專利名稱：彈性表面波裝置和搭載其的通信終端的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種彈性表面波裝置和搭載其的通信終端。
背景技術(shù)：
一直以來，作為“利用粘接層膠合壓電基板和具有比壓電基板小的膨脹系數(shù)的支撐基板”的彈性表面波裝置，提出了“壓電基板的厚度是5～100μm，而且壓電基板的粘接面加工成粗面，支撐基板由硅構(gòu)成，而且支撐基板的兩個表面層以0.1～40μm的厚度進(jìn)行氧化”的表面波裝置(特開2005-229455號公報)。
在特開2005-229455號公報中，壓電基板和支撐基底使用膨脹系數(shù)不同的材質(zhì)，構(gòu)成為使得抑制由于溫度變化導(dǎo)致的兩個基板的互相變形，由此穩(wěn)定頻率溫度特性。
但是，在所述特開2005-229455號公報中，關(guān)于彈性表面波裝置的梳子型電極的配置，沒有任何公開。換言之，在所述專利文獻(xiàn)1中僅公開了彈性表面波裝置的層構(gòu)造，關(guān)于在其表面怎樣配置梳子型電極等的面構(gòu)造，沒有任何公開。
為此，在所述特開2005-229455號公報所記載的技術(shù)中，不能通過梳子型電極的配置而實現(xiàn)隨著溫度變化的基板變形之抑制效果。即，彈性表面波裝置的端面是自由端，所以不能抑制隨著溫度變化的基板變形，另外，既使在接近端面的區(qū)域，其抑制效果也小，不能得到希望的頻率溫度特性。
另外，在彈性表面波裝置中能夠?qū)崿F(xiàn)基板變形的抑制效果的區(qū)域不明確，所以，不清楚是否在任何區(qū)域都必須配置梳子型電極，同樣不能得到希望的頻率溫度特性。

發(fā)明內(nèi)容
為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明具有壓電基板；支撐基板，與壓電基板接合，由膨脹系數(shù)與壓電基板不同的材質(zhì)構(gòu)成；梳子型電極，配置在壓電基板的面上，激勵彈性表面波。在彈性表面波傳播的方向，梳子型電極的長度相對壓電基板的長度是40％以上70％以下。
根據(jù)本發(fā)明，能夠提供溫度特性優(yōu)異的彈性表面波裝置和搭載其的通信終端。


圖1是本發(fā)明的第一實施例的彈性表面波裝置的俯視。
圖2是實施例的彈性表面波裝置的截面圖。
圖3是圖1的等價電路圖。
圖4是利用圖1的彈性表面波裝置得到的頻率特性圖。
圖5是表示溫度特性的抑制率相對從彈性表面波裝置的中心到彈性表面波用共振器的端部的距離與從彈性表面波裝置的中心到彈性表面波裝置的端部的距離之比而變化的圖。
圖6是表示其它例子的通過型彈性表面波裝置的俯視圖。
圖7是表示本實施例的頻率溫度特性和已有例子的頻率溫度特性的圖。
圖8是使用本發(fā)明的彈性表面波裝置的移動通信終端的示意方框圖。
具體實施例方式
首先，說明本發(fā)明的實施方式的背景，特別是彈性表面波裝置的頻率溫度特性。
彈性表面波裝置具有在表面配置梳子型電極的壓電基板和支撐壓電基板的支撐基板。
該壓電基板，通常為彈性表面波裝置用的單結(jié)晶基板，原樣使用鉭酸鋰(下面簡稱為LT)、鈮酸鋰(下面簡稱為LN)或水晶單結(jié)晶基板(水晶單晶基板)。特別是，LT和LN單結(jié)晶基板的彈性表面波的傳播速度快，電機(jī)械耦合常數(shù)大，所以，多用于高頻且寬頻帶頻率用的彈性表面波裝置的基板。
