一種微納pss制備用軟膜結(jié)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種微納PSS制備用軟膜結(jié)構(gòu)，所述軟膜結(jié)構(gòu)包括一軟膜主體，該軟膜主體呈長方體狀，在軟膜主體的長軸方向的一側(cè)設置有梳齒組； 所述梳齒組由若干并列等距分布的梳齒共同構(gòu)成，在相鄰的兩個梳齒所形成的凹槽的內(nèi)壁上還設置有高反射金屬層，且高反射金屬層覆蓋住相鄰兩個梳齒所形成的凹槽。本實用新型的優(yōu)點在于：本實用新型中的軟膜結(jié)構(gòu)通過在相鄰的梳齒所形成的凹槽的內(nèi)壁增設高反射金屬層，在進行曝光處理時，光在進過軟膜時，部分光會被高反射金屬層所阻擋，即可形成被曝光區(qū)域未曝光區(qū)，無需軟膜與膠深入接觸，提高了軟膜的使用壽命。
【專利說明】
一種微納PSS制備用軟膜結(jié)構(gòu)
技術領域
[0001]本實用新型涉及芯片制造領域，特別涉及一種微納PSS制備用軟膜結(jié)構(gòu)。
【背景技術】
[0002]發(fā)光二極管(LED)是一種電光轉(zhuǎn)換、高效節(jié)能、綠色環(huán)保、壽命長等優(yōu)點，在交通指示、戶內(nèi)外全色顯示、液晶電視背光源等方面有著廣泛的應用，尤其是用LED可以實現(xiàn)半導體固態(tài)照明，其有望成為新一代光源進入千家萬戶，引起人類照明史上的革命，其中藍寶石襯底生長氮化鎵外延的藍光LED芯片上涂敷黃光熒光粉，藍光激發(fā)熒光粉發(fā)出黃光，藍光與黃光混合得到白光，從而用藍光LED得到白光。氮化鎵襯底材料常見有二種，即藍寶石和碳化硅，碳化硅機械加工性能差，價格昂貴以及專利方面的問題使其應用得到限制，因此當前用于氮化鎵外延生長的襯底主要是藍寶石，氮化鎵外延層與藍寶石的晶格失配度相當大，殘余內(nèi)應力較大，所以在藍寶石上生長氮化鎵容易造成大量的缺陷，而這些缺陷大大降低發(fā)光器件發(fā)光效率；同時GaN與空氣間存在較大的折射率的差異，光出射角度較小，很大部分被全反射回到LED芯片內(nèi)部，降低了光的提取效率，增加散熱難度，影響LED器件的可靠性。采用納米級PPS襯底技術可大大降低氮化物材料的位錯的密度，緩和外延生長時產(chǎn)生的殘余內(nèi)應力，提高內(nèi)量子效率，光提取效率大大改善。
[0003]在進行微納PSS制備的過程中，為了提高軟膜的使用壽命，現(xiàn)研究出一種新的微納PSS的制備方法，在進行曝光處理時，軟膜只需與膠微接觸即可實現(xiàn)被曝光區(qū)域未曝光區(qū)，因此針對該工藝的改進，需要研究一種新的軟膜結(jié)構(gòu)。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]本實用新型要解決的技術問題是提供一種微納PSS制備用軟膜結(jié)構(gòu)，能夠?qū)崿F(xiàn)軟膜只需與膠微接觸即可實現(xiàn)被曝光區(qū)域未曝光區(qū)。
[0005]為解決上述技術問題，本實用新型的技術方案為:一種微納PSS制備用軟膜結(jié)構(gòu)，其創(chuàng)新點在于:
[0006]所述軟膜結(jié)構(gòu)包括一軟膜主體，該軟膜主體呈長方體狀，在軟膜主體的長軸方向的一側(cè)設置有梳齒組；
[0007]所述梳齒組由若干并列等距分布的梳齒共同構(gòu)成，在相鄰的兩個梳齒所形成的凹槽的內(nèi)壁上還設置有高反射金屬層，且高反射金屬層覆蓋住相鄰兩個梳齒所形成的凹槽。
[0008]本實用新型的優(yōu)點在于:本實用新型中的軟膜結(jié)構(gòu)通過在相鄰的梳齒所形成的凹槽的內(nèi)壁增設高反射金屬層，在進行曝光處理時，光在經(jīng)過軟膜時，部分光會被高反射金屬層所阻擋，即可形成被曝光區(qū)域未曝光區(qū)，無需軟膜與膠深入接觸，提高了軟膜的使用壽命O
[0009]通過將高反射金屬層覆蓋住相鄰兩個梳齒所形成的凹槽的設計，避免光在到達膠之間從梳齒的側(cè)壁射出的情況，將光完全局限于圖形內(nèi)，有效的提高圖形分辨率。
【附圖說明】
[0010]下面結(jié)合附圖和【具體實施方式】對本實用新型作進一步詳細的說明。
[0011]圖1為本實用新型的微納PSS制備用軟膜結(jié)構(gòu)的示意圖。
[0012]圖2為利用本實用新型的微納PSS制備用軟膜結(jié)構(gòu)曝光后膠的示意圖。
【具體實施方式】
[0013]下面的實施例可以使本專業(yè)的技術人員更全面地理解本實用新型，但并不因此將本實用新型限制在所述的實施例范圍之中。
[0014]如圖1所示的一種微納PSS制備用軟膜結(jié)構(gòu)，包括一軟膜主體1、梳齒組及高反射金屬層3。
[0015]該軟膜主體I呈長方體狀，在軟膜主體I的長軸方向的一側(cè)設置有梳齒組。
[0016]梳齒組由若干并列等距分布的梳齒2共同構(gòu)成，在相鄰的兩個梳齒2所形成的凹槽的內(nèi)壁上還設置有高反射金屬層3，且高反射金屬層3覆蓋住相鄰兩個梳齒2所形成的凹槽。
[0017]工作原理:在進行曝光時，光線路徑如圖1中箭頭所示，光在經(jīng)過軟膜時，經(jīng)過高反射金屬層3的光線會被阻擋，經(jīng)過梳齒2的光線會順利通過到達膠4處，從而經(jīng)過曝光處理后的膠4會形成曝光區(qū)域5與未曝光區(qū)6，如圖2所示。
[0018]另外，當光到達梳齒2處時，即使有部分光線從側(cè)方射出時，也會被高反射金屬層3的光線所阻擋，避免出現(xiàn)光到達膠4之前從圖形側(cè)壁出射的情況。
[0019]本行業(yè)的技術人員應該了解，本實用新型不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是說明本實用新型的原理，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下，本實用新型還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型范圍內(nèi)。本實用新型要求保護范圍由所附的權利要求書及其等效物界定。
【主權項】
1.一種微納PSS制備用軟膜結(jié)構(gòu)，其特征在于: 所述軟膜結(jié)構(gòu)包括一軟膜主體，該軟膜主體呈長方體狀，在軟膜主體的長軸方向的一側(cè)設置有梳齒組； 所述梳齒組由若干并列等距分布的梳齒共同構(gòu)成，在相鄰的兩個梳齒所形成的凹槽的內(nèi)壁上還設置有高反射金屬層，且高反射金屬層覆蓋住相鄰兩個梳齒所形成的凹槽。
【文檔編號】H01L33/46GK205564803SQ201620141889
【公開日】2016年9月7日
【申請日】2016年2月26日
【發(fā)明人】張偉, 孫智江
【申請人】海迪科（南通）光電科技有限公司