專利名稱：電動(dòng)機(jī)控制裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及例如，半導(dǎo)體制造裝置、機(jī)器人、工作機(jī)械、運(yùn)送機(jī)械等機(jī)械裝置中使用的電動(dòng)機(jī)控制裝置。
背景技術(shù)：
以往，半導(dǎo)體制造裝置、機(jī)器人、工作機(jī)械等FA系統(tǒng)裝置中要求高精度的定位，所以一般，經(jīng)常利用伺服電動(dòng)機(jī)和伺服放大器(電動(dòng)機(jī)控制裝置)。
在該伺服電動(dòng)機(jī)中，用于檢測(cè)電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)信息的編碼器或解析器(resolver)被連接到轉(zhuǎn)子上，每轉(zhuǎn)動(dòng)一周具有大于或等于10000的分辨率。伺服放大器根據(jù)來自例如序列發(fā)生器等上一級(jí)控制器的指令驅(qū)動(dòng)伺服電動(dòng)機(jī)。此時(shí)，該伺服放大器進(jìn)行控制伺服電動(dòng)機(jī)的動(dòng)作，以使來自上一級(jí)控制器的指令和從編碼器或解析器反饋的位置信息一致。
來自上一級(jí)控制器的指令一般為脈沖的指令，以超過500kpps，或最近由于裝置的高速化以超過1Mpps的脈沖驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)的情況增加。這樣，推進(jìn)裝置的高速化，另一方面，F(xiàn)A系統(tǒng)裝置中，機(jī)器剛性由于小型化和低成本化而下降，從而在控制區(qū)域內(nèi)存在諧振頻率，這成為阻礙裝置的高速化的原因。
作為該改善措施，有響應(yīng)性降低但增益減小的方法。通過減小增益可以減小諧振的峰值，但由于頻率響應(yīng)降低，所以有機(jī)器生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間增長(zhǎng)的缺點(diǎn)。而且，作為抑制振動(dòng)而不使頻率響應(yīng)下降的方法，有在轉(zhuǎn)矩指令中插入陷波濾波器(notch filter)的方法。
陷波濾波器具有例如圖6所示的頻率特性，通過使陷波濾波器的增益衰減的頻率和上述諧振頻率一致，可以抑制諧振的峰值。該相關(guān)技術(shù)被公開在例如日本專利申請(qǐng)?zhí)亻_平1-230109號(hào)公報(bào)中。
但是，在機(jī)器手臂等多關(guān)節(jié)機(jī)器人中具有兩個(gè)慣性系的特性，具有圖7所示的頻率特性。因此，在負(fù)載側(cè)振動(dòng)由于反諧振頻率中的增益峰值的影響而增大，在所述陷波濾波器中難以抑制該振動(dòng)。
因此，近年來，作為從位置指令中積極去除振動(dòng)分量的方法，有通過減振控制而抑制振動(dòng)的方法。這是通過將與陷波濾波器相同的頻率特性的減振濾波器附加到位置命令中，而抑制反諧振頻率產(chǎn)生的增益峰值的方法。該相關(guān)技術(shù)被公開在例如日本專利申請(qǐng)?zhí)亻_平10-56790號(hào)公報(bào)中。
但是，反諧振頻率由于機(jī)器手臂的伸縮，或運(yùn)送機(jī)器中物品的裝載、未裝載而變化，所以即使設(shè)定控制頻率，一邊降低振動(dòng)，但另一邊產(chǎn)生振動(dòng)，從而穩(wěn)定時(shí)間變長(zhǎng)。其結(jié)果，有總的機(jī)器生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間縮短的效果減小的課題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的電動(dòng)機(jī)控制裝置具備減振濾波器，用于根據(jù)從指令輸出裝置輸入的指令生成除去振動(dòng)分量的指令信號(hào)；控制器，用于使電動(dòng)機(jī)與來自減振濾波器的指令信號(hào)隨動(dòng)；以及功率轉(zhuǎn)換器，用于接受來自控制器的指令并驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)，減振濾波器具備第一減振濾波器和第二減振濾波器，上述電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)裝置還具備用于根據(jù)電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)方向信號(hào)，切換第一減振濾波器和第二減振濾波器的濾波器切換器。