但是，這些基板隨著溫度變化而傳播速度的變化，即溫度系數(shù)(Temperature Coefficient of Delay，下面簡稱為TCD)大。為此，在規(guī)定的溫度范圍，使得為希望的頻率溫度特性，即調(diào)整由梳子型電極的電極間隔和彈性波的音速所決定的濾波器等的中心頻率使得不隨溫度而變動是困難的。特別是，在通過頻帶頻率和阻止頻帶頻率的頻率間隔窄的情況下，由該溫度系數(shù)導(dǎo)致的影響變得明顯。對于該問題，提出了如下方法，在制作了發(fā)送接收彈性表面波的梳子型電極的壓電基板上形成具有相反溫度系數(shù)的氧化硅膜等，或在藍(lán)寶石或硅(下面簡稱為Si)等熱膨脹系數(shù)小的基板上直接或利用粘接劑接合壓電基板。
但是，上述對策具有如下問題。首先，在制作了梳子型電極的壓電基板上形成具有相反溫度系數(shù)的氧化硅膜等的方法中，形成的膜的膜厚控制非常嚴(yán)格。即，如果膜厚過厚，頻率特性就整體向低頻側(cè)移動，如果過薄，就相反地向高頻側(cè)移動，這是因為膜厚的變動直接關(guān)系到頻率的變動。此外，為了提高制作的膜厚的精度，需要高價的設(shè)備。
另外，在熱膨脹系數(shù)小的基板上直接接合壓電基板的方法中，對接合的兩個基板表面的平坦性有著非常嚴(yán)格的要求，接合的兩個面的清潔度的要求也嚴(yán)格，此外，需要完全地除去基板間的氣泡。為了與此對應(yīng)，同樣需要高價的設(shè)備。
另外，既使對彈性表面波裝置的層構(gòu)造進(jìn)行鉆研，解決了這些問題，也不能利用梳子型電極的配置達(dá)到隨著溫度變化的基板變形之抑制效果，不能得到希望的頻率溫度特性。另外，由于在彈性表面波裝置中能夠?qū)崿F(xiàn)基板變形之抑制效果的區(qū)域不明確，所以不清楚是否在任何區(qū)域都必須配置梳子型電極，同樣不能得到希望的頻率溫度特性。
象以上這樣，如果不是不僅考慮彈性表面波裝置的層構(gòu)造，也考慮在其表面如何配置梳子型電極等的面構(gòu)造，就不能得到希望的頻率溫度特性。
下面，使用附圖來說明本發(fā)明的實施方式。
圖1是彈性表面波裝置的俯視圖，圖2是圖1所示的彈性表面波裝置的X-X線的截面圖。在圖1和圖2中，100表示作為單結(jié)晶的壓電基板的LT基板，101表示接合面，102表示LT基板的上面(表面)，200表示粘接劑，300表示作為壓電基板的單結(jié)晶支撐基板的Si基板，400表示梳子型電極(下面簡稱為IDT電極)，401表示由IDT電極構(gòu)成的串聯(lián)共振器，402表示并聯(lián)共振器，501表示向串聯(lián)共振器401輸入信號的輸入端子，502表示從并聯(lián)共振器402輸出信號的輸出端子，600表示彈性表面波的傳播方向。
象圖1所示那樣，在LT基板的上面102，配置由IDT電極400所構(gòu)成的串聯(lián)共振器401和并聯(lián)共振器402。而且，如果從輸入端子501輸入輸入信號，就從輸出端子502取出由所述串聯(lián)共振器401和并聯(lián)共振器402所濾波的信號。此時，彈性表面波600就象本圖所示那樣，與IDT電極垂直地激勵、傳播。
另外，象圖2所示那樣，LT基板100的接合面101利用粘接劑200與Si基板300接合。該LT基板的上面102形成有細(xì)微的梳子型電極400，其研磨成作為表示粘接面的面粗糙度的指標(biāo)的Ra是0.1＜Ra＜0.5nm的所謂鏡面加工的狀態(tài)，用于彈性表面波的發(fā)送和接收。
這里，描述本實施例和所述特開2005-229455號公報的層構(gòu)造的構(gòu)成上的不同。首先，在本實施例中用于接合的粘接劑使用紫外線固化型環(huán)氧粘接劑，與此相對，所述特開2005-229455號公報中使用光固化型的丙稀基系列粘接劑。這是因為，環(huán)氧系列粘接劑相對溫度變化的楊氏模量的變化程度小。
另外，在本實施例中，將接合單晶壓電基板的面進(jìn)行上述所謂的鏡面加工，但在特開2005-229455號公報中，在利用Ra表示的粗糙度為0.05＜Ra＜0.3μm的范圍粗加工該接合面。這是因為，由于單晶壓電基板的制作IDT的面進(jìn)行所謂的鏡面加工，相反側(cè)的接合面也是相同的面狀態(tài)，而接合的基板的彎曲小。
