(nèi)部驅(qū)動(dòng)電極36…第2內(nèi)部驅(qū)動(dòng)電極41…壓電元件42…壓電體42a…第I主面42b…第2主面42c、42d…不活潑層43…第I驅(qū)動(dòng)電極44…第2驅(qū)動(dòng)電極51…壓電元件52…壓電體52a…第I主面52b…第2主面52c、52d…不活潑層53…第I驅(qū)動(dòng)電極54…第2驅(qū)動(dòng)電極55…內(nèi)部驅(qū)動(dòng)電極61…壓電振動(dòng)裝置62…保護(hù)層71…壓電振動(dòng)裝置72…保護(hù)層81…振動(dòng)模塊82…基板83、84…接合件層
85…可撓性基 板
權(quán)利要求
1.一種壓電振動(dòng)裝置，具備: 壓電元件，其具有:壓電體，其具有相互對(duì)置的第I主面以及第2主面；第I驅(qū)動(dòng)電極，其與第I主面平行地形成在所述壓電體的所述第I主面?zhèn)?；和?驅(qū)動(dòng)電極，其與第2主面平行地形成在所述壓電體的所述第2主面?zhèn)?，并且與所述第I驅(qū)動(dòng)電極對(duì)置，所述第I驅(qū)動(dòng)電極、第2驅(qū)動(dòng)電極在所述壓電體的厚度方向上對(duì)置的區(qū)域設(shè)為活性區(qū)域，所述第I驅(qū)動(dòng)電極和所述第2驅(qū)動(dòng)電極未對(duì)置的區(qū)域設(shè)為非活性區(qū)域；以及支承構(gòu)件，其具有接合所述壓電元件的壓電元件接合面， 所述支承構(gòu)件具有第I布線電極，該第I布線電極形成在所述壓電元件接合面，并且與所述壓電元件的第I驅(qū)動(dòng)電極電連接， 所述壓電振動(dòng)裝置還具備第I接合件層，該第I接合件層將所述壓電元件的所述第I驅(qū)動(dòng)電極與所述支承構(gòu)件的所述第I布線電極電連接，并且將所述壓電元件的第I主面與所述支承構(gòu)件的壓電元件接合面接合。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電振動(dòng)裝置，其中， 所述壓電元件還具有連接電極，該連接電極在所述壓電體的所述非活性區(qū)域中形成在所述壓電體的第I主面，并且與形成在所述第2主面的第2驅(qū)動(dòng)電極電連接， 所述支承構(gòu)件還具有第2布線電極，該第2布線電極形成在所述壓電元件接合面，并且與所述第2驅(qū)動(dòng)電極電連接， 所述壓電振動(dòng)裝置還具備第2接合件層，該第2接合件層將所述連接電極與所述第2布線電極電連接，并且將所述壓電元件的第I主面與所述支承構(gòu)件的壓電元件接合面接合。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的壓電振動(dòng)裝置，其中， 所述支承構(gòu)件存在用于從外部支承所述支承構(gòu)件的彎曲模式支承部，使得所述壓電元件以彎曲模式進(jìn)行振動(dòng)時(shí)，所述支承構(gòu)件與該壓電元件一起以相同頻率的彎曲模式進(jìn)行振動(dòng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的壓電振動(dòng)裝置，其中， 所述彎曲模式支承部位于周邊部，該周邊部位于接合了所述壓電元件的區(qū)域的外側(cè)，所述第I布線電極到達(dá)所述周邊部。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的壓電振動(dòng)裝置，其中， 所述支承構(gòu)件中的至少I次彎曲模式的節(jié)點(diǎn)位于所述彎曲模式支承部。
6.根據(jù)權(quán)利要求1 5中任一項(xiàng)所述的壓電振動(dòng)裝置，其中， 所述壓電元件還具有保護(hù)層，該保護(hù)層形成在所述壓電體的第I主面，并且由絕緣性材料構(gòu)成，所述保護(hù)層與所述支承構(gòu)件的壓電元件接合面接合。