在上述電動(dòng)機(jī)控制裝置中，轉(zhuǎn)動(dòng)方向信號(hào)是用于根據(jù)指令輸出裝置的指令而檢測(cè)使電動(dòng)機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)的方向的指令方向檢測(cè)器的檢測(cè)信號(hào)，或者用于檢測(cè)電動(dòng)機(jī)實(shí)際轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)動(dòng)方向的轉(zhuǎn)動(dòng)方向檢測(cè)器的檢測(cè)信號(hào)。
根據(jù)該結(jié)構(gòu)，本發(fā)明的電動(dòng)機(jī)的控制裝置探測(cè)由于機(jī)器手臂的伸縮，或運(yùn)送機(jī)器中物品的裝載、未裝載而產(chǎn)生的反諧振頻率的變化，從而自動(dòng)變更控制頻率。因此，即使對(duì)于剛性低的機(jī)器也可以控制振動(dòng)，并可以縮短穩(wěn)定時(shí)間。


圖1是包含本發(fā)明的實(shí)施例1中的電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)裝置的電動(dòng)機(jī)控制系統(tǒng)方框圖。
圖2是圖1所示的電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)裝置的動(dòng)作順序圖。
圖3是包含本發(fā)明的實(shí)施例2中的電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)裝置的電動(dòng)機(jī)控制系統(tǒng)方框圖。
圖4是圖3所示的電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)裝置的動(dòng)作順序圖。
圖5是使用了本發(fā)明中的電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)裝置的本發(fā)明中的機(jī)械裝置的概略圖。
圖6是表示陷波濾波器的頻率特性的曲線圖。
圖7是表示兩個(gè)慣性系系統(tǒng)的頻率特性的曲線圖。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明的電動(dòng)機(jī)控制裝置具備減振濾波器，用于根據(jù)從指令輸出裝置輸入的指令生成除去振動(dòng)分量的指令信號(hào)；控制器，用于使電動(dòng)機(jī)與來自減振濾波器的指令信號(hào)隨動(dòng)；以及功率轉(zhuǎn)換器，用于接受來自控制器的指令并驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)，減振濾波器具備第一減振濾波器和第二減振濾波器，上述電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)裝置還具備用于根據(jù)電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)方向信號(hào)，切換第一減振濾波器和第二減振濾波器的濾波器切換器。
在上述電動(dòng)機(jī)控制裝置中，轉(zhuǎn)動(dòng)方向信號(hào)是用于根據(jù)指令輸出裝置的指令而檢測(cè)使電動(dòng)機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)的方向的指令方向檢測(cè)器的檢測(cè)信號(hào)，或者用于檢測(cè)電動(dòng)機(jī)實(shí)際轉(zhuǎn)動(dòng)的方向的轉(zhuǎn)動(dòng)方向檢測(cè)器的檢測(cè)信號(hào)。
參照

本發(fā)明的電動(dòng)機(jī)控制裝置。
(實(shí)施例1)圖1是包含本發(fā)明的實(shí)施例1中的電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)裝置的電動(dòng)機(jī)控制系統(tǒng)方框圖，圖2是圖1所示的電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)裝置的動(dòng)作順序圖。
