半導體機械手傳動裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ]本實用新型涉及一種機械手控制裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]半導體機械手主要適應于集成電路、芯片制造等半導體前段工序。用來搬送晶圓，晶圓尺寸范圍2英寸——12英寸，一般來講是由r軸、t軸和z軸三個軸構(gòu)成。中國專利CN201420872714.7公開了一種機械手工作臺及其機械手傳動裝置，該裝置是半導體行業(yè)目前采用較多的設備之一，雖然該設備在一定程度上完成工作，但是因其以十字滑臺為主，因此體積較大，占用較多的工作空間。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種結(jié)構(gòu)簡單、體積較小，能夠節(jié)省工作空間的半導體機械手傳動裝置。
[0004]本實用新型一種半導體機械手傳動裝置，包括:電機、傳動箱、第一手臂和第二手臂;其中:
[0005]第一手臂的內(nèi)端軸向固定有第一傳動輪，外端軸向固定有第二傳動輪，且第一傳動輪、第二傳動輪通過皮帶傳動;第一傳動輪的固定軸伸出第一手臂形成第一手臂的輸入端，第二傳動輪的固定軸伸出第一手臂形成第一手臂的輸出端；
[0006]第二手臂的內(nèi)端設置有第三傳動輪，外端設置有第四傳動輪，且第三傳動輪、第四傳動輪通過皮帶傳動;第三傳動輪的固定軸伸出第二手臂形成第二手臂的輸入端，第四傳動輪的固定軸伸出第二手臂形成第二手臂的輸出端；
[0007]所述電機的輸出軸與所述傳動箱的輸入端相連;所述傳動箱的輸出端與所述第一手臂的輸入端相連;所述第一手臂的輸出端與所述第二手臂的輸入端相連。
[0008]本實用新型一種半導體機械手傳動裝置，其中所述傳動箱為二級傳動箱。
[0009]本實用新型一種半導體機械手傳動裝置，其中所述傳動箱包括依次間隔設置的第一支撐板、第二支撐板和第三支撐板;其中第一支撐板和第二支撐板之間分別軸向固定有一輪和二輪;于第二支撐板和第三支撐板之間分別軸向固定設置有三輪和四輪;其中一輪和二輪之間通過第一皮帶傳動，一輪伸出第一支撐板形成傳動箱的輸入端;三輪和二輪同軸固定連接;三輪和四輪之間通過第二皮帶傳動，四輪伸出第三支撐板形成傳動箱的輸出端。
[0010]本實用新型一種半導體機械手傳動裝置，其中所述第一手臂、第二手臂頂端分別設置有可拆卸的封裝蓋板。
[0011]本實用新型一種半導體機械手傳動裝置與現(xiàn)有技術(shù)的區(qū)別在于通過第一手臂和第二手臂的相對轉(zhuǎn)動控制機械手在平面內(nèi)的位置移動，相較于現(xiàn)有的十字滑臺結(jié)構(gòu)而言，大大縮減了設備體積，降低了工作空間，且更為輕便靈活。
[0012]下面結(jié)合附圖對本實用新型一種半導體機械手傳動裝置作進一步說明。
【附圖說明】
[0013]圖1為本實用新型一種半導體機械手傳動裝置的正視圖；
[0014]圖2為本實用新型一種半導體機械手傳動裝置的立體視圖；
[0015]圖3為本實用新型一種半導體機械手傳動裝置在右前視角下的立體視圖，該圖拆除了第一手臂、第二手臂的蓋板；
[0016]圖4為本實用新型一種半導體機械手傳動裝置在左后側(cè)視角下的立體視圖，該圖拆除了第一手臂、第二手臂的蓋板。
【具體實施方式】
[0017]如圖1-2所示，本實用新型一種半導體機械手傳動裝置，包括:電機1、傳動箱2、第一手臂3和第二手臂4;其中:
[0018]如圖3所示，第一手臂3的內(nèi)端軸向固定有第一傳動輪31，外端軸向固定有第二傳動輪32，且第一傳動輪31、第二傳動輪32通過皮帶(圖中未示出)傳動;第一傳動輪31的固定軸伸出第一手臂3形成第一手臂3的輸入端，第二傳動輪32的固定軸伸出第一手臂3形成第一手臂3的輸出端；
[0019]如圖4所示，第二手臂4的內(nèi)端設置有第三傳動輪41，外端設置有第四傳動輪42，且第三傳動輪41、第四傳動輪42通過皮帶(圖中未示出)傳動；第三傳動輪41的固定軸伸出第二手臂4形成第二手臂4的輸入端，第四傳動輪42的固定軸伸出第二手臂4形成第二手臂4的輸出端；