7.根據(jù)權(quán)利要求1 6中任一項(xiàng)所述的壓電振動(dòng)裝置，其中， 所述壓電元件還具有按照覆蓋所述第2驅(qū)動(dòng)電極的方式形成在所述壓電體的第2主面并且由絕緣性材料構(gòu)成的保護(hù)層。
8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的壓電振動(dòng)裝置，其中， 所述保護(hù)層由與所述壓電體相同的材料構(gòu)成。
9.根據(jù)權(quán)利要求1 8中任一項(xiàng)所述的壓電振動(dòng)裝置，其中， 所述支承構(gòu)件具有相對(duì)置的第I壓電元件接合面、第2壓電元件接合面，在第I壓電元件接合面、第2壓電元件接合面分別接合了所述壓電元件。
10.根據(jù)權(quán)利要求1 9中任一項(xiàng)所述的壓電振動(dòng)裝置，其中， 所述壓電體以及所述支承構(gòu)件具有矩形的平面形狀，該矩形具有短邊和長(zhǎng)邊，并且所述支承構(gòu)件的矩形的短邊的長(zhǎng)度與所述壓電體的矩形的短邊的長(zhǎng)度相等， 所述第I驅(qū)動(dòng)電極、第2驅(qū)動(dòng)電極形成為跨越所述壓電體的所述短邊方向全長(zhǎng)。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的壓電振動(dòng)裝置，其中， 所述第I驅(qū)動(dòng)電極形成在所述壓電體的第I主面， 所述第2驅(qū)動(dòng)電極形成在所述壓電體的第2主面的整個(gè)面上， 所述壓電元件還具有在所述壓電體的所述非活性區(qū)域中形成在所述壓電體的第I主面上并且與所述第2驅(qū)動(dòng)電極電連接的連接電極， 該連接電極形成為從所述壓電體的所述第I主面到達(dá)所述壓電體的側(cè)面，并且在所述壓電體的側(cè)面和第2主面構(gòu)成的棱線處與所述第2驅(qū)動(dòng)電極連接。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的壓電振動(dòng)裝置，其中， 所述支承構(gòu)件的所述矩形的長(zhǎng)邊的長(zhǎng)度比所述壓電元件的所述矩形的長(zhǎng)邊的長(zhǎng)度長(zhǎng)，所述第I布線電極到達(dá)所述支承構(gòu)件的接合了所述壓電元件的部分的側(cè)方區(qū)域。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的壓電振動(dòng)裝置，其中， 將所述支承構(gòu)件的所述矩形的所述長(zhǎng)邊的長(zhǎng)度設(shè)為L(zhǎng)I，將所述壓電體中的活性區(qū)域的沿所述支承構(gòu)件 的所述矩形的長(zhǎng)邊方向的長(zhǎng)度設(shè)為L(zhǎng)2時(shí)，(L2/L1)X100%S 75%以上。
全文摘要
本發(fā)明提供一種壓電振動(dòng)裝置，難以產(chǎn)生電連接部分處的壓電元件、支承構(gòu)件等的由應(yīng)力集中產(chǎn)生的破壞，可靠性優(yōu)異。壓電振動(dòng)裝置(1)在支承構(gòu)件(2)的壓電元件接合面(2a)接合了壓電元件(7)，壓電元件(7)具有形成在第1主面(8a)的第1驅(qū)動(dòng)電極(9)、和形成在第2主面(8b)的第2驅(qū)動(dòng)電極(10)，通過(guò)第1接合件層(5)，第1驅(qū)動(dòng)電極(9)與形成在支承構(gòu)件(2)的壓電元件接合面(2a)的第1布線電極(3)電連接，并且壓電元件(7)接合于支承構(gòu)件(2)。
文檔編號(hào)H03H9/05GK103155410SQ20118004864
公開(kāi)日2013年6月12日 申請(qǐng)日期2011年10月24日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月1日
發(fā)明者宇波俊彥, 進(jìn)藤智, 森田亙, 加賀山健司, 堀川勝弘 申請(qǐng)人:株式會(huì)社村田制作所