在圖1中，指令輸出裝置1輸出對(duì)于作為控制對(duì)象的電動(dòng)機(jī)7的位置指令。電動(dòng)機(jī)控制裝置2包含減振濾波器3，用于生成由從指令輸出裝置1輸入的位置指令除去振動(dòng)分量的指令信號(hào)；控制器5，用于使電動(dòng)機(jī)與來自減振濾波器3的指令信號(hào)隨動(dòng)；以及功率轉(zhuǎn)換器6，用于接受來自控制器5的指令并驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)7。這里，減振濾波器3具備第一減振濾波器3a和第二減振濾波器3b。電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)裝置2還具備用于根據(jù)電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)方向信號(hào)，切換第一減振濾波器3a和第二減振濾波器3b的濾波器切換器9。
電動(dòng)機(jī)控制裝置2還具備用于根據(jù)指令輸出裝置1的指令使檢測(cè)電動(dòng)機(jī)7轉(zhuǎn)動(dòng)的方向的指令方向檢測(cè)器4。在本實(shí)施例中，上述轉(zhuǎn)動(dòng)方向信號(hào)為指令方向檢測(cè)器4的檢測(cè)信號(hào)22a。電動(dòng)機(jī)1上連接編碼器8。而且，電動(dòng)機(jī)1上連接機(jī)器手臂等具有兩個(gè)慣性系的特性的負(fù)載10。
接著，更詳細(xì)說明圖1所示的電動(dòng)機(jī)控制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)。
指令輸出裝置1表示連接到序列發(fā)生器等電動(dòng)機(jī)控制裝置2上的上一級(jí)控制器，一般輸出PULS和SIGN兩個(gè)信號(hào)。指令輸出方法通常使用下面三種方法。
第一種是提供PULS和SIGN具有90度相位差的脈沖的方法。第二種是在CCW(逆時(shí)針旋轉(zhuǎn))方向旋轉(zhuǎn)電動(dòng)機(jī)時(shí)對(duì)PULS側(cè)提供脈沖，在CW方向(順時(shí)針旋轉(zhuǎn))旋轉(zhuǎn)時(shí)對(duì)SIGN側(cè)提供脈沖的方法。第三種方法是對(duì)PULS提供脈沖，并以SIGN的碼切換CCW和CW的方法。
這里，提供的脈沖數(shù)為使電動(dòng)機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)的量?？紤]編碼器的每轉(zhuǎn)動(dòng)一周的分辨率，和由軟件分頻加倍處理該編碼器的輸出信號(hào)，根據(jù)來自指令輸出裝置的指令1脈沖決定使電動(dòng)機(jī)動(dòng)多少量。表示圖2所示的脈沖指令21在對(duì)PULS提供脈沖時(shí)成為CCW方向的指令，在對(duì)SIGN提供脈沖時(shí)為CW方向的指令的情況的例子。
電動(dòng)機(jī)控制裝置2根據(jù)來自指令輸出裝置1的指令驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)7。此時(shí)，反饋信號(hào)被從電動(dòng)機(jī)7上連接的編碼器8輸入電動(dòng)機(jī)控制裝置2。指令輸出裝置1的指令經(jīng)由減振濾波器3以及濾波器切換器9被作為指令信號(hào)輸入控制器5。上述反饋信號(hào)也還被輸入該控制器5。而且，控制器5經(jīng)由功率轉(zhuǎn)換器6控制電動(dòng)機(jī)7，以使指令信號(hào)和反饋信號(hào)一致。
編碼器8進(jìn)行對(duì)電動(dòng)機(jī)控制裝置2反饋電動(dòng)機(jī)7的轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)動(dòng)位置、轉(zhuǎn)動(dòng)速度等信息的工作。例如，將對(duì)于指令脈沖的電動(dòng)機(jī)控制裝置2的分辨率和從編碼器8輸出的脈沖的分辨率設(shè)為相同。由此，將發(fā)動(dòng)機(jī)1每轉(zhuǎn)動(dòng)一周的分辨率設(shè)為10000時(shí)，通過從指令輸出裝置1對(duì)電動(dòng)機(jī)控制裝置2輸入10000脈沖的指令脈沖，驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)7轉(zhuǎn)動(dòng)一周。
兩個(gè)慣性系負(fù)載10例如為機(jī)械手臂等負(fù)載，如圖7所示，在諧振點(diǎn)和反諧振點(diǎn)兩點(diǎn)有頻率特性的峰值點(diǎn)。負(fù)載側(cè)通過電動(dòng)機(jī)側(cè)的反諧振頻率的峰值被引起振動(dòng)。
接著，詳細(xì)說明電動(dòng)機(jī)控制裝置2。
電動(dòng)機(jī)控制裝置2由減振濾波器3、濾波器切換器9、控制器5、功率轉(zhuǎn)換器6以及指令方向檢測(cè)器4構(gòu)成。
