專利名稱：機(jī)械手制動系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種制動系統(tǒng)，尤指一種機(jī)械手制動系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有的真空直驅(qū)機(jī)械手，在運(yùn)行的過程中，如果切斷機(jī)械手驅(qū)動系統(tǒng)的動力電，機(jī)械手將處于自由活動狀態(tài)，阻尼很小。也就是說，當(dāng)機(jī)械手在運(yùn)行過程中，驅(qū)動系統(tǒng)的動力電被切斷，或者驅(qū)動系統(tǒng)被拍急停時，由于現(xiàn)有的機(jī)械手沒有制動電路，機(jī)械手將在慣性的作用下繼續(xù)運(yùn)行，其停止過程是不受控的，這在晶圓加工腔室中是不允許的，且由于機(jī)械手驅(qū)動系統(tǒng)的固有阻尼小，這個不可控的停止過程將會損壞晶圓或者其他加工設(shè)備。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于以上內(nèi)容，有必要提供一種機(jī)械手制動系統(tǒng)?！N機(jī)械手制動系統(tǒng),所述機(jī)械手制動系統(tǒng)包括一動力電輸入端、一控制電輸入端及一接地端，所述機(jī)械手制動系統(tǒng)還包括一與所述動力電輸入端相連的動力電控制單元、一與所述動力電控制單元、所述控制電輸入端及所述接地端相連的繼電單元、一與所述動力電控制單元、所述控制電輸入端、所述接地端及所述繼電單元相連的驅(qū)動控制單元及一連接于所述繼電單元與所述驅(qū)動控制單元之間的電動機(jī)，所述繼電單元與所述驅(qū)動控制單元形成一反饋回路，所述驅(qū)動控制單元通過所述動力電控制單元切斷所述動力電輸入端輸入的動力電，所述繼電單元將所述電動機(jī)由工作狀態(tài)切換至制動狀態(tài)，并將一指示所述電動機(jī)由工作狀態(tài)至制動狀態(tài)是否切換成功的反饋信號傳送至所述驅(qū)動控制單元，所述驅(qū)動控制單元根據(jù)所述反饋信號控制所述電動機(jī)的轉(zhuǎn)動。相對現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明在機(jī)械手中增加了制動系統(tǒng)，使得機(jī)械手的制動過程可控，增加了機(jī)械手?jǐn)嚯姾蟮淖枘?，達(dá)到快速制動的效果，從而解決了機(jī)械手?jǐn)嚯姾笞杂娠w輪的問題，并且在機(jī)械手制動系統(tǒng)中增加了反饋回路，提高了機(jī)械手制動系統(tǒng)制動過程的安全性。


圖1為本發(fā)明機(jī)械手制動系統(tǒng)較佳實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本發(fā)明機(jī)械手制動系統(tǒng)較佳實(shí)施方式的電路圖。主要元件符號說明
動力電輸入端10
驅(qū)動控制單元20
驅(qū)動器2權(quán)利要求
1.一種機(jī)械手制動系統(tǒng),所述機(jī)械手制動系統(tǒng)包括一動力電輸入端、一控制電輸入端及一接地端，其特征在于:所述機(jī)械手制動系統(tǒng)還包括一與所述動力電輸入端相連的動力電控制單元、一與所述動力電控制單元、所述控制電輸入端及所述接地端相連的繼電單元、一與所述動力電控制單元、所述控制電輸入端、所述接地端及所述繼電單元相連的驅(qū)動控制單元及一連接于所述繼電單元與所述驅(qū)動控制單元之間的電動機(jī)，所述繼電單元與所述驅(qū)動控制單元形成一反饋回路，所述驅(qū)動控制單元通過所述動力電控制單元切斷所述動力電輸入端輸入的動力電時，所述繼電單元將所述電動機(jī)由工作狀態(tài)切換至制動狀態(tài)，并將一指示所述電動機(jī)由工作狀態(tài)至制動狀態(tài)是否切換成功的反饋信號傳送至所述驅(qū)動控制單元，所述驅(qū)動控制單元根據(jù)所述反饋信號控制所述電動機(jī)的轉(zhuǎn)動。
2.如權(quán)利要求1所述 的機(jī)械手制動系統(tǒng)，其特征在于:所述動力電控制單元包括一與所述動力電輸入端相連用于控制所述動力電輸入端通斷的接觸器及一與所述接觸器相連用于控制所述動力電輸入端輸入的動力電方向的整流二極管，所述整流二極管設(shè)于所述繼電單元與所述驅(qū)動控制單元之間。