另外，在本實施例中，作為基底基板，使用電阻率100Ωcm以上的高電阻Si基板，而在特開2005-229455號公報中使用以0.1～40μm厚度氧化表面層的Si基板。這是因為，高電阻的Si基板的可用性好。
另外，在本實施例中，作為單晶壓電基板，LT的面方位是30～45°Y切(cut)，LN的面方位是40～65°Y切(cut)，而在特開2005-229455號公報僅為LT和LN。這是因為，在本實施例所指定的范圍，可得到傳播速度快，電機(jī)械耦合常數(shù)大的彈性表面波。
下面，使用圖1來說明本實施例和特開2005-229455號公報的面構(gòu)造的構(gòu)成上的不同。在圖1中，A是從彈性表面波裝置的中心到彈性表面波裝置的端部的距離，B是從彈性表面波裝置的中心到彈性表面波用共振器的端部的距離。A、B都以與彈性表面波的傳播方向相同的方向為基準(zhǔn)。在圖1中，B的值越接近A的值，即B/A的值越大，由Si基板進(jìn)行的對LT基板的熱膨脹率的抑制效果越弱，彈性表面波裝置的TCD的抑制率越小。由此，考慮到溫度特性惡化。原因是由于彈性表面波裝置的端面是自由端，所以在壓電基板和支撐基板之間不能相互抵消或者抑制隨著溫度變化的基板變形。另外，接近端面的區(qū)域也由于同樣的理由，其抑制效果小。
因此，希望使得彈性表面波裝置的端部區(qū)域和其周邊區(qū)域，特別是彈性表面波的傳播方向的端部區(qū)域和其周邊區(qū)域，盡可能不配置梳子型電極。即，越減小B/A，就越能夠得到穩(wěn)定的頻率溫度特性。
另一方面，如果為了確保穩(wěn)定的頻率溫度特性而過寬地采取周邊區(qū)域，基板的利用效率降低，彈性表面波裝置的小型化困難，另外，由于需要額外的基板材料，所以也妨礙了成本降低。因此，應(yīng)該避免過于減小B/A，希望在能夠確保頻率溫度特性的充分需要的范圍內(nèi)設(shè)定B/A。
使用圖3、圖4、圖5、圖7來說明。
圖3是利用等價電路來表示圖1和圖2所說明的本實施例的彈性表面波裝置的構(gòu)成的圖，配置在彈性表面波裝置的表面的梳子型電極401和402分別表示串聯(lián)共振器和并聯(lián)共振器。
圖4表示根據(jù)圖3的構(gòu)成得到的頻率特性。在圖4中，橫軸表示頻率(單位Hz)，縱軸表示衰減度(單位dB)。如果將衰減度10dB左右的頻率分別設(shè)為f1和f2，就利用(f1+f2)/2來表示中心頻率。這里，以移動通信終端所使用的頻率為例子進(jìn)行說明，f1設(shè)為1824MHz，f2設(shè)為1919MHz，中心頻率為1871.5MHz。
圖7的上面圖表示適用本實施例的情況下的頻率溫度特性，圖7的下面圖表示已有的頻率溫度特性。如果比較兩者，可理解，相對溫度變動的頻率特性的偏差在本實施例中得到大幅度改善。
即，在圖7中表示了攝氏-25度、25度、50度、85度時的頻率溫度特性，但顯示本實施例的特性與已有例子的特性比較，由溫度變化導(dǎo)致的特性變動小。峰值損耗(peak loss)的差在本實施例中大約是0.24dB，與此相對，在已有例子中大約是0.43dB。
圖5表示實際上將LT基板與Si基板接合，改變彈性表面波用共振器的長度，來測量中心頻率的溫度特性，由此得到的表示TCD的抑制率的圖。在本圖中，橫軸表示上述B/A，縱軸表示TCD的抑制率。根據(jù)該圖，越減小B/A，TCD的抑制率越大，能夠得到具有優(yōu)異的溫度特性的彈性表面波裝置。根據(jù)圖5的結(jié)果可理解，B/A為80％，TCD的抑制率大約是25％；B/A為70％，TCD的抑制率大約是40％；B/A為60％，TCD的抑制率大約是55％；B/A為50％，TCD的抑制率大約是65％；B/A為40％，TCD的抑制率大約是70％；B/A為30％，TCD的抑制率大約是75％。