[0020]為了組裝和維修的方便，本實用新型中的第一手臂3、第二手臂4的頂端分別設置有可拆卸的封裝蓋板33、43。
[0021 ]電機I的輸出軸與傳動箱2的輸入端相連;傳動箱2的輸出端與第一手臂3的輸入端相連;第一手臂3的輸出端與第二手臂4的輸入端相連；
[0022]進一步，本實用新型所采用的傳動箱2為二級傳動箱，更具體地來講，傳動箱2包括依次間隔設置的第一支撐板21、第二支撐板22和第三支撐板23;其中第一支撐板21和第二支撐板22之間分別軸向固定有一輪24和二輪25;于第二支撐板22和第三支撐板23之間分別軸向固定設置有三輪26和四輪27;其中一輪24和二輪25之間通過皮帶(圖中未示出)傳動，一輪24的固定軸伸出第一支撐板21形成傳動箱的輸入端;三輪26和二輪25同軸固定連接；三輪26和四輪27之間通過皮帶(圖中未示出)傳動，四輪27的固定軸伸出第三支撐板23形成傳動箱2的輸出端。
[0023]使用本實用新型對半導體機械手進行控制的過程如下:
[0024]首先將半導體機械手(圖中未示出)安裝于第二手臂4的輸出端處；
[0025]然后啟動電機I，相繼驅(qū)動傳動箱2、第一傳動輪31、第二傳動輪32、第三傳動輪41、第四傳動輪42和半導體機械手，從而控制半導體機械手完成指定動作。
[0026]以上所述的實施例僅僅是對本實用新型的優(yōu)選實施方式進行描述，并非對本實用新型的范圍進行限定，在不脫離本實用新型設計精神的前提下，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員對本實用新型的技術(shù)方案作出的各種變形和改進，均應落入本實用新型權(quán)利要求書確定的保護范圍內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種半導體機械手傳動裝置，包括:電機、傳動箱、第一手臂和第二手臂;其中: 第一手臂的內(nèi)端軸向固定有第一傳動輪，外端軸向固定有第二傳動輪，且第一傳動輪、第二傳動輪通過皮帶傳動;第一傳動輪的固定軸伸出第一手臂形成第一手臂的輸入端，第二傳動輪的固定軸伸出第一手臂形成第一手臂的輸出端； 第二手臂的內(nèi)端設置有第三傳動輪，外端設置有第四傳動輪，且第三傳動輪、第四傳動輪通過皮帶傳動;第三傳動輪的固定軸伸出第二手臂形成第二手臂的輸入端，第四傳動輪的固定軸伸出第二手臂形成第二手臂的輸出端； 所述電機的輸出軸與所述傳動箱的輸入端相連;所述傳動箱的輸出端與所述第一手臂的輸入端相連;所述第一手臂的輸出端與所述第二手臂的輸入端相連。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導體機械手傳動裝置，其特征在于:所述傳動箱為二級傳動箱。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種半導體機械手傳動裝置，其特征在于:所述傳動箱包括依次間隔設置的第一支撐板、第二支撐板和第三支撐板;其中第一支撐板和第二支撐板之間分別軸向固定有一輪和二輪;于第二支撐板和第三支撐板之間分別軸向固定設置有三輪和四輪;其中一輪和二輪之間通過第一皮帶傳動，一輪伸出第一支撐板形成傳動箱的輸入端；三輪和二輪同軸固定連接;三輪和四輪之間通過第二皮帶傳動，四輪伸出第三支撐板形成傳動箱的輸出端。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導體機械手傳動裝置，其特征在于:所述第一手臂頂端、第二手臂頂端分別設置有可拆卸的封裝蓋板。
【專利摘要】本實用新型一種半導體機械手傳動裝置涉及一種機械手控制裝置。其目的是為了提供一種結(jié)構(gòu)簡單、體積較小的機械手傳動裝置。本實用新型包括：電機、傳動箱、第一手臂和第二手臂；所述電機的輸出軸與所述傳動箱的輸入端相連；所述傳動箱的輸出端與所述第一手臂的輸入端相連；所述第一手臂的輸出端與所述第二手臂的輸入端相連。
【IPC分類】H01L21/677
【公開號】CN205376485
【申請?zhí)枴緾N201620133336
【發(fā)明人】程二亭, 王強, 周衛(wèi)國, 劉冬梅
【申請人】北京銳潔機器人科技有限公司
【公開日】2016年7月6日
【申請日】2016年2月22日