3.如權(quán)利要求2所述的機(jī)械手制動系統(tǒng)，其特征在于:所述動力電控制單元還包括一與所述整流二極管相連的電容，所述電容在所述動力電輸入端輸入的動力電被切斷至所述繼電單元開始工作時為所述電動機(jī)與所述驅(qū)動控制單元提供續(xù)流通道。
4.如權(quán)利要求3所述的機(jī)械手制動系統(tǒng)，其特征在于:所述動力電輸入端與所述接觸器的輸入端相連，所述接觸器的輸出端與所述整流二極管的輸入端相連，所述整流二極管的輸出端與所述電容的一端及所述驅(qū)動控制單元相連，所述接觸器的控制端與所述驅(qū)動控制單元相連，所述電容的另一端與所述接地端及所述驅(qū)動控制單元相連。
5.如權(quán)利要求1所述的機(jī)械手制動系統(tǒng)，其特征在于:所述繼電單元包括一第一繼電器、一第二繼電器、一與所述第一繼電器相連的第一限流電阻、一與所述第一繼電器相連的第一壓敏電阻、一與所述第二繼電器相連的第二限流電阻及一與所述第二繼電器相連的第二壓敏電阻。
6.如權(quán)利要求5所述的機(jī)械手制動系統(tǒng)，其特征在于:所述第一繼電器與所述第二繼電器為相同型號的繼電器，每一繼電器均具有8個引腳，引腳I與引腳8為繼電器的輸入端，引腳5、引腳6與引腳7形成一組用于控制所述電動機(jī)在工作狀態(tài)與制動狀態(tài)之間切換的觸點(diǎn)，引腳2、引腳3與引腳4形成另一組用于傳送一指示所述電動機(jī)工作狀態(tài)與制動狀態(tài)的切換是否成功的反饋信號至所述驅(qū)動控制單元的觸點(diǎn)。
7.如權(quán)利要求5所述的機(jī)械手制動系統(tǒng)，其特征在于:所述第一壓敏電阻與所述第二壓敏電阻分別用來保護(hù)所述第一繼電器與所述第二繼電器，所述動力電控制單元分別與所述第一繼電器的一輸入端、所述第一壓敏電阻的一端、所述第二繼電器的一輸入端及所述第二壓敏電阻的一端相連。
8.如權(quán)利要求7所述的機(jī)械手制動系統(tǒng)，其特征在于:所述控制電輸入端分別與所述驅(qū)動控制單元、所述第一限流電阻的一端及所述第二限流電阻的一端相連，所述接地端分別與所述第一繼電器的另一輸入端、所述第一壓敏電阻的另一端、所述第二繼電器的另一輸入端、所述第二壓敏電阻的另一端及所述驅(qū)動控制單元相連。
9.如權(quán)利要求8所述的機(jī)械手制動系統(tǒng)，其特征在于:所述第一限流電阻的另一端與所述第一繼電器相連，所述第二限流電阻的另一端與所述第二繼電器相連。
10.如權(quán)利要求6所述的機(jī)械手制動系統(tǒng)，其特征在于:所述第一繼電器的引腳6與所述發(fā)動機(jī)的三相線圈的第一端及所述驅(qū)動控制單元相連，所述第一繼電器的引腳7、所述第二繼電器的引腳6及所述發(fā)動機(jī)的三相 線圈的第二端共同連接所述驅(qū)動控制單元，所述第二繼電器的引腳7與所述發(fā)動機(jī)的三相線圈的第三端及所述驅(qū)動控制單元相連。
全文摘要
一種機(jī)械手制動系統(tǒng)，所述機(jī)械手制動系統(tǒng)包括一動力電輸入端、一控制電輸入端、一接地端、一與動力電輸入端相連的動力電控制單元、一與動力電控制單元、控制電輸入端及接地端相連的繼電單元、一與動力電控制單元、控制電輸入端、接地端及繼電單元相連的驅(qū)動控制單元及一連接于繼電單元與驅(qū)動控制單元之間的電動機(jī)，繼電單元與驅(qū)動控制單元形成一反饋回路，驅(qū)動控制單元通過動力電控制單元切斷動力電輸入端輸入的動力電，繼電單元將電動機(jī)由工作狀態(tài)切換至制動狀態(tài)，并將一指示電動機(jī)由工作狀態(tài)至制動狀態(tài)是否切換成功的反饋信號傳送至驅(qū)動控制單元，驅(qū)動控制單元根據(jù)反饋信號控制電動機(jī)的轉(zhuǎn)動。本發(fā)明使得機(jī)械手的制動過程可控。
文檔編號H02P25/16GK103199792SQ20121000210
公開日2013年7月10日 申請日期2012年1月5日 優(yōu)先權(quán)日2012年1月5日
發(fā)明者徐方, 曲道奎, 楊奇峰, 褚明杰, 李偉健, 劉世昌, 沈德峰, 於曉龍 申請人:沈陽新松機(jī)器人自動化股份有限公司