象從該圖也理解的那樣，在B/A為80％左右的區(qū)域，不太能夠提高TCD的抑制率。如果在B/A為70％以下的區(qū)域，可改善TCD的抑制率，直到B/A為40％左右的區(qū)域，可大比例地改善。在不到40％的區(qū)域，既使減小B/A也不太能提高TCD的抑制率。因此，為了一定程度地充分改善TCD，應(yīng)該將B/A設(shè)為70％以下。另一方面，為了確保基板的利用效率和小型化，希望將B/A設(shè)為40％以上，另外，在B/A不到40％的區(qū)域，不太能期望改善TCD的抑制率。根據(jù)以上內(nèi)容，如果考慮兼顧TCD的抑制和基板的利用效率等，優(yōu)選B/A是40％以上70％以下。另外，如果將基板的利用效率維持一定程度以上進(jìn)一步提高TCD的抑制率，也考慮50％以上60％以下的范圍。另外，如果抑制率優(yōu)先，也可以為60％以上70％以下的范圍。
其次，在接收頻帶頻率和發(fā)送頻帶頻率的頻率間隔窄，且不得不加大對方側(cè)的頻帶頻率的衰減度的方式，TCD的抑制效果顯著。即，在接收用彈性表面波裝置中，要求接收頻帶頻率的衰減度小，而且，發(fā)送頻帶頻率的衰減度大。相反，在發(fā)送用彈性表面波裝置中，要求發(fā)送頻帶頻率的衰減度小，而且接收頻帶頻率的衰減度大，這樣的方式特別有效。
最近，對于移動終端，碼分多路訪問方式(Code Division MultipleAccess方式，下面簡稱為CDMA方式)快速開始普及。其中，特別使用以北美區(qū)為中心進(jìn)行服務(wù)的CDMA方式的頻率配置來在下面說明。在上述CDMA方式的情況下，要求通話時同時使發(fā)送系統(tǒng)和接收系統(tǒng)動作，而且很好地保持聲音的品質(zhì)。因此，在發(fā)送系統(tǒng)所使用的彈性表面波裝置中，要求發(fā)送頻帶頻率的衰減度小，對方側(cè)即接收頻帶頻率的衰減度大。相反的，在接收系統(tǒng)所使用的彈性表面波裝置中，要求接收頻帶頻率的衰減度小，對方側(cè)即發(fā)送頻帶頻率的衰減度大。
另一方面，在上述以北美為中心服務(wù)的CDMA方式的情況下，發(fā)送頻帶頻率是1850～1910MHz，接收頻帶頻率是1930～1990MHz。因此，發(fā)送頻帶頻率和接收頻帶頻率的間隔狹窄到20MHz。另一方面，在彈性表面波裝置中，從通過頻帶頻率向衰減頻帶頻率的傾斜所要求的頻率寬度、彈性表面波裝置的制造的材料和工序變動導(dǎo)致的頻率寬度、以及隨著溫度變動而變動的頻率寬度的總和，必需收納在上述發(fā)送頻帶頻率和接收頻帶頻率的間隔內(nèi)。在上述以北美區(qū)域為中心加以服務(wù)的CDMA方式的情況下，從通過頻帶頻率向衰減頻帶頻率的傾斜所要求的頻率寬度約為10MHz，由彈性表面波裝置的制造的材料和工序變動導(dǎo)致的頻率寬度大約是5MHz，所以，分配給隨著溫度變動而變動的頻率寬度大約是5MHz。
另一方面，彈性表面波裝置所使用的LT基板的LT單結(jié)晶的面方位是30～45°Y切(cut)，通常彈性表面波的傳播方向是X軸方向。關(guān)于上述方位中LT單結(jié)晶的面方位為42°Y切附近的晶片，在下面進(jìn)行說明。所述晶片的TCD大約是-42ppm/°K。另外，如果將移動終端的使用溫度范圍設(shè)為-25℃～85℃，在使用所述晶片制造以北美區(qū)為中心加以服務(wù)的CDMA方式的彈性表面波裝置的情況下，隨著溫度變動而變動的頻率寬度大約是8.8MHz，不能在全部溫度范圍收納到5MHz內(nèi)，不能滿足頻率特性。
