技術(shù)編號：10464097
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。半導(dǎo)體機(jī)械手主要適應(yīng)于集成電路、芯片制造等半導(dǎo)體前段工序。用來搬送晶圓，晶圓尺寸范圍2英寸——12英寸，一般來講是由r軸、t軸和z軸三個軸構(gòu)成。中國專利CN201420872714.7公開了一種機(jī)械手工作臺及其機(jī)械手傳動裝置，該裝置是半導(dǎo)體行業(yè)目前采用較多的設(shè)備之一，雖然該設(shè)備在一定程度上完成工作，但是因其以十字滑臺為主，因此體積較大，占用較多的工作空間。發(fā)明內(nèi)容本實用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種結(jié)構(gòu)簡單、體積較小，能夠節(jié)省工作空間的半導(dǎo)體機(jī)械手傳動裝置...
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