。所述的混合器為一負(fù)壓發(fā)生器24。負(fù)壓發(fā)生器24有三個(gè)口，相對(duì)的兩壁上分別開有的壓縮空氣進(jìn)氣口和混合氣出口，側(cè)壁上開有臭氧進(jìn)氣口 ；壓縮空氣通過壓縮空氣輸送管道23連接負(fù)壓發(fā)生器24的壓縮空氣進(jìn)氣口，臭氧發(fā)生器22的臭氧出口通過臭氧輸送管道221連接負(fù)壓發(fā)生器24的臭氧進(jìn)氣口，負(fù)壓發(fā)生器24的混合氣出口連接混合器輸出端。壓縮空氣輸送管道23上安裝有減壓閥A 231和流量計(jì)A 232。所述的臭氧發(fā)生器22有氧氣進(jìn)口和臭氧出口，氧氣通過氧氣輸送管道222連接臭氧發(fā)生器22的氧氣進(jìn)口，且氧氣輸送管道222上安裝有減壓閥B223和流量計(jì)。220V交流電源通過電源開關(guān)25連接變頻器26的電源輸入端，變頻器26的電源輸出端連接臭氧發(fā)生器22的電源端口。臭氧發(fā)生器2上安裝有控制臭氧產(chǎn)生量的裝置?？刂瞥粞醍a(chǎn)生量的裝置包括臭氧濃度檢測(cè)儀27和工作環(huán)境臭氧濃度檢測(cè)裝置28。所述的臭氧濃度檢測(cè)儀27和流量計(jì)B 29串聯(lián)連接后并聯(lián)在所述的混合氣輸送管道210上，臭氧濃度檢測(cè)儀27信號(hào)輸出端連接在所述變頻器26的一個(gè)控制端上，控制變頻器26功率的輸出。工作環(huán)境臭氧濃度檢測(cè)裝置28的進(jìn)氣端和出氣端分別由管道連接工作空間內(nèi)的環(huán)境空氣，其信號(hào)輸出端連接在所述變頻器26的另一個(gè)控制端上和報(bào)警器，當(dāng)環(huán)境空氣中的臭氧濃度超出安全標(biāo)準(zhǔn)時(shí)控制變頻器停止工作，并輸出報(bào)警。勻流板I內(nèi)為空心，其一端開有進(jìn)氣口，下端壁上均勻開有多個(gè)出氣孔；其進(jìn)氣口連接負(fù)壓發(fā)生器24的混合器輸出端。勻流板I安裝在電池片制作設(shè)備的刻蝕裝置6和PECVD裝置3之間的硅片傳輸軌道5上方，出氣孔正對(duì)娃片傳輸軌道5。4為娃片。
[0016]以上所述僅為本實(shí)用新型示意性的【具體實(shí)施方式】，并非用以限定本實(shí)用新型的范圍。任何本領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本實(shí)用新型的構(gòu)思和原則的前提下所作出的等同變化與修改，均應(yīng)屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種基于鏈?zhǔn)窖趸ㄌ嵘?yáng)電池抗PID效應(yīng)的裝置，其特征在于:其包括混合器發(fā)生裝置和勻流板，混合器發(fā)生裝置包括臭氧發(fā)生器、壓縮空氣輸送管道和混合器；臭氧發(fā)生器的臭氧出口通過臭氧輸送管道連接混合器，壓縮空氣通過壓縮空氣輸送管道連接混合器，混合器通過混合氣輸送管道連接混和氣輸出端；混合器輸出端連接在勻流板的進(jìn)氣口 ；勻流板內(nèi)為空心，其一端開有進(jìn)氣口，下端壁上均勻開有多個(gè)出氣孔；勻流板安裝在電池片制作設(shè)備的刻蝕裝置和PECVD裝置之間的硅片傳輸軌道上方，出氣孔正對(duì)硅片傳輸軌道；臭氧發(fā)生器上安裝有控制臭氧產(chǎn)生量的裝置。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于鏈?zhǔn)窖趸ㄌ嵘?yáng)電池抗PID效應(yīng)的裝置，其特征在于:所述的壓縮空氣輸送管道上安裝有減壓閥A和流量計(jì)A。