與此相對，根據(jù)本發(fā)明的圖5，將B/A的比率設(shè)為70％以下，能夠得到TCD的抑制率40％以上，所以，能夠?qū)㈦S著上述溫度變動而變動的頻率寬度抑制到大約5MHz，能夠提供穩(wěn)定的頻率特性?？墒牵珺/A的比率越小，效果越優(yōu)選，但如果考慮從一個單晶壓電基板得到的彈性表面波裝置的效率，無限制地減小不是上策。另外，根據(jù)本發(fā)明的圖5，到20％以下其效果幾乎沒有變化。因此，優(yōu)選的將B/A的比率下限設(shè)為20％。此外，將B/A的比率設(shè)為60％以下，能夠得到TCD的抑制率為50％以上，通過這樣，能夠放寬彈性表面波裝置的從通過頻帶頻率向衰減頻帶頻率的傾斜所需要的頻率寬度、以及制造的材料或工序變動導(dǎo)致的頻率寬度，此外，能夠提供便宜且特性優(yōu)異的彈性表面波裝置。
但是，既使極端地加大上述A，隨之加大B，但從與上述相同的一個單晶壓電基板得到的彈性表面波裝置的制造效率下降。因此，優(yōu)選的，A和B的差，即“A-B”抑制到100μm以下。
另外，在上面描述了LT基板的面方位是42°Y切附近的晶片，但LT基板的面方位為39°Y切附近的晶片也能夠得到同樣的效果。LT基板的面方位為39°Y切附近晶片的情況下，TCD大約是-35ppm/°K。這種情況下，在與上述相同的溫度范圍，隨著溫度變動而變動的頻率寬度大約是7.3MHz。因此，如果將B/A比率設(shè)定為75％以下，能夠?qū)㈦S著溫度變動而變動的頻率寬度抑制到大約5MHz，如果將本發(fā)明的B/A的比率設(shè)定為75％以下，能夠進(jìn)一步變窄隨著溫度變動而變動的頻率寬度，能夠提供更便宜且特性優(yōu)異的彈性表面波裝置。
此外，LT基板的面方位是36°Y切附近的晶片也能夠得到同樣的效果。在LT基板的面方位是36°Y切附近晶片的情況下，TCD大約是-32ppm/°K。這種情況下，在與前面所述相同的溫度范圍，隨著溫度變動而變動的頻率寬度大約是6.8MHz。因此，如果將B/A的比率設(shè)為80％以下，能夠?qū)㈦S著溫度變動而變動的頻率寬度抑制到大約5MHz。這樣，如果將本發(fā)明的B/A的比率設(shè)定為80％以下，能夠進(jìn)一步變窄隨著溫度變動而變動的頻率寬度，能夠提供更便宜且特性優(yōu)異的彈性表面波裝置。
而且，在上述方式中，關(guān)于組合共振器的彈性表面波裝置進(jìn)行了說明，但圖6所示那樣的通過型彈性表面波裝置、以及組合多個通過型彈性表面波裝置的多級型彈性表面波裝置，也能夠得到同樣的效果。在圖6中，輸入信號從輸入端子501輸入，由輸入側(cè)IDT701激勵彈性表面波600，向輸出側(cè)IDT702傳播，在這里再次變換為電信號，從輸出端子502向下一個電路發(fā)送。然后，信號在該過程中調(diào)整為希望的頻率特性。在該構(gòu)成的彈性表面波裝置中，如果也將B/A的比率設(shè)為70％以下，就能夠更加變窄隨著溫度變動而變動的頻率寬度，能夠提供更便宜且特性優(yōu)異的彈性表面波裝置。
而且，本發(fā)明的效果不僅是純粹地抑制相對溫度變動的頻率變動，而且也能夠抑制與彈性表面波傳播的方向垂直的方向的變動，極力保證了最佳狀態(tài)，由此能夠穩(wěn)定頻率特性。此外，通過將所述IDT電極的形狀盡可能保持為初期最佳狀態(tài)，作為體波(bulk wave)放出少的彈性表面波也能夠盡可能在最佳狀態(tài)下使用，所以彈性表面波的傳播損失小，因此，能夠得到損耗小的彈性表面波裝置。
另外，在上述實施方式中，作為第一基板說明了LT基板，但LN基板也能夠得到同樣的效果。另外，在上述實施方式中，作為第二基板說明了Si基板，但使用玻璃基板或者藍(lán)寶石基板也可得到同樣的效果。