控制器5一般進(jìn)行位置控制和速度控制的兩個(gè)控制。位置控制多由P控制(比例控制)構(gòu)成，速度控制多由PI控制(比例/積分控制)構(gòu)成。控制器5中的位置控制中，將對(duì)位置指令和轉(zhuǎn)子位置的差附加位置比例增益的指令作為速度指令輸出，該位置指令由從指令輸出裝置1提供的脈沖數(shù)指示，該轉(zhuǎn)子位置由來自編碼器8的反饋信號(hào)得到。在控制器5中的速度控制中，進(jìn)行PI控制，以使從上述位置控制輸出的速度指令和可從來自編碼器的反饋信號(hào)檢測(cè)的轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)動(dòng)速度相等。而且，控制器5對(duì)功率轉(zhuǎn)換器6輸出轉(zhuǎn)矩指令值。
功率轉(zhuǎn)換器6由絕緣柵型雙極晶體管(IGBT)或MOS型場(chǎng)效應(yīng)晶體管(MOSFET)等構(gòu)成。功率轉(zhuǎn)換器6從控制器5輸出指令值，根據(jù)該轉(zhuǎn)矩指令值對(duì)電動(dòng)機(jī)7的線圈施加電壓。三相電動(dòng)機(jī)的情況下，功率轉(zhuǎn)換器6多由六個(gè)IGBT構(gòu)成。
與陷波濾波器同樣如圖6所示，減振濾波器3為具有在某一頻率帶(減振頻率)增益下降的頻率特性的濾波器，為可設(shè)定第一減振濾波器3a和第二減振濾波器3b兩個(gè)濾波器的結(jié)構(gòu)。減振濾波器3輸入從指令輸出裝置1指示的脈沖指令21，經(jīng)由第一減振濾波器3a對(duì)濾波器切換器9輸出第一脈沖指令23a，經(jīng)由第二減振濾波器3b對(duì)濾波器切換器9輸出第二脈沖指令23b。
指令方向檢測(cè)器4檢測(cè)來自指令輸出裝置1的脈沖指令21在CCW方向還是CW方向驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)7的指令，對(duì)濾波器切換器9輸出指令方向的信號(hào)22a。該指令方向的信號(hào)22a為電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)方向信號(hào)。
這里，濾波器切換器9根據(jù)作為電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)方向的信號(hào)的指令方向的信號(hào)22a進(jìn)行切換脈沖指令的工作。即，濾波器切換器9在CCW方向的指令時(shí)選擇第一脈沖指令23a，在CW方向的指令時(shí)選擇第二脈沖指令23b，并對(duì)控制器提供指令信號(hào)。圖2表示通過指令方向的信號(hào)22a從CCW變化到CW變化，將在減振濾波器3中采用的濾波器從第一減振濾波器3a切換到第二減振濾波器3b的狀態(tài)。通過減振濾波器3的脈沖指令分別除去由第一減振濾波器3a或第二減振濾波器3b設(shè)定的頻率分量。通過使使用本實(shí)施方式電動(dòng)機(jī)控制裝置的機(jī)械裝置的反諧振頻率和上述減振濾波器的設(shè)定頻率一致，可以降低振動(dòng)。
按照以上的結(jié)構(gòu)，可以與機(jī)械裝置的反諧振頻率的變化自動(dòng)對(duì)應(yīng)。例如，在輸送物品的機(jī)器人中，多進(jìn)行在搭載物品的情況下為CCW方向，在沒有搭載物品的情況下為CW方向那樣決定的動(dòng)作。該情況下，通過構(gòu)成根據(jù)指令方向自動(dòng)切換振動(dòng)濾波器的結(jié)構(gòu)，可以降低振動(dòng)。
而且，在本實(shí)施例中，設(shè)定兩個(gè)減振濾波器，但也可以設(shè)定大于或等于三個(gè)。此時(shí)，通過組合來自外部的切換信號(hào)和指令方向信號(hào)22a，可以指定選擇哪一個(gè)減振濾波器。
(實(shí)施例2)圖3是包含本發(fā)明的實(shí)施例2中的電動(dòng)機(jī)控制裝置的電動(dòng)機(jī)控制系統(tǒng)方框圖，圖4是圖3所示的電動(dòng)機(jī)控制裝置的動(dòng)作順序圖。
在本實(shí)施方式2中，對(duì)與圖1所示的實(shí)施例1中的結(jié)構(gòu)相同的結(jié)構(gòu)賦予相同的符號(hào)，省略其詳細(xì)的說明。
本實(shí)施例2與實(shí)施例1不同之處在于減振濾波器3中的第一減振濾波器3a和第二減振濾波器3b的切換方法，就此進(jìn)行詳細(xì)說明。
電動(dòng)機(jī)控制裝置2根據(jù)來自指令輸出裝置1的指令驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)7。此時(shí)，反饋信號(hào)被從電動(dòng)機(jī)7上連接的編碼器8輸入電動(dòng)機(jī)控制裝置2。指令輸出裝置1的指令經(jīng)由減振濾波器3以及濾波器切換器9被作為指令信號(hào)輸入控制器5。上述反饋信號(hào)也還被輸入該控制器5。而且，控制器5經(jīng)由功率轉(zhuǎn)換器6控制電動(dòng)機(jī)7，以使指令信號(hào)和反饋信號(hào)一致。
