1.新型直線電機(jī)運(yùn)動(dòng)模組，其特征在于，包括底板(8)、凸臺(tái)(5)、側(cè)板(6)、直線電機(jī)、載物板(1)、導(dǎo)軌(4)、防撞構(gòu)件(22)、散熱板(7)、冷媒流體存儲(chǔ)豎罐(13)、微型泵(11)、半導(dǎo)體制冷器(12)、光柵尺(19)和讀數(shù)模組(20)，所述凸臺(tái)(5)上臺(tái)面設(shè)置有導(dǎo)軌安裝槽，所述直線電機(jī)包括定子(3)和動(dòng)子(2)；所述載物板(1)設(shè)在所述導(dǎo)軌(4)與所述動(dòng)子(2)的上方且所述載物板(1)的下板面與所述動(dòng)子(2)連接，所述導(dǎo)軌(4)設(shè)在所述導(dǎo)軌安裝槽內(nèi)且所述動(dòng)子(2)可沿所述導(dǎo)軌(4)自由移動(dòng)，所述凸臺(tái)(5)設(shè)在所述底板(8)的上方且與所述底板(8)固定連接，所述定子(3)設(shè)在所述底板(8)上板面上且位于所述凸臺(tái)(5)的一側(cè)；所述載物板(1)的兩端分別設(shè)有所述防撞構(gòu)件(22)，所述底板(8)的兩端分別設(shè)有所述側(cè)板(6)且所述側(cè)板(6)與所述凸臺(tái)(5)固定連接；所述光柵尺(19)與所述定子(3)可拆卸連接，所述讀數(shù)模組(20)安裝在所述載物板(1)上，所述讀數(shù)模組(20)包括讀數(shù)頭和讀數(shù)頭轉(zhuǎn)接板；所述載物板(1)的上板面安裝有加工檢測(cè)裝置(21)；所述定子(3)與所述底板(8)之間設(shè)有所述散熱板(7)，所述散熱板(7)的高溫冷媒流體流出端與所述冷媒流體存儲(chǔ)豎罐(13)的高溫冷媒流體流入端流體導(dǎo)通連接，所述冷媒流體存儲(chǔ)豎罐(13)的低溫冷媒流體流出端與所述微型泵(11)的低溫冷媒流體流入端流體導(dǎo)通連接，所述微型泵(11)的低溫冷媒流體流出端與所述散熱板(7)的低溫冷媒流體流入端流體導(dǎo)通連接；所述半導(dǎo)體制冷器(12)的制冷端設(shè)在所述冷媒流體存儲(chǔ)豎罐(13)的空腔內(nèi)；所述冷媒流體存儲(chǔ)豎罐(13)的低溫冷媒流出端設(shè)在所述冷媒流體存儲(chǔ)豎罐(13)的上端罐壁上，所述冷媒流體存儲(chǔ)豎罐(13)的高溫冷媒流體流入端設(shè)在所述冷媒流體存儲(chǔ)豎罐(13)的底部罐壁上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的新型直線電機(jī)運(yùn)動(dòng)模組，其特征在于，所述微型泵(11)與所述冷媒流體存儲(chǔ)豎罐(13)分別安裝在所述底板(8)上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的新型直線電機(jī)運(yùn)動(dòng)模組，其特征在于，所述半導(dǎo)體制冷器(12)的制冷端設(shè)在所述冷媒流體存儲(chǔ)豎罐(13)罐下端罐內(nèi)，所述半導(dǎo)體制冷器(12)的制熱端設(shè)在所述冷媒流體存儲(chǔ)豎罐(13)的罐壁上且與所述冷媒流體存儲(chǔ)豎罐(13)的罐壁之間設(shè)有隔熱材料層(14)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的新型直線電機(jī)運(yùn)動(dòng)模組，其特征在于，所述散熱板(7)的低溫冷媒流體輸入端設(shè)有分流板(9)，所述散熱板(7)的高溫冷媒流體輸出端設(shè)有集流板(10)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一所述的新型直線電機(jī)運(yùn)動(dòng)模組，其特征在于，所述散熱板(7)包括上散熱板(15)和下散熱板(16)，所述上散熱板(15)的下板面和/或所述下散熱板(16)的上板面上設(shè)有冷媒流體流通槽(18)，所述冷媒流體流通槽(18)的內(nèi)壁上設(shè)有擾流凸起(23)；所述上散熱板(15)和所述下散熱板(16)密封連接且所述上散熱板(15)的下板面、所述下散熱板(16)的上板面與所述冷媒流體流通槽(18)圍成冷媒流體換熱管(17)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的新型直線電機(jī)運(yùn)動(dòng)模組，其特征在于，所述冷媒流體流通槽(18)為網(wǎng)狀流通槽。