另外，優(yōu)選的，第一基板厚度是20μm到70μm的范圍。這是因為如果其為20μm以下，就難于加工，基板的完成成品率，進(jìn)而價格上升，相反如果是70μm以上，第二基板的TCD的抑制效果弱。目前彈性表面波裝置所使用的單晶壓電基板的厚度是150μm到350μm。既使將該厚度的單晶壓電基板原樣與第二基板接合，第一基底的形成IDT的面和第二基板的面的距離變大，一點(diǎn)也不能得到熱膨脹系數(shù)TCD抑制效果，一點(diǎn)也不能得到TCD抑制效果。優(yōu)選的，在上述范圍中，第一基板厚度是50μm附近，但是從加工性和TCD抑制效果兩方面考慮優(yōu)選的是取平衡。
此外，優(yōu)選的，第二基板的厚度是100μm到350μm的范圍，這是因為如果為100μm以下，TCD的抑制效果弱，相反的，如果為350μm以上，彈性表面波裝置的高度變高，就不順應(yīng)薄型化傾向，商品價值下降。
另外，優(yōu)選的，LT基板的面方位為30°Y切到45°Y切的范圍，優(yōu)選的，LN基板的面方位為40°Y切到65°Y切的范圍。這是因為在上述范圍，兩個基板的彈性表面波的傳播速度都比較快，而且電機(jī)械耦合常數(shù)比較大。
另外，作為第二基板，在使用Si基板的情況下，優(yōu)選的，其電阻率為1000Ωcm以上。這是為了盡可能減小彈性表面波用IDT或與它們連接的配線圖案和接地之間所發(fā)生的對地電容。
此外，優(yōu)選的，接合第一基板和第二基板的粘接劑的厚度為10μm以下。這是因為如果粘接劑的厚度變厚，就難于均勻地涂覆，而且，也減小了第二基板的TCD抑制效果。
另外，作為接合第一基板和第二基板的粘接劑，優(yōu)選的使用紫外線固化型粘接劑。這是因為，在紫外線固化型粘接劑的情況下，粘接劑的固化幾乎不需要加熱，所以能夠盡可能減小接合熱膨脹率不同的物質(zhì)時所發(fā)生的彎曲。
此外，優(yōu)選的，與第二基板接合的第一基板面102的粗糙度與制作彈性表面波用共振器等的第一基板面101的粗糙度相同，為使用Ra表示的0.1＜Ra＜0.5nm的范圍。
象以上那樣，通過使用本實施例所記載的彈性表面波裝置，能夠提供對溫度變化具有穩(wěn)定特性的移動通信終端。該移動通信終端例如具有接收信號的接收部；上述實施例中所說明的彈性表面波裝置，濾波由接收部所接收的信號；解調(diào)部，解調(diào)由彈性表面波裝置所濾波的信號；輸出部，輸出由解調(diào)部所解調(diào)的信號。
圖8表示具有本發(fā)明的彈性表面波裝置的移動通信終端的一個例子的方框圖。移動通信終端800具有天線802；SAW收發(fā)共用器(duplexer)804；HPA808；第二發(fā)送SAW濾波器810；RF IC812；第二接收SAW濾波器814；基帶(Base Band)824；揚(yáng)聲器826；麥克風(fēng)828。在RF IC812中，設(shè)置發(fā)送VCO(Tx-VCO)818；Synth(Synthesizer合成器)820；接收VCO(Rx-VCO)822；LNA(LowNoise Amplifier低噪音放大器)816；混合部(Mix)823。另外，在SAW收發(fā)共用器804中設(shè)置第一接收SAW濾波器806和第一發(fā)送SAW濾波器807。Synth.820能夠發(fā)生穩(wěn)定的頻率信號。例如，以水晶振蕩器等為振源。另外，發(fā)送VCO和接收VCO是通過施加電壓來改變發(fā)送頻率的發(fā)送器。
在圖8中，天線802具有作為上述接收部的功能。另外，第二接收SAW濾波器814濾波由天線接收的信號，RF IC812具有作為解調(diào)濾波的信號之解調(diào)部的功能。圖8所示的移動通信終端800中，天線802具有作為發(fā)送接收信號的發(fā)送接收部之功能。另外，RF IC812具有作為調(diào)制解調(diào)部的功能，其解調(diào)濾波過的信號，調(diào)制從麥克風(fēng)輸入的聲音信號。