從編碼器8輸出的信號(hào)也被輸入電動(dòng)機(jī)控制裝置2中包含的轉(zhuǎn)動(dòng)方向檢測(cè)器11。從轉(zhuǎn)動(dòng)方向檢測(cè)器11輸出的檢測(cè)信號(hào)22b被輸入濾波器切換器9。檢測(cè)信號(hào)22b表示電動(dòng)機(jī)7實(shí)際轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)動(dòng)方向。該檢測(cè)信號(hào)22b為電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)方向信號(hào)。
根據(jù)來自編碼器8的信號(hào)，由轉(zhuǎn)動(dòng)方向檢測(cè)器11檢測(cè)電動(dòng)機(jī)7的轉(zhuǎn)動(dòng)方向。根據(jù)該檢測(cè)信號(hào)(電動(dòng)機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)方向)22b，通過SW1切換第一脈沖指令23a或第二脈沖指令23b。
這里，濾波器切換器9根據(jù)作為電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)方向信號(hào)的信號(hào)22b進(jìn)行切換脈沖指令的工作。即，濾波器切換器9在CCW方向的指令時(shí)選擇第一脈沖指令23a，在CW方向的指令時(shí)選擇第二脈沖指令23b，并對(duì)控制器提供指令信號(hào)。圖4表示通過電動(dòng)機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)方向信號(hào)22b從CCW變化到CW，將在減振濾波器3中采用的濾波器從第一減振濾波器3a切換到第二減振濾波器3b的狀態(tài)。通過減振濾波器3的脈沖指令分別除去由第一減振濾波器3a或第二減振濾波器3b設(shè)定的頻率分量。通過使使用本實(shí)施方式電動(dòng)機(jī)控制裝置的機(jī)械裝置的反諧振頻率和上述減振濾波器的設(shè)定頻率一致，可以降低振動(dòng)。
按照以上的結(jié)構(gòu)，可以與機(jī)械裝置的反諧振頻率的變化自動(dòng)對(duì)應(yīng)。例如，在輸送物品的機(jī)器人中，多進(jìn)行在搭載物品的情況下為CCW方向，在沒有搭載物品的情況下為CW方向那樣決定的動(dòng)作。該情況下，通過構(gòu)成根據(jù)電動(dòng)機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)方向自動(dòng)切換振動(dòng)濾波器的結(jié)構(gòu)，可以降低振動(dòng)。
而且，可以設(shè)定兩個(gè)減振濾波器，但也可以設(shè)定大于或等于三個(gè)。此時(shí)，通過組合來自外部的切換信號(hào)和電動(dòng)機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)方向信號(hào)22a，可以指定選擇哪一個(gè)減振濾波器。
根據(jù)本發(fā)明的電動(dòng)機(jī)控制裝置，探測(cè)由于機(jī)器人的手臂的伸縮，或運(yùn)送機(jī)器中物品的搭載、未搭載而產(chǎn)生的反諧振頻率的變化，由于自動(dòng)變更減振頻率，從而即使對(duì)于剛性低的機(jī)器也可以抑制振動(dòng)，在想縮短穩(wěn)定時(shí)間的情況等有用。
圖5是使用了本發(fā)明的電動(dòng)機(jī)控制裝置的本發(fā)明的機(jī)械裝置的概略圖。在圖5中，機(jī)械裝置50裝載指令輸出裝置51、電動(dòng)機(jī)控制裝置52、電動(dòng)機(jī)57。電動(dòng)機(jī)控制裝置52從指令輸出裝置51輸出指令，并對(duì)電動(dòng)機(jī)57輸出驅(qū)動(dòng)信號(hào)。電動(dòng)機(jī)57上連接編碼器58。編碼器58的輸出信號(hào)被反饋到電動(dòng)機(jī)控制裝置52上。電動(dòng)機(jī)57上連接負(fù)載60。通過在電動(dòng)機(jī)控制裝置52中使用上述實(shí)施例中說明的裝置，作為機(jī)械裝置50可以得到上述實(shí)施例中說明的優(yōu)點(diǎn)。