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基于鏈?zhǔn)窖趸ㄌ嵘?yáng)電池抗PID效應(yīng)的裝置，其特征在于:所述的臭氧發(fā)生器有氧氣進(jìn)口和臭氧出口，氧氣通過氧氣輸送管道連接臭氧發(fā)生器的氧氣進(jìn)口，且氧氣輸送管道上安裝有減壓閥B和流量計(jì)，220V交流電源通過電源開關(guān)連接變頻器的電源輸入端，變頻器的電源輸出端連接臭氧發(fā)生器的電源端口 ；控制臭氧產(chǎn)生量的裝置包括臭氧濃度檢測(cè)儀和工作環(huán)境臭氧濃度檢測(cè)裝置；所述的臭氧濃度檢測(cè)儀和流量計(jì)B串聯(lián)連接后并聯(lián)在所述的混合氣輸送管道上，臭氧濃度檢測(cè)儀信號(hào)輸出端連接在所述變頻器的一個(gè)控制端上，控制變頻器功率的輸出；工作環(huán)境臭氧濃度檢測(cè)裝置的進(jìn)氣端和出氣端分別由管道連接工作空間內(nèi)的環(huán)境空氣，其信號(hào)輸出端連接在所述變頻器的另一個(gè)控制端上和報(bào)警器，當(dāng)環(huán)境空氣中的臭氧濃度超出安全標(biāo)準(zhǔn)時(shí)控制變頻器停止工作，并輸出報(bào)警。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基于鏈?zhǔn)窖趸ㄌ嵘?yáng)電池抗PID效應(yīng)的裝置，其特征在于:所述的混合器為一負(fù)壓發(fā)生器；負(fù)壓發(fā)生器有三個(gè)口，相對(duì)的兩壁上分別開有的壓縮空氣進(jìn)氣口和混合氣出口，側(cè)壁上開有臭氧進(jìn)氣口 ；壓縮空氣通過壓縮空氣輸送管道連接負(fù)壓發(fā)生器的壓縮空氣進(jìn)氣口，臭氧發(fā)生器的臭氧出口通過臭氧輸送管道連接負(fù)壓發(fā)生器的臭氧進(jìn)氣口，負(fù)壓發(fā)生器的混合氣出口連接混和氣輸出端。5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基于鏈?zhǔn)窖趸ㄌ嵘?yáng)電池抗PID效應(yīng)的裝置，其特征在于:所述的混合器為一負(fù)壓發(fā)生器；負(fù)壓發(fā)生器有三個(gè)口，相對(duì)的兩壁上分別開有的壓縮空氣進(jìn)氣口和混合氣出口，側(cè)壁上開有臭氧進(jìn)氣口 ；壓縮空氣通過壓縮空氣輸送管道連接負(fù)壓發(fā)生器的壓縮空氣進(jìn)氣口，臭氧發(fā)生器的臭氧出口通過臭氧輸送管道連接負(fù)壓發(fā)生器的臭氧進(jìn)氣口，負(fù)壓發(fā)生器的混合氣出口連接混和氣輸出端。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種基于鏈?zhǔn)窖趸ㄌ嵘?yáng)電池抗PID效應(yīng)的裝置，混合器發(fā)生裝置包括臭氧發(fā)生器、壓縮空氣輸送管道和混合器；臭氧發(fā)生器的臭氧出口通過臭氧輸送管道連接混合器，壓縮空氣通過壓縮空氣輸送管道連接混合器，混合器通過混合氣輸送管道連接混和氣輸出端；混合器輸出端連接在勻流板的進(jìn)氣口；勻流板內(nèi)為空心，其一端開有進(jìn)氣口，下端壁上均勻開有多個(gè)出氣孔；勻流板安裝在電池片制作設(shè)備的刻蝕裝置和PECVD裝置之間的硅片傳輸軌道上方，出氣孔正對(duì)硅片傳輸軌道；臭氧發(fā)生器上安裝有控制臭氧產(chǎn)生量的裝置。本實(shí)用新型能夠在沉積氮化硅薄膜之前于硅片表面迅速生長(zhǎng)氧化硅薄膜，提升光伏電池抗PID效應(yīng)，延長(zhǎng)其使用壽命。
【IPC分類】H01L31/0216, H01L31/18
【公開號(hào)】CN204905275
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520544142
【發(fā)明人】李靜, 殷國(guó)安, 朱亞明, 張大雨, 張東, 鄭會(huì)剛
【申請(qǐng)人】巨力新能源股份有限公司
【公開日】2015年12月23日
【申請(qǐng)日】2015年7月26日