在圖8所示的移動通信終端800中，第二發(fā)送SAW濾波器810、第二接收SAW濾波器814、SAW收發(fā)共用器804內(nèi)的第一接收SAW濾波器806、第一發(fā)送SAW濾波器807的至少一個，能夠適用本發(fā)明的彈性表面波裝置。
下面說明該移動通信終端800的接收路徑，從天線802輸入的信號，在SAW收發(fā)共用器806內(nèi)分波，從SAW收發(fā)共用器806內(nèi)的第一接收SAW濾波器806向RF IC812的LNA816輸出、放大。由LNA816放大的信號利用第二接收SAW濾波器814整形，由混合部823變換為低頻信號，向基帶824輸出。來自基帶824的輸出信號，發(fā)送給揚(yáng)聲器826，變?yōu)槁曇簟?br> 接著，說明移動通信終端800的發(fā)送路徑。從麥克風(fēng)828輸入的聲音信號，從基帶824發(fā)送給Tx-VCO818，進(jìn)行調(diào)制。由Tx-VCO818調(diào)制的信號利用第二發(fā)送SAW濾波器810整形后，由HPA808放大。由HPA808放大的信號，通過SAW收發(fā)共用器804內(nèi)的第一發(fā)送SAW濾波器發(fā)送給天線802，從天線802發(fā)送。
本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該進(jìn)一步理解到，雖然前面描述了本發(fā)明的實施例，但本發(fā)明不限于此，在不偏離所附權(quán)利要求的范圍和本發(fā)明的精神的情況下，能夠進(jìn)行各種改變和修改。
權(quán)利要求
1.一種彈性表面波裝置，其特征在于，具有壓電基板；支撐基板，與所述壓電基板接合，由具有與所述壓電基板不同的膨脹系數(shù)的材質(zhì)構(gòu)成；和梳子型電極，配置在所述壓電基板的面上，激勵彈性表面波，在彈性表面波傳播的方向，所述梳子型電極的長度相對所述壓電基板的長度是40％以上70％以下。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的彈性表面波裝置，其特征在于，所述壓電基板是鈮酸鋰、鉭酸鋰的單晶壓電基板。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的彈性表面波裝置，其特征在于，所述支撐基板是玻璃基板、藍(lán)寶石基板或者硅基板。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的彈性表面波裝置，其特征在于，所述壓電基板的厚度在從20μm到70μm的范圍內(nèi)。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的彈性表面波裝置，其特征在于，所述壓電基板是面方位為30～45°Y切的鉭酸鋰的單晶壓電基板。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的彈性表面波裝置，其特征在于，所述壓電基板是面方位為40～65°Y切的鈮酸鋰的單晶壓電基板。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的彈性表面波裝置，其特征在于，所述支撐基板是具有1000Ωcm以上電阻率的硅基板。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的彈性表面波裝置，其特征在于，所述壓電基板使用紫外線固化型粘接劑與所述支撐基板接合。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的彈性表面波裝置，其特征在于，所述壓電基板和所述支撐基板之間的所述紫外線固化型粘接劑的厚度為10μm以下。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的彈性表面波裝置，其特征在于，所述壓電基板的與所述支撐基板的接合面在以Ra表示的粗糙度為0.1＜Ra＜0.5nm的范圍進(jìn)行鏡面加工。