作為本發(fā)明中的機(jī)械裝置，可以應(yīng)用于半導(dǎo)體制造裝置、機(jī)器人、工作機(jī)械或者運(yùn)送機(jī)械等中。在這些半導(dǎo)體制造裝置、機(jī)器人、工作機(jī)械、運(yùn)送機(jī)械中，在移動(dòng)對(duì)象物品時(shí)，多進(jìn)行決定為搭載對(duì)象物品的情況下為CCW方向，沒有搭載的情況下為CW方向的動(dòng)作。在這樣的情況下，通過構(gòu)成根據(jù)電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)方向信號(hào)自動(dòng)切換減振濾波器的結(jié)構(gòu)，可以降低振動(dòng)。
權(quán)利要求
1.一種電動(dòng)機(jī)控制裝置，包含減振濾波器，用于根據(jù)指令輸出裝置輸入的指令生成除去振動(dòng)分量的指令信號(hào)；控制器，用于使電動(dòng)機(jī)與來自所述減振濾波器的指令信號(hào)隨動(dòng)；以及功率轉(zhuǎn)換器，用于接受來自所述控制器的指令并驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)，其特征在于所述減振濾波器具備第一減振濾波器和第二減振濾波器，所述電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)裝置還具備用于根據(jù)所述電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)方向信號(hào)，切換所述第一減振濾波器和所述第二減振濾波器的濾波器切換器。
2.如權(quán)利要求1所述的電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)裝置，其中，所述轉(zhuǎn)動(dòng)方向信號(hào)是用于根據(jù)所述指令輸出裝置的指令檢測(cè)使所述電動(dòng)機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)的方向的指令方向檢測(cè)器的檢測(cè)信號(hào)。
3.如權(quán)利要求1所述的電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)裝置，其中，所述轉(zhuǎn)動(dòng)方向信號(hào)是用于檢測(cè)所述電動(dòng)機(jī)實(shí)際轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)動(dòng)方向的轉(zhuǎn)動(dòng)方向檢測(cè)器的檢測(cè)信號(hào)。
4.一種機(jī)械裝置，使用了如權(quán)利要求1至權(quán)利要求3的任何一項(xiàng)所述的電動(dòng)機(jī)控制裝置。
5.如權(quán)利要求4所述的機(jī)械裝置，其中，所述機(jī)械裝置為半導(dǎo)體制造裝置。
6.如權(quán)利要求4所述的機(jī)械裝置，其中，所述機(jī)械裝置為機(jī)器人。
7.如權(quán)利要求4所述的機(jī)械裝置，其中，所述機(jī)械裝置為工作機(jī)械。
8.如權(quán)利要求4所述的機(jī)械裝置，其中，所述機(jī)械裝置為運(yùn)送機(jī)。
全文摘要
本發(fā)明提供一種電動(dòng)機(jī)控制裝置(2)，其中包含減振濾波器(3)，用于生成由從指令輸出裝置(1)輸入的指令中除去振動(dòng)分量的指令信號(hào)；控制器(5)，用于使電動(dòng)機(jī)(7)與來自減振濾波器(3)的指令信號(hào)隨動(dòng)；以及功率轉(zhuǎn)換器(6)，用于接受來自控制器(5)的指令并驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)(7)。這里，減振濾波器(3)具備第一減振濾波器(3a)和第二減振濾波器(3b)，電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)裝置(2)還具備用于根據(jù)電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)方向信號(hào)，切換第一減振濾波器(3a)和第二減振濾波器(3b)的濾波器切換器(9)。
文檔編號(hào)H02P5/00GK1625040SQ20041010018
公開日2005年6月8日 申請(qǐng)日期2004年12月3日 優(yōu)先權(quán)日2003年12月4日
發(fā)明者岸部太郎, 塘田哲也, 楢崎和成, 石本憲治, 鈴木健一, 橫內(nèi)保行 申請(qǐng)人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社