11.一種彈性表面波裝置，其特征在于，具有作為單晶壓電基板的第一基板；第二基板，與所述第一基板接合；和梳子型電極，設(shè)置在所述第一基板的與和所述第二基板接合的面相反側(cè)的面上，激勵彈性表面波，由所述梳子型電極構(gòu)成的彈性表面波用共振器的彈性表面波傳播方向的長度，為彈性表面波裝置的彈性表面波傳播方向的長度的70％以下。
12.一種通信終端，其特征在于，具有收發(fā)共用器，分波發(fā)送信號和接收信號；第一彈性表面波裝置，濾波所述接收信號；調(diào)制解調(diào)部，解調(diào)由所述第一彈性表面波裝置濾波的信號，調(diào)制聲音信號；和第二彈性表面波裝置，濾波由所述調(diào)制解調(diào)部調(diào)制解調(diào)的聲音信號，所述第一和第二彈性表面波裝置具有壓電基板；支撐基板，與所述壓電基板接合，由具有與所述壓電基板不同的膨脹系數(shù)的材質(zhì)構(gòu)成；梳子型電極，配置在所述壓電基板的面上，激勵彈性表面波，在彈性表面波傳播的方向，所述梳子型電極的長度相對所述壓電基板的長度是40％以上70％以下。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的通信終端，其特征在于，所述壓電基板是鈮酸鋰或鉭酸鋰的單晶壓電基板。
14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的通信終端，其特征在于，所述支撐基板是玻璃基板、藍(lán)寶石基板或者硅基板。
15.根據(jù)權(quán)利要求12所述的通信終端，其特征在于，所述壓電基板的厚度在從20μm到70μm的范圍內(nèi)。
16.根據(jù)權(quán)利要求13所述的通信終端，其特征在于，所述壓電基板是面方位為30～45°Y切的鉭酸鋰的單晶壓電基板，或者是面方位為40～65°Y切的鈮酸鋰的單晶壓電基板。
17.根據(jù)權(quán)利要求14所述的通信終端，其特征在于，所述支撐基板是具有1000Ωcm以上電阻率的硅基板。
18根據(jù)權(quán)利要求12所述的通信終端，其特征在于，所述壓電基板使用紫外線固化型粘接劑與所述支撐基板接合。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的通信終端，其特征在于，所述壓電基板和所述支撐基板之間的所述紫外線固化型粘接劑的厚度為10μm以下。
20.根據(jù)權(quán)利要求12所述的通信終端，其特征在于，所述壓電基板的與所述支撐基板的接合面在以Ra表示的粗糙度為0.1＜Ra＜0.5nm的范圍進(jìn)行鏡面加工。
全文摘要
本發(fā)明的彈性表面波裝置，具有壓電基板；支撐基板，與該壓電基板接合，由膨脹系數(shù)與壓電基板不同的材質(zhì)所構(gòu)成；梳子型電極，配置在壓電基板的面上，激勵彈性表面波。按照在彈性表面波傳播的方向，梳子型電極的長度相對壓電基板的長度是40％以上70％以下的方式，構(gòu)成梳子型電極和壓電基板的一方。這樣的彈性表面波裝置的溫度特性優(yōu)異。
文檔編號H03H9/25GK1976223SQ200610126010
公開日2007年6月6日 申請日期2006年8月30日 優(yōu)先權(quán)日2005年11月30日
發(fā)明者崎山和之, 淺井健吾, 礒部敦, 松本邦夫, 藤原伸一 申請人:日立視聽媒介電